本発明は、支持体を用意し、前記支持体の一方の側に多色マスクを塗布し、該支持体の他方の側に、可視光によって硬化可能な層を塗布し、そして該光硬化性層を該マスクを通して可視光で露光することにより、露光された部分において、硬化されたパターンを形成するように、光によって硬化可能な層を硬化させることを含んで成る積層透明構造体を形成する方法に関する。
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【課題】ハイライト点のリニアリティーを向上可能とし、簡素な構成で廉価に製作可能な装置で露光処理をできるようにする。
【解決手段】画像信号に基づいて記録用のレーザービームを出力し、画像信号を分岐してから反転回路で反転させて生成した画像信号の反転信号に基づいて補助用の光ビームを出力し、これらを合波光学系の合波手段で合波してから、記録用のレーザービームのビームスポットの周囲に広がる範囲を持つ補助用の光ビームのビームスポットができるように光重合性平版刷版の画像記録層上へ投射し、補助用の光ビームが、記録用のレーザービームが出力されていないタイミングで非画像形成部分に照射されて、画像記録層内の非画像形成部分の酸素が画像形成部に移動して酸素によるラジカル重合反応を阻害することを抑制し、記録用のレーザービームで露光した際に適切な潜像を形成できるようにする。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、絶縁信頼性に優れ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤、を少なくとも含む感光性組成物を用いて形成された感光層を有し、該感光層を、基板の表面に積層した後、該感光層に対して露光を少なくとも行うことにより形成されたパターンの膜厚１μｍ当たりの８１０ｃｍ^−１の吸収が、０．０２未満であるパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いるパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板である。 （もっと読む）

【課題】基材上に、表面が平坦な導電性パターンを形成する方法およびその方法に用いる組成物を提供する。
【解決手段】（１）導電粒子と感光性成分とを含み、感光性成分が光硬化性モノマーと光重合開始剤とを含む導電性パターン形成用液状組成物を、平坦な露光面と接触させる工程と、（２）この組成物に、導電性パターンが形成される表面を有する基材を浸漬する工程と、（３）平坦な露光面と基材の表面との間に、所定厚みの組成物層を介在させ、その組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を形成する工程と、（４）基材の表面から、未硬化の組成物を除去する工程とを有する導電性パターンの形成方法およびその方法に用いる導電性パターン形成用液状組成物。 （もっと読む）

【課題】対象物の孔内に充填された紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させるに際して、当該樹脂内にボイドが発生することを確実に防止し、電子部品等対象物の歩留まりを向上できる紫外線硬化型樹脂の露光装置を提供する。
【解決手段】対象物の孔内に紫外線硬化型樹脂を充填し、この孔内の紫外線硬化型樹脂を紫外線により露光して硬化させるに際して、紫外線の強度分布が、波長範囲３５０〜３７０ｎｍにおける強度ピーク波長３６５ｎｍと、波長範囲３９０〜４２０ｎｍにおける強度ピーク波長４１０ｎｍを有した紫外線を、前記紫外線硬化型樹脂に照射する紫外線硬化型樹脂の露光装置である。 （もっと読む）

【課題】 解像力、密着安定性、レジスト剥離性に優れた感光性樹脂組成物及びフォトレジストフィルムを提供すること。
【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性樹脂組成物であって、カルボキシル基含有ポリマー（Ａ）が、メタクリル酸（ａ１）、フェニル基含有ビニル系単量体（ａ２）、及び下記（１）式で示される化合物（ａ３）を、共重合成分として含む共重合体であり、全共重合成分に対して、メタクリル酸（ａ１）の含有量が２２〜３５重量％で、フェニル基含有ビニル系単量体（ａ２）の含有量が２０〜３５重量％であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高感度で、表面のタック性が少なく、フィルム化した際の保護フィルムや支持体からの剥離性に優れ、ラミネート性、現像性、保存安定性に優れ、現像後に優れた表面硬度、解像度などが得られ、高精細なパターンが形成可能な感光性組成物及びこの感光性組成物を用いた感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法、及びパターンを提供。
【解決手段】ガラス転移点及び分子量が特定の範囲であり、特定の繰り返し単位からなる樹脂（Ａ）と、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、を少なくとも含んでなる感光性組成物であり、前記熱架橋剤として融点が８０℃以上であり、且つメチルエチルケトン（ＭＥＫ）への溶解度が１０質量％以上である化合物を用いることを特徴とする感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターンである。 （もっと読む）

【課題】周縁部が逆テーパ状となる感光性樹脂組成物を用いて周縁部が順テーパ状の感光性レジスト膜の製造方法及び該製造方法により製造された周縁部が順テーパ状の感光性レジスト膜からなるトップコート層を備えた液晶装置を提供すること。
【解決手段】本発明の周縁部２５Ａ_１、２５Ｂ_１が順テーパ状の感光性レジスト膜（トップコート層）２３Ａの製造方法は、基体上に所定の厚さの感光性レジスト組成物層を形成する工程と、所定のパターン２と該所定のパターンのエッジ部に沿った長手形状を有するパターン３Ａ_１、３Ａ_２とが設けられたマスク１Ａを用いて前記感光性レジスト組成物層を露光する工程と、現像して周縁部が順テーパ状となる前記所定のパターンの感光性レジスト膜２３Ａを形成する工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】珪素ポリマーを添加剤として使用し、フィルム化した際の保護フィルムや支持体との剥離性に優れるのみならず、現像性に優れ、かつ高感度で解像性に優れる感光性組成物及びこの感光性組成物を用いた感光性フィルム、並びに、半導体分野における高精細な永久パターン（保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど）を高精細に、かつ、効率よく形成可能な永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】（Ａ）酸基とビニル基とを有する珪素ポリマー、（Ｂ）バインダー、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、及び（Ｅ）熱架橋剤を含む感光性組成物である。（Ａ）珪素ポリマーがシロキサン化合物を含む態様などが好ましい。支持体と、該支持体上に前記感光性組成物からなる感光層とを有してなる感光性フィルムである。前記感光性組成物を用いた永久パターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】圧着時の圧力分布ムラを低減し、シワ及び気泡が発生しにくく、かつ高精細なパターンを形成可能なパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体上に感光層を少なくとも有するパターン形成材料を、回転軸方向幅が１２０ｃｍ以下の圧着ロールを使用して、基体上に圧着させて、該基体に積層した後、前記感光層に対して露光を行う。パターン形成材料と接する側の圧着ロールを２本以上同軸に並列した態様、パターン形成材料と接しない側の圧着ロールを、２本以上同軸に並列した態様、圧着ロールの回転軸方向幅をＸ、パターン形成材料の搬送方向と略直交する方向の幅をＹとした場合に、Ｙ／Ｘが０．５以上１以下である態様、などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】反射領域と透過領域の色再現性の差を補償するためのカラーフィルタを形成するのに適した露光マスクとこれを用いた液晶表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】入射光を制御して薄膜の一部領域が薄膜パターンとして残される第１領域と、前記第１領域と相反して前記入射光を制御して前記薄膜の残り領域が除去される第２領域と、前記第１領域の角部から延びて、前記薄膜パターンが前記第１領域に対応して形成されるようにするダミー領域とを備える。 （もっと読む）

【課題】型のパターンの転写を効率良く行なうことが出来ると共に、型から転写されたパターンのアスペクト比が大きくても、前記転写されたパターンが崩れにくい、微細シートパターン作成装置を提供する。
【解決手段】シート状の基材３をこの長手方向に搬送することが可能な搬送手段５と、基材３の一方の面に、被成形物９を設ける被成形物設置手段７と、微細なパターンが形成されている平面状の転写面１３を備えていると共に基材３の厚さ方向に移動自在な型１１と、基材３に設けられている被形成物９に転写を行なうために、型１１と協働して基材３を挟み込むことが可能なベースユニット１５と、基材３を挟み込んでいるときに、被成形物９を硬化すべく被成形物９にエネルギーを供給するエネルギー供給手段１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】近接露光法によってフォトマスクを介した露光を行っても、パターンに開口径９．０〜０．５下の微細なスルーホールを形成することのできるカラーフィルタ用フォトマスク、カラーフィルタを提供する。
【解決手段】開口部Ｋ１に対応したフォトマスク上の遮光パターンが、円形又は多角形の外形を有する核遮光パターン（Ｐ０）と、該核遮光パターン（Ｐ０）の外側に隣接した環状光透過部（Ｔ１）と、該環状光透過部（Ｔ１）の外側に隣接した環状遮光パターン（Ｐ１）で構成される遮光パターンであること。
環状遮光パターン（Ｐ１）の外径が６．０μｍ〜１５．０μｍ、環状遮光パターン（Ｐ１）の幅が０．５μｍ〜４．０μｍ、環状光透過部（Ｔ１）の幅が０．５μｍ〜４．０μｍであること。 （もっと読む）

【課題】前記保護フィルムによる前記感光層へのシワの転写がなく、高精細なパターンを形成可能な前記感光性転写材料、及び該感光性転写材料を用い、前記パターンを高精細に、かつ効率よく形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】支持体上に少なくとも感光層と保護フィルムとをこの順に有し、前記保護フィルムが、巻取りコア上に５００ｍ以上巻取られたフィルムロールの形態において、該フィルムロールを、温度２０〜２５℃、相対湿度５５〜６５％の条件下で前記巻取りコア方向に水平に設置した際、前記フィルムロールの巻取り径方向の下方に生じる弛み量の最大値が５ｍｍ以下であることを特徴とする感光性転写材料である。該感光性転写材料の感光層を基材上に積層し、積層された前記感光層に対し、露光及び現像を行うパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】近接露光法によってフォトマスクを介した露光を行っても、パターンに開口径３．０以下の微細なスルーホールを形成することのできるカラーフィルタ用フォトマスク、カラーフィルタを提供する。
【解決手段】開口部Ｋ１に対応したフォトマスク上の遮光パターンが、円形又は多角形の外形を有し、中心部に光透過部Ｔ０を有する環状遮光パターンＰ１であること。光透過部の外形が、環状遮光パターンの外形と相似であること。環状遮光パターンの外径Ｄ１が６．０μｍ〜１２．０μｍ、光透過部の外径Ｄ２が１．０μｍ〜１１．０μｍ、環状遮光パターンの幅Ｗ１が０．５μｍ〜３．０μｍであること。 （もっと読む）

マイクロレンズアレイ又はマイクロレンズアレイ原型を作製する方法は、
（ａ）光反応性組成物を提供する工程であって、前記光反応性組成物が、
（１）酸又はラジカル開始化学反応を受けることが可能な少なくとも１つの反応性種及び
（２）少なくとも１つの多光子光開始剤系を含む工程と、
（ｂ）少なくとも前記組成物の一部を少なくとも２つの光子を同時に吸収させるのに十分な光に撮像的に暴露することにより少なくとも１つの酸又はラジカル開始化学反応を誘導する工程であって、前記組成物が、前記光に曝露され、前記撮像的暴露が、複数個のマイクロレンズの少なくとも表面を画定するのに有効なパターンで行われ、前記マイクロレンズのそれぞれが、主軸線及び焦点距離を有し、少なくとも１つのマイクロレンズが、非球形状である工程とを含む。
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【課題】スクリーン印刷の汚れを回避するために行われる使用感光部の周囲の感光が、非常にスピードアップされ、費用もかからないスクリーン・レーザー感光法および装置を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷では、実際に印刷するモチーフとなる使用感光部１６は、通常スクリーンの中央に配置される。使用感光部以外の周囲では、周辺部へのインクの染み出しを防ぐ不透過のスクリーン被膜を形成する。使用感光部の周辺部１８の感光は、ブリッジ１４に取り付けた多数のダイオードを有するストリップライトを用いて行い、コストの高いレーザー感光は使用感光部にだけ用いる。 （もっと読む）

【課題】寸法安定性に優れた感光性組成物、該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤及び炭素系ナノ材料を含む感光性組成物である。本発明の感光性組成物は、パターン情報に基づいて、光を変調しながら露光ヘッドと感光層の被露光面とを相対走査することによる前記被露光面上の二次元パターンの形成に用いられ、或いは、感光層を露光し現像した場合に、露光及び現像後において、前記感光層の被露光部の厚みが変化しない露光の最小エネルギー量が０．１ｍＪ／ｃｍ^２〜１００ｍＪ／ｃｍ^２である感光層に含有されるものである。また本発明は、前記感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】シート上に塗布された紫外線硬化樹脂層を効率良く硬化し、平面性に優れた紫外線硬化樹脂層付きシートを得る紫外線硬化樹脂層の硬化方法及び紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線硬化樹脂層が塗布されたシートＦをバックロール１３に巻き回し、該巻き回した部分にバックロール表面近傍に設置された窒素ガスパージボックス１より窒素ガスパージしながら紫外線を照射し硬化する紫外線硬化樹脂層の硬化方法において、該窒素ガスパージボックス１のサイドプレートの縁の形状がバックロール１３の中心に対して円弧状と非円弧状とで形成する。 （もっと読む）

【課題】解像度が高く、長時間現像を行ってもテント膜強度が維持低下しにくく、より高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層を有してなり、該感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び染料を含み、前記重合性化合物が、分子内に４個以上のウレタン基を有する化合物を含有する。前記分子内に４個以上のウレタン基を有する化合物が、２つ以上のエチレン性重合基を更に有する態様などが好ましい。 （もっと読む）