【課題】 熱性、耐湿熱性、密着性、機械特性、電気特性に優れた高性能な硬化膜を得ることができ、プリント配線板、高密度多層板及び半導体パッケージ等の製造に好適に用いられるアルカリ可溶性、光架橋性のエラストマー、及び該エラストマーを含む感光性組成物等の提供。
【解決手段】 （Ａ）ジイソシアネート化合物と、（Ｂ）分子内に少なくとも１つのカルボキシル基を含有するジオール化合物と、（Ｃ）分子内に少なくとも１つの不飽和基を含有するジオール化合物と、（Ｄ）重量平均分子量が８００以上の高分子量ジオール化合物とを含み、全ジオール化合物の合計モル量に対し１．０〜２倍のモル量の前記（Ａ）ジイソシアネート化合物を反応させて得られ、前記（Ｄ）成分の高分子量ジオール化合物の含有率が、３〜２０モル％であるエラストマー、及び該エラストマーを含む感光性組成物である。 （もっと読む）

【課題】 基板上に構造部材を形成するときの露光処理で、露光位置を正確に制御する。
【解決手段】 露光装置３１のステージ２２の上に基板を設置し、ステージ２２上に定義された仮座標系に基づいて低倍率カメラ２７を基板の角の上方に配置して撮影を行ない、位置決め目的で設けられたマークを識別する。続いてマークが識別された位置に基づいて基板の実際の配置状態に沿った本座標系を定義する。次に、所定の基準点の本座標系における座標を算出し、その座標が示す位置に高倍率カメラ２８を配置して撮影を行ない、前の工程で基板上に形成された構造部材のパターンを識別する。識別されたパターンから、基準点の実際の位置を特定し、その実際の基準点により特定される領域の形状に合わせて、その領域に露光記録する画像を補正してから、画像の露光記録を行なう。 （もっと読む）

【課題】 製造装置の仕様を変更して製造コストを増加させることなく、カラーフィルタ形成時に下部デバイスとのアライメント精度を大幅に向上させる。
【解決手段】 カラーフィルタとなる色素を含有するフォトレジスト層１０の下層にアライメントマーク６ａを遮光膜６の形成時に形成し、そのフォトレジスト層１０の露光時に光照射によりアライメントマーク６ａを検出してアライメントを行なう着色層（カラーフィルタ）の形成方法において、アライメントマーク検出時に使用される光の波長が、フォトレジスト層１０に含有された色素によって吸収される波長である場合に、アライメントマーク６ａの形成領域上のフォトレジスト層１０を選択的に除去した後に、上部に露出されたアライメントマーク６ａを用いた明確なアライメントによりフォトレジスト層１０の露光を行って所望のカラーフィルタ形状に加工する。 （もっと読む）

【課題】印刷または転写に使用する版が、種々の理由で摩耗したり、キズがついたりした場合、再生が容易な版を提供する。
【解決手段】印刷用インクの印刷または転写用インクの転写に使用する版１であって、少なくとも裏面露光光透過性の支持基板２の上に、印刷または転写すべきパターンのポジパターンまたはネガパターンにして裏面露光光遮光性の遮光性膜３を設け、遮光性膜３を覆うようにして前記支持基板２の上に裏面露光光透過性層４を積層し、裏面露光光透過性層４の上に位置する版面５に、遮光性膜３をフォトマスクとして裏面露光法・現像法によって形成してなる版パターン部１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】所定の立体面を有する三次元微小成形体の成形精度を向上させることのできる感光性樹脂組成物および該組成物を用いたドライフィルムを提供する。
【解決手段】化学線露光量（ｍＪ／ｃｍ²）をｘとし、その露光量による樹脂硬化量を現像前の塗布膜厚ｈ（μｍ）に対する現像後の残膜厚Δｈ（μｍ）の比ｙ（＝Δｈ／ｈ）で表わし、ｘとｙとの関係式ｙ＝αＬｎ（ｘ）±β（βは任意の実数）を求めた場合、０．３５≦α≦０．７８である光感度を有する組成物を三次元微小成形体製造用の感光性樹脂組成物として用いるとともに、該組成物を用いて感光性ドライフィルムを得る。 （もっと読む）

【課題】 セーフライトなどの光源によるパターン形成材料の感度変化を良好に抑制し、保存安定性に優れ、配線パターン等の永久パターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に少なくとも３５０〜５００ｎｍに感光特性を示す感光層を有し、エネルギー感度が１〜２０ｍｊ／ｃｍ^２であるパターン形成材料を用い、３８０〜５００ｎｍの波長領域を有し、該波長領域での少なくとも一波長のエネルギー強度が１×１０^−２μＷ／ｃｍ^２／ｎｍ以下の光源下で、基材表面への感光層の積層工程と、該積層工程と露光前までの工程のうち少なくとも一工程を行うパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 十分に優れた光学性能を有するマイクロレンズアレイをより安価に製造できるマイクロレンズアレイの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のマイクロレンズアレイの製造方法は、（Ｉ）透明な基材１０上に、感光性樹脂組成物からなる感光層２０を設ける感光層形成工程と、（ＩＩ）感光層上に配した光散乱能を有するシート４０に特定の活性光線を通過させて散乱光Ｄを生ぜしめ、感光層とシートとの間に配した所定パターンを有するフォトマスク３０を介して、散乱光を感光層の所定部分に照射して所定部分を硬化する硬化工程と、（ＩＩＩ）感光層の未硬化部分を現像により除去する現像工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高感度感光層であっても安全灯下での光カブリを防止でき、プリント基板の製造等に好適に用いられるパターン形成材料等の提供。
【解決手段】 支持体上に、波長３５０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下で５０ｍＪ／ｃｍ^２以上のエネルギーを加えることにより現像可能な感光層を少なくとも有し、
該感光層が、前記感光層を露光し現像する場合において、前記感光層の露光する部分の厚みを該現像の前後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、１〜２０ｍＪ／ｃｍ^２であり、かつ、最大吸収波長が５００ｎｍ以上６５０ｎｍ以下にある染料を少なくとも１種以上含むパターン形成材料である。 （もっと読む）

【課題】 剥離性が良好であり、解像度及びテント性に優れ、しかも現像性にも優れ、現像時間が変化してもレジストの線幅、プロファイルなどの変化が少ない（現像ラチチュードの広い）パターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を少なくとも含み、該重合性化合物が、分子中にウレタン基を１個以上と重合性基を１個有する化合物を少なくとも含有する感光性樹脂組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有するパターン形成材料である。該分子中にウレタン基を１個以上と重合性基を１個有する化合物が、分子中にポリアルキレンオキシド鎖を有する態様、該ウレタン基が１個である態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 感光性組成物の室温での溶融粘度が好適であり、感光層の感度低下を抑制できると共に、パターン形成材料による基体への積層体形成時に、保護フィルムの剥離跡が発生せず、保護フィルムをスムーズに剥離でき、効率よくパターンが形成でき、高感度かつ高精細なパターンが得られるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供。
【解決手段】 支持体上に感光層を有し、該感光層が、アルカリ可溶性バインダー、重合性モノマー及び光重合開始剤を含む感光性組成物からなり、該感光性組成物の３０〜４０℃における溶融粘度が、１×１０^４〜１×１０^７ｍＰａ・sであり、前記感光層を露光、現像して得られるパターン厚みが未露光状態の厚みの９０％となる波長４０５ｎｍのレーザ光における最少露光量が、２０ｍJ/ｃｍ^２以下のパターン形成材料である。 （もっと読む）

【課題】 三次元目的物の造形において、低コストのソリッド・イメージング技術と目的物の形状を維持しエッジを平滑化するデジタル画像投影法とを組み合せることにより従来技術における問題を解決する。
【解決手段】 固化性液状材料にデジタル的に光を投影した三次元目的物の断面画像の多重露光にサブピクセル・シフトを採用したソリッド・イメージング方法を提供する。多重露光により、解像度の向上、三次元目的物の画像形状の保持、および当該サイズにおける投影画像のピクセル数が限定されているデジタル光プロジェクターを使用した場合に生じる粗い、即ち、不規則なエッジの平滑化が図られる。アルゴリズムを用いて露光断面に投影される各々の画像の境界内における露光ピクセルが選択される。 （もっと読む）

【課題】 プリント配線板上に形成された導体回路の角部を覆う永久パターンの被膜が良好であり、永久パターン全面の平坦度が高く、高精細であり、かつ生産効率の優れた感光性永久レジストフィルム及び該感光性永久レジストフィルムを用いた永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、第１の感光性層、第２の感光性層をこの順に有し、基板上にラミネートする際のラミネート温度における、第１の感光性層の溶融粘度をη_１、第２の感光性層の溶融粘度をη_２としたとき、次式、η_１＞η_２、を満たすことを特徴とする感光性永久レジストフィルムである。 （もっと読む）

【課題】 プリント配線板上に形成された導体回路の角部を覆う永久パターンの被膜が良好であり、永久パターン全面の平坦度が高く、高精細であり、かつ生産効率の優れた感光性永久レジストフィルム及び永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、第１の感光性層及び第２の感光性層を有してなり、前記第１の感光性層が、アルカリ可溶性光架橋性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、エポキシ硬化剤及び無機微粒子（Ａ）を含む第１の感光性組成物からなり、前記第２の感光性層が、アルカリ可溶性光架橋性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、エポキシ硬化剤及び無機微粒子（Ｂ）を含み、該無機微粒子（Ｂ）の含有率（質量％）が、前記無機微粒子（Ａ）の含有率（質量％）の１／３以下である第２の感光性組成物からなる感光性永久レジストフィルムである。 （もっと読む）

【課題】 露光装置の露光ステージ表面からの反射光の影響を受けることなくネガ型の露光領域を形成することができるネガレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 樹脂、重合開始剤又はモノマーの少なくとも一つに、露光時に露光光の照射による現象に伴って光透過率が高くなる光透過率変化物質を添加して生成されることから、露光装置の露光ステージ１表面からの反射光の影響を受けることがなくなり、フォトマスクパターン３と一致する正確なネガ型の露光領域を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】コントラストに優れた画像を得ることが可能なマイクロレンズ基板を効率よく製造することができる製造方法を提供すること、当該マイクロレンズ基板を提供すること、また、前記マイクロレンズ基板を備えた透過型スクリーン、リア型プロジェクタを提供すること。
【解決手段】本発明のマイクロレンズ基板の製造方法は、マイクロレンズ用凹部付き基板６の凹部６１が形成されている側の面に、光硬化性を有するフォトポリマーを主成分とする樹脂材料２３と、入射した光を拡散する機能を有する拡散材２５とを含む組成物２６を付与する材料付与工程と、組成物２６上に光透過性を有する基板本体４を設置する設置工程と、組成物２６を光硬化させる硬化工程と、硬化した組成物２６からマイクロレンズ用凹部付き基板６を取り外す離型工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 撥油・撥水性のパターンを高解像度で形成することができ、親水性、もしくは親油性化合物を表面に付着させた際に、選択的にパターン非形成領域のみに付着して、ディスクリミネーションの高いパターンを得ることができるパターン形成方法、及び、パターンを応用してなる混色や白ヌケのない高解像度のカラーフィルタを提供する。
【解決手段】 （１）基板上に、重合開始能をもつ活性種を表面に有する樹脂組成物をパターン状に形成する活性種パターン形成工程、及び、（２）該パターンを形成した基板に重合性基を有する撥油・撥水性化合物を接触させ、グラフト化合物を形成する撥油・撥水性パターン形成工程、を含むことを特徴とする撥油・撥水性パターン形成方法である。さらに（３）基材上の、撥油・撥水性パターンの少なくとも一部に、選択的に物質を付着させる非撥油・撥水性領域物質付着工程を行うことで、種々の素子に応用することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＵＶ露光により画像形成可能で、保存安定性に優れ、現像後に優れた耐薬品性、表面硬度、耐熱性、耐湿性及び絶縁性などを発現する感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、該感光性フィルムを用い、薄層化された永久パターン（保護膜、層間絶縁膜、ソルダーレジストなど）であっても、実装時の熱履歴や温度サイクル試験（ＴＣＴ）における耐熱疲労性に優れ、高加速度試験（ＨＡＳＴ）におけるイオンマイグレーションの発生がなく、耐湿性に優れた高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法を提供。
【解決手段】 アルカリ可溶性光架橋性樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、エラストマーと、無機充填剤と、着色剤と、熱硬化促進剤と、溶剤とを含む感光性組成物であって、該感光性組成物が、イオン吸着剤でイオン吸着処理されてなることを特徴とする感光性組成物。 （もっと読む）

【課題】 パターン形成材料上に結像させる像の歪みを抑制することにより、高アスペクト比の配線パターン等のパターンを極めて高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に感光層を有し、該感光層が重合禁止剤、バインダー、重合性化合物及び光重合開始剤を含むパターン形成材料における該感光層に対し、光照射手段からの光を受光し出射する描素部をｎ個有する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させた後、前記描素部における出射面の歪みによる収差を補正可能な非球面を有するマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイを通して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法である。該非球面は、トーリック面であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 被膜特性に優れ、焼却時に有毒ガスを発生しない硬化膜を形成可能で、かつ前記感光層上に結像させる像の歪みを抑制することにより、永久パターンを効率よく高精細に形成可能な永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】 バインダーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、着色剤とを少なくとも含み、前記着色剤が実質的にハロゲン原子を含まない感光性組成物を用いて、基材の表面に感光層を形成した後、該感光層に対し、光照射手段からの光を受光し出射する描素部をｎ個有する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させた後、前記描素部における出射面の歪みによる収差を補正可能な非球面を有するマイクロレンズ、及び前記描素部の周辺部からの光を入射させないレンズ開口形状を有するマイクロレンズのいずれかを配列したマイクロレンズアレイを通して露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】耐折性，低応力性，半田耐熱性に優れ、しかも良好なアルカリ現像性および絶縁性を備えた感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記の（Ａ）〜（Ｄ）を含有する感光性樹脂組成物である。
（Ａ）カルボキシル基含有線状重合体。
（Ｂ）下記の一般式（１）で表されるエポキシ樹脂。
【化１】


（Ｃ）エチレン性不飽和基含有重合性化合物。
（Ｄ）光重合開始剤。 （もっと読む）