【課題】感光性導体ペースト中の感光性樹脂成分の含有量を少なくしても露光・現像に際して残査の問題のない積層チップ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 導体層転写シート２２によれば、感光性導体ペースト１８は転写支持体１２の一面にビヒクル層１０を介して塗着されていることから、所定のパターンの導体層１８を形成するための露光および現像時において、必ずしも十分な露光・現像性能を必要とせず、感光性樹脂、重合開始剤等の樹脂成分である樹脂量の少ない導体ペーストを用いることができる。したがって、感光性導体ペースト１８中の感光性樹脂成分の含有量を少なくしても露光・現像に際して残査の問題が生じない。 （もっと読む）

【課題】 従来の樹脂版における二値的な高低差の表現を解消し、連続階調フィルムを用いて、連続的な高低差を有する感光性の樹脂版及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、模様等の入力画像を入力し、その入力画像に対して原稿濃度を圧縮して連続階調フィルムに特定濃度範囲のぼかし領域を現像し、ぼかし領域によって紫外線の透過量を変化させることで、未硬化部の溶出後に、ぼかし領域に対応した高低差を感光性樹脂版材に形成した樹脂版及びその樹脂版の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】解像度以下の線幅の形成が可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】受ける光量が小さい順に低光量、中間光量、高光量とした場合、低光量及び高光量の露光で現像液に対して不溶（可溶）となり、中間光量の露光で現像液に対して可溶（不溶）となるレジストに対して露光及び現像を行い、レジストにおいて中間光量の露光を受けた部分のみを除去する（残す）。 （もっと読む）

ブロック共重合体は自己集合し、例えば本明細書に記載のサブリソグラフィックパターニングのための方法で使用され得る。ブロック共重合体は、ジブロック共重合体、トリブロック共重合体、マルチブロック共重合体、もしくはそれらの組み合わせであってよい。そのような方法は、例えばサブリソグラフィック導電性ラインを含むデバイスの作成に有用であり得る。
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【課題】ポジ型のフォトレジスト適用下で、ランダム配置のホールパターンを、高裕度で形成することができるパターンの形成方法、電子デバイスの製造方法および電子デバイスを提供する。
【解決手段】被加工膜２上に、密集ホールパターンを有する第１のポジ型フォトレジスト３が形成される。複数のホールパターン３ａの各々を埋め込むように第１のフォトレジスト３上に第２のポジ型フォトレジスト４が形成される。第２のフォトレジスト４に高透過ハーフトーン位相シフトマスク３０の明暗反転像である暗点像が投影露光される。第２のフォトレジスト４の現像により、暗点像部に形成される第２のフォトレジスト４のドットパターンが複数のホールパターンのいずれかの内部に残される。第１、第２のフォトレジスト３、４をマスクとして、被加工膜２がパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂層と基材の両方と優れた接着力を有し、コート液作成作業工程が簡便で製造時のコート膜の外観品位に優れた接着層を提供することである。さらに該接着層を使用して、水現像可能な感光性樹脂層と基材が強固に接着した感光性樹脂版材を提供する。
【解決手段】（１）寸法安定性に優れる基材上に接着層を介して合成ゴム系感光性樹脂層を設けてなる感光性樹脂版材であって、該接着層が次の成分を含有することを特徴とする水現像可能な感光性樹脂版材。 （Ａ）共重合ポリエステル樹脂 （Ｂ）多官能イソシアネート （Ｃ）分子内に少なくとも一つ以上の水酸基を有する液状ゴムオリゴマー （Ｄ）分子内に少なくとも一つ以上の水酸基を有する光重合性化合物（２）分子内に少なくとも一つ以上の水酸基を有する光重合性化合物が分子中に３つの光重合性基を含有することを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂版材。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチング法によるカラーフィルタの製造方法であって、微細かつ矩形な画素を有するカラーフィルタを製造することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】支持体上に設けた第１の着色層上に、エッチングストッパー層を形成し、第２の着色層を形成すべき領域に対応する第１の着色層をドライエッチング法により除去する。その除去領域を埋め込むように第２の着色層を形成し、次いでエッチングストッパー層上に形成された第２の着色層をドライエッチング法に除去する。次に第３の着色層を形成すべき領域に対応する第１の着色層をドライエッチング法により除去する。その除去領域を埋め込むように第３の着色層を形成し、次いでエッチングストッパー層及び第２の着色層上に積層された第３の着色層をエッチングストッパー層が露出するまで除去するカラーフィルタの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】短時間で効率よく各着色層を形成でき、低コストで高品質なカラーフィルタ基板を製造することができる露光方法および露光装置を提供する。
【解決手段】感光剤Ｐａが塗布されたガラス基板Ｗを基板ステージ２０に載置し、感光剤Ｐａが厚さの異なる３つのレジスト層Ｒ，Ｇ，Ｂを形成するように、ガラス基板Ｗに照射されるエネルギーを変えながらマスクＭを介してガラス基板Ｗを露光する。 （もっと読む）

【課題】密なパターン領域を持つフォトマスクであっても、電子線露光時のｆｏｇｇｉｎｇの影響を排し、現像条件の最適化を行うことが出来る現像ローディング測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】あらかじめ、ｆｏｇｇｉｎｇが発生しない露光方法によりレジスト膜を露光し、前記レジスト膜の未露光部を電子線で露光することにより、電子線露光時のｆｏｇｇｉｎｇの影響を抑えながら、密なパターン領域を形成することが出来る。このため、電子線露光時のｆｏｇｇｉｎｇの影響を受けず、現像することが出来、現像ローディングを正確に評価することが可能となる。 （もっと読む）

カラーフィルタ素子のアレイを有する撮像装置を提供するための装置および方法であり、各カラーフィルタ素子は、スペーサーによって互いに分離されている。スペーサーはフィルタ素子を互いに光学的に分離することができる。
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【課題】版厚精度の優れた液状感光性樹脂凸版を短時間で製造できる方法及び装置を提供すること
【解決手段】少なくともどちらか一方は透明基板である２枚の支持基板の間に配置した液状感光性樹脂層の少なくとも一方の面に活性光が透過可能な透明フィルムを重ね、片面または両面から活性光により画像形成露光をした後、現像処理を行う凸版印刷用感光性樹脂版の製造方法であって、液状感光性樹脂層を成形後、画像成形露光前、または画像成形露光中に前記２枚の支持基板の間隔を上部支持基板に接する範囲内で増加させることを特徴とする凸版印刷用感光性樹脂版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 微小画像の形成性および文字部の耐カケ性を同時に満たす感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】少なくとも、ブタジエンを主体とする重合体ブロックを一つ以上有する熱可塑性エラストマー（ａ）、液状の共役ジエンゴム（ｂ）、光重合性モノマー（ｃ）および光重合開始剤（ｄ）を含有するフレキソ印刷用感光性樹脂組成物であって、光重合性モノマー（ｃ）が、少なくとも、アルカンジオールジメタクリレート（ｃ1）およびアルカンジオールジアクリレート（ｃ２）を含有し、感光性樹脂組成物中のｃ２量が３.１ｗｔ％以上で、且つｃ１とｃ２の比率（ｃ1／ｃ２）が０.６１以上であることを特徴とする樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 カラーフィルタ製造の現像工程の現像液循環方式生じる、現像液成分濃度の減少や感光性樹脂組成物の溶解による現像液汚染に伴う製品品質への悪影響を防ぐための現像液濃度調整方法および現像装置を提供する。
【解決手段】 アルカリ成分等の現像剤成分を含む現像液を用いて現像槽２で現像処理を行った後、現像液を限外濾過ユニット９で濾過して、濾液の現像剤成分量を定量測定後、該濾液に高アルカリ濃度液を混合し、アルカリ成分濃度の調整を行い、調整後の現像液を再度現像に供する現像液循環方式を適用する現像液濃度調整方法であって、該限外濾過ユニット９で得られた濾液のアルカリ成分濃度測定結果と、現像タンク４中の溶存感光性樹脂組成物濃度に対する高アルカリ濃度液補充量と、濃度回復量との相関に応じて高アルカリ濃度液補充量を決定する現像液濃度調整方法および該方法を用いた現像装置。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィー法により版材から凸部を形成する印刷用凸版の製造において、凸部に微細なゴミが無いことはもちろん、凹部においても微細なゴミが除去された、極めて高精度な印刷用凸版を提供する。
【解決手段】露光された版材に対し超音波を用いた現像により凸部を形成する現像工程、若しくは、該凸部が形成された印刷用凸版に対して超音波を用い洗浄をおこなう洗浄工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フレキソ印刷フォームとして使用される感光性印刷要素と、この要素からフォームを作製するための方法を提供すること。
【解決手段】感光性要素は、エラストマー結合剤と、光開始剤と、エラストマー結合剤に架橋することができる有機材料に結合されたシリカ粒子を含んだモノマーとを含む、光重合性組成物の層を有する。 （もっと読む）

【課題】 フォトレジスト層に高アスペクト比の孤立穴パターン像を精度よく形成することが可能なフォトレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】 バイナリーマスク１２のメインの孤立穴形状１１の隣に、より狭幅のダミー穴形状である付加穴形状２１を追加配置する。このバイナリーマスク１２を用い、基板上に形成したフォトレジスト層を露光、現像する。これにより、孤立穴形状１１に対応した領域に高アスペクト比の孤立穴パターン（主トレンチ）が形成される。フォトレジスト層の厚さに対する孤立穴形状幅の比は、現像後において、主トレンチの底部にレジストが残らず、かつ、付加穴形状２１によって出来る付加穴パターン（付加トレンチ）の底部にレジストが残ることとなるようにする。基板を導電性として電気めっき処理を行えば、主トレンチの内側の基板上にのみめっき膜が成長し、高アスペクト比の孤立形状（例えば磁極等）が形成可能になる。 （もっと読む）

【課題】耐傷性、特に印刷版の擦過傷に対する耐性に優れた水なし平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】基板上に、少なくとも感光層もしくは感熱層と、シリコーンゴム層とをこの順に有する水なし平版印刷版原版であって、該シリコーンゴム層の初期弾性率が０．３９ＭＰａ以下であることを特徴とする水なし平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、製造業者及び顧客の費用（及び時間）を減らす光硬化性印刷ブランクの改良された製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、感光性刷版ブランクの改良された製造方法に関し、方法は次の工程を含む：ａ）バックシートに第１光硬化層を形成する；ｂ）第１光硬化層を化学線で硬化して第１光硬化層全体に硬質フロア層を作製する；ｃ）硬化した第１光硬化層の上に、レリーフ像印刷要素を形成するように化学線で処理可能である第２光硬化層を形成する。前硬化したフロア層を形成した刷版ブランクが、レリーフ像印刷要素を作製する更なる処理をするプリントショップの顧客に供給されてもよい。 （もっと読む）

【課題】
エッチャントとして特定のガスを使用して、その添加量を厳密に制御することなく、膜の加工両端部を基板から離間するにつれて両端部間の距離が短くなるようなテーパー形状とし、当該テーパーの角度を所望の角度とすることが可能な膜のパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】
本発明に係る一の態様の膜のパターン形成方法は、基板上に膜４、５を形成し、膜４、５の上層に、第１マスキング層１０とその上層の第２マスキング層１１とを、当該第２マスキング層１１が第１マスキング層１０端から突出する庇部を有するようにパターン形成し、膜４、５の上層に第１マスキング層１０及び第２マスキング層１１のパターンが形成されている状態において、膜４、５をエッチングしてパターニングする。
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【課題】現像により樹脂層が除去されて形成された光反射膜の露出領域において、光反射率を測定することにより、現像液の交換時期を適切に判断して、樹脂層の現像不良の発生を防止することができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置の検査方法を提供する。
【解決手段】基板上に樹脂膜を備えた電気光学装置の製造方法において、基板上に光反射膜を形成するための光反射膜形成工程と、光反射膜上に重なるように感光性樹脂材料を塗布して樹脂層を形成する塗布工程と、樹脂層に対して、パターン露光をする露光工程と、樹脂層に対して、現像液を適用して所定形状の樹脂膜を形成し、少なくとも光反射膜の一部を露出させる現像工程と、を含み、更に、光反射膜が露出した領域における光反射率を測定するための光反射率測定工程を含む。 （もっと読む）