【課題】像内の不所望な強度最大値および／または強度最小値（スペックル）の発生を回避することができるマイクロメカニカル素子を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子が、第１の外面上に反射面を備えたミラー素子と、対向電極と、電圧制御装置とを有し、ミラー素子は、第１の外面とは反対方向に向けられているミラー素子の第２の外面上の第１の電極面に第１の電位が印加されるように構成されており、対向電極はミラー素子の第２の外面の近傍に配置されており、該対向電極の第２の電極面に第２の電位が印加されるように構成されており、電圧制御装置は第１のコンタクト素子を介してミラー素子の第１の電極面と接続されており、第２のコンタクト素子を介して対向電極の第２の電極面に接続されており、且つ、時間的に変化する電圧信号を第１の電極面と第２の電極面との間に印加するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル構造体の近設される可動部間の電気干渉を抑制するための電界遮蔽構造が、容易に製造できるようにする。
【解決手段】マイクロメカニカル構造体１００は、一端が固定された複数の可動部１３１ａと、隣り合う可動部１３１ａの間に可動部１３１ａとは離間して配置される電界遮蔽構造１１１ａとを備える。マイクロメカニカル構造体１００は、ＳＯＩ基板より構成されている。ＳＯＩ基板を構成するシリコン基部１０１の層に電界遮蔽構造１１１ａが形成され、埋め込み絶縁層１０２の上のシリコン層１０３に、可動部１３１ａが形成されている。また、電界遮蔽構造１１１ａおよび可動部１３１ａは、埋め込み絶縁層１０２に形成された開口領域に配置されるように形成されている。 （もっと読む）

ディジタル立体像投射機内に、第１偏向状態の偏光照明光を生成する光源サブシステムと、その光路上にある回動多部分ディスクを用い第１及び第２光ビームを交番的に生成するビーム分割サブシステムとを設け、その回動多部分ディスクの外寄りに透光部及び遮光部、内寄りに反射部及び透光部を互い違いに配する。第１又は第２光ビームの光路上にある偏向回転器でそのビームの偏向状態を第１偏向状態からそれと直交する第２偏向状態へと回転させる。光結合サブシステムにて、第１光ビームと第２光ビームを結合して結合光ビームを生成する。空間光変調器にて、立体像データに従い結合光ビームを変調しその偏向状態が略直交する第１及び第２変調像を生成する。投射サブシステムにてそれらの変調像を表示面上に投射する。
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【課題】 ＶＩＰＡ板の温度を変えることなく、かつ自由スペクトル領域を狭めることなく、ＶＩＰＡ板の動作波長を変化させることができる波長分散光学装置を提供する。
【解決手段】 出射光学系が光線束を出射する。出射光学系から出射した光線束がＶＩＰＡ板に入射する。ＶＩＰＡ板は、入射した光線束を、波長ごとに相互に異なる方向に出射させる。再入射光学素子が、ＶＩＰＡ板から出射された光線束を、ＶＩＰＡ板から出射した光の進行方向によって、ＶＩＰＡ板の相互に異なる位置に再入射させる。出射光学系から出射し、ＶＩＰＡ板へ入射する光線束の入射角が変化するように、入射角調節機構が、ＶＩＰＡ板と出射光学系の出射部との相対的な位置関係を変化させる。 （もっと読む）

【課題】温度や振動等の影響によりミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置を提供する。
【解決手段】主系統レーザ光を出射する主系統出射器１と、主系統レーザ光を伝送するための１以上の導光ミラー４，５，６と、ダイクロイックミラー１４，１５，１６と、主系統レーザ光の光路上に設けられたチルトミラー３と、第１計測系統レーザ光を出射する計測系統レーザ発生器８ｂと、第１計測系統レーザ光の位置を検出する検出部１０と、検出部１０の検出結果に基づいて導光ミラー４，５，６の各々における角度ずれを算出し、当該角度ずれに基づく光軸ずれを補正するための第１制御信号を生成する制御器１１ｂと、第１制御信号に基づいてチルトミラー３の角度調整を行うミラー駆動部１２とを備え、ダイクロイックミラー１４，１５，１６の各々は、主系統レーザ光を透過させるとともに、対応する第１計測系統レーザ光を反射させる。 （もっと読む）

【課題】単一のアクチュエータで３点以上の安定点を取ることができ、小型化・集積化可能な微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】微小可動デバイスは基板３１と、基板３１上に設けられた固定構造物と、その固定構造物に連結支持されて基板板面と平行に駆動される可動構造物とを有する。可動構造物（可動ロッド４１）は第１の双安定ヒンジ対５３，５４の中央に結合され、第１の双安定ヒンジ対５３，５４の他端は第２の双安定ヒンジ対５６，５７の中央に結合され、第２の双安定ヒンジ対５６，５７の他端は固定構造物（アンカー部５８）に結合される。２つの双安定ヒンジ対がそれぞれ２つの安定状態の何れかにある時に可動ロッド４１は４つの安定点を取ることができる。双安定ヒンジ対をＮ段構成（Ｎは２以上の整数）とすれば、安定点が３以上２^Ｎ以下の個数の相互に異なる点として形成される。 （もっと読む）

【課題】光波長選択デバイスの温度変化による特性劣化を補償する。
【解決手段】光ポート１００から出射した光は、回折格子２００によって分光される。周囲温度が上昇すると、回折格子支持機構６００が回折格子２００を回動させるため、回折格子２００に対する光の入射角が大きくなるので、周囲温度の上昇によって回折格子２００の格子間隔が変化しても、光の分散角は周囲温度が変化する前と同じに保たれる。周囲温度が上昇すると、光路折り曲げミラー支持機構７００が光路折り曲げミラー５００を回動させるので、回折格子２００の回動による光路の変化が修正され、光路折り曲げミラー５００によって反射された各波長の光はそれぞれ集光レンズ３００を通過して対応する光素子４００−１〜４００−３に結合される。 （もっと読む）

【課題】１つの光源を用いて広範囲に渡って光を精細に反射することが可能なマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】描画装置１０は、光源部材であるレーザダイオード（ＬＤ）１１、光切替部材である切替ミラー１２、及びミラー部材である第１及び第２の描画ミラー１３、１４を備える。レーザダイオード１１はレーザ光を射出する。切替ミラー１２は、ＭＭＤから成り、平面かつ正方形の鏡面１５を有する。第１及び第２の描画ミラー１３、１４は、ＭＥＭＳから成り、平面かつ正方形の鏡面１６、１７を有する。描画装置１０は、照射対象面２０に向けてレーザ光を照射する。照射対象面２０は平面であって、レーザ光により任意の画像が描かれる長方形の描画領域２１と、描画領域２１の外側に設けられる光検出部材２２とを有する。 （もっと読む）

本発明は、制御可能なファブリ・ペロー干渉計に関し、この干渉計は微小機械（ＭＥＭＳ）技術によって製造される。従来技術の干渉計の製造は、犠牲層（１２３）のエッチングの間のミラーの劣化のリスクを含む。本発明による解決法に従えば、ミラーの少なくとも１つの層（１０３、１０５、１１４、１１６）は、ケイ素リッチな窒化ケイ素から成る。この発明的なファブリ・ペロー干渉計においては、ミラー層における酸化ケイ素の使用を回避または減少させることが可能であり、それによりミラーの劣化のリスクが減少する。また、高い粗さのミラー表面を使用することも可能であり、それによりミラーが互いに貼り付いてしまうというリスクが減少する。 （もっと読む）

【課題】あらゆる規模の光学系器材に適用でき、伝送するレーザ光に直接影響を与えず、温度や振動等の影響によりレーザ光を伝送するミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置の提供。
【解決手段】１以上の第１ミラー（アクチュエータ付きミラー６，９）と、ガイドレーザ光照射部２と、第１ミラーのいずれかに達するまでの光路上に設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射するミラー付きシャッタ５と、１以上の第１ミラーの各々の後段に対応して設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射する１以上の第２シャッタ（ミラー付きシャッタ７，８）と、反射されたガイドレーザ光の位置を検知する４象限検知器１２と、ガイドレーザ光の位置と予め設定された基準位置とに基づいて１以上の第１ミラーの各々における角度ずれを算出して補正するコントローラ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の反射面位置により光位相を変調する方式において、ミクロンサイズの構造にマイクロミラーを一体化した構造体の駆動において光波長より十分短い位置精度で光の反射面位置を制御する位相変調素子を提供する。
【解決手段】可動構造体２２の移動を２枚の薄膜金属片持ち梁停止板１３で挟んだ範囲に限定し、所望の光位相変調量から該停止板間距離を設定し、該範囲の中央から両端部に向けより低いエネルギーポテンシャル状態を形成し、メモリセルデータにより該構造体の移動方向を差別化し、該構造体を該範囲のいずれかの端に移動させ、端に形成した該梁停止板によって該構造体を停止し保持安定化させる双安定駆動により、該構造体に一体化したマイクロミラーにより反射される光の光路長を切り替え、再現性の良い光位相変調を実現する。 （もっと読む）

【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】スペクトルバンドを入力ポート（１２）と出力ポート（１５）との間に選択的に方向付ける波長ルータを提供する。
【解決手段】上記ルータは、上記入力ポートと上記出力ポートとの間に配置された自由空間光学縦列と、経路設定メカニズム（３０）とを含む。上記自由空間光学縦列は、エアスペースエレメント（２０、２５）を含み得るか、または、モノリシック構成であり得る。上記光学縦列は、回折格子などの分散エレメント（２５）を含み、該入力ポートからの光が該分散エレメントと２回当たった後に上記出力ポートに到達するような構成にされる。上記経路設定メカニズム（３０）は、ルーティングエレメントを１つ以上含み、上記光学縦列中の残りのエレメント（３７）と協働して、上記スペクトルバンドのサブセットを所望の出力ポートに結合させる光路を提供する。 （もっと読む）

【課題】高価な追加部品や複雑な機構などを用いることなく装置の大型化を抑制しつつ、スペックルノイズの除去性能を向上させることが可能なレーザ投射装置および画像投影装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を投射するレーザ投射装置であって、レーザ光源と、レーザ光源から射出される基本レーザ光を、第１のレーザ光と、レーザ投射装置外部への投射に供される第２のレーザ光とに分岐させる分岐手段と、第１のレーザ光を集光する集光手段と、集光手段によって集光された第１のレーザ光を、集光手段へと反射する反射手段とを備える。そして、レーザ光源は、反射手段によって反射された第１のレーザ光が、集光手段および分岐手段を経てレーザ光源へと戻される戻り光によって、基本レーザ光の波長を変動させる。 （もっと読む）

【課題】 光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能な光クロスバー、及び光集積装置を提供する。
【解決手段】 その横断面が長方形で、かつその一端面に、縦断面の中心線に対して略４５度の角度を有し、該中心線に対して１８０度対称の位置に形成された各々が長方形状の２つの傾斜面に金属ミラーを形成した形状記憶合金を用いて、複数本並列に並べられた光ファイバ内を伝搬する光の導通の切り替えを一度に行なうアドドロップスイッチを構成する。 （もっと読む）

【課題】画像表示素子の位置を高精度かつ簡単に調整可能な位置調整装置の提供。
【解決手段】基板１０５、ＤＭＤ１１、及びパッケージ１０１がねじ１０８で基準部材１０４に共締めされ、ＤＭＤ１１の反射面と基準部材１０４との間に球状部品１１０が介在する。球状部品１１０は共締めによる基準部材１０４に対する押し付け力を支承してＤＭＤ１１の反射面の法線方向の位置を位置決めする一方、法線方向と直交する面方向にはＤＭＤ１１の移動を許容する。圧電素子１０３が弾性片１０２の付勢力に抗してＤＭＤを面方向に変位させることにより、ＤＭＤ１１の位置を高精度かつ簡易に調整できる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

【課題】使用状況によらず安定した制振特性を得ることができるガルバノミラーの位置制御装置を提供する。
【解決手段】ガルバノミラーの制御装置２０は、揺動ミラーの目標角度に応じて指令電圧Ｖ０を出力するとき、角度検出部２４で揺動ミラーの角度θを検出し、検出された角度を角速度検出部２３で微分することにより角速度ωを検出し、フィルタ部２５で移動平均を求め、フィルタリング後の角速度に所定の比例ゲインＧを乗算することで補正電圧Ｖ１を算出し、補正電圧生成部２６で指令電圧Ｖ０から補正電圧Ｖ１を減算することにより、揺動ミラーの角速度ωに応じて補正された指令電圧Ｖ２をインバータ部２２に出力し、揺動ミラーの角速度ωの変化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】広い波長範囲に亘ってシングルモードの高速な連続波長掃引が可能であり、且つ複数の出力光を出射できる波長掃引光源を提供する。
【解決手段】回動ミラー３０の反射面３２ａの角度変化に応じて共振器長を変化させ、半導体発光素子２２が出射する光の波長を所定範囲内で連続的に変化させるリトマン方式外部共振器型の波長掃引光源において、半導体発光素子２２から出射された光の一部を回折格子２５の所定入射位置Ｇに向けて反射させるとともに、回折格子２５から逆光路で戻された光の一部を半導体発光素子２２の低反射率面２２ａに向けて反射させ、残りの少なくとも一部を透過させるハーフミラー２４０と、回折格子２５から逆光路で戻されてハーフミラー２４０を透過した光を回動ミラー３０に対して非交差となる方向に反射させることにより第１の出力光Ｌ₁を外部に出射する第１の出力ミラー２４１を備える。 （もっと読む）