【課題】一体化された光学補正構造物を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】光学補正構造物を基板上方に製造し、光学補正構造物上方に複数の光変調素子を製造する。光変調素子は、個々にアドレス可能で透明基板内を透過された光又は透明基板から反射された光を変調するように構成される。また光学補正構造物は、補足的フロント照明源、ディフューザ、ブラックマスク、回折光学素子、カラーフィルタ、反射防止層、光を散乱させる構造物、マイクロレンズアレイ、及びホログラフィー膜のうちの１つ以上を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】再現性の良い安定した平行移動が可能な平行移動ミラーと、該平行移動ミラーを用いることで波長帯域幅が安定した波長可変光フィルタおよび波長可変光源などの光モジュールを提供する。
【解決手段】光を入射させるための貫通孔２を有する基台１と、基台１と対向する可動層４と、基台１と可動層４を電気的に分離した状態で連結させるとともに、両者間に所定距離のギャップを与え、貫通孔２から入射した光の光路と非交差となるように配置された絶縁層３と、可動層４内に形成され貫通孔２上に位置するメンブレイン４１およびメンブレイン４１の基台１とは反対側の表面に形成された可動ミラー５からなる振動部６と、振動部６の共振周波数ｆに等しい周期で振動部６を振動させる駆動装置１０と、可動ミラー５が形成された箇所を除くメンブレイン４１上に形成された金属からなるおもり部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バックプレートの内面側に電子回路を含むインターフェロメトリックモジュレータベースディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイを、透明基板１０４と、透明基板を通して光を反射するよう構成されたる反射素子を含むインターフェロメトリックモジュレータのアレイ１０２と、インターフェロメトリックモジュレータのアレイに隣接する第１の面を含み、第１の面上に、上記反射素子の変位を制御するよう構成された電子回路１１４が製作された、バックプレーン１０８と、バックプレーン上の電子回路とインターフェロメトリックモジュレータのアレイとの間に電子通信を提供する複数の電気的接続と、を具備するように構成する。 （もっと読む）

【課題】サイズを小さくしかつ切換速度を速くしたマイクロメカニカル素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子５は、２つの接触電極３a、３bを橋絡する可動電極である切替素子６と、この切替素子６を接触電極３a、３bに対して静電力により垂直方向に移動し、接触電極３a、３bに接触した状態と離れた状態の２つの安定した状態に保持するための切換電極２a、２bとを有し、切換電極２a、２bは接触電極３a、３bの間とその上方に配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動時に並進変位動作する可動部について回転変位を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を含んでなる光干渉計を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、可動部１０、固定部２０、および連結部３１〜３４を備える。可動部１０は、一対の電極部１２，１３を有する。固定部２０は、電極部１２，１３の離隔方向に交差する方向における可動部１０の並進変位の駆動力を電極部１２，１３と協働して発生させるための一対の電極部２２，２３を有する。複数の連結部３１〜３４のそれぞれは、可動部１０に接続し且つ固定部２０に接続する。連結部３１および可動部１０が接続する接続部Ｐ１と、連結部３３および可動部１０が接続する接続部Ｐ３との離隔方向における、接続部Ｐ１，Ｐ３の間以内に、電極部１２，１３は位置する。 （もっと読む）

【課題】接合材の熱収縮によるマイクロミラーチップの平面度の低下が低減されたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０および電極基板１３０を保持している基板保持部材１７０とを有している。マイクロミラーチップ１１０は可動ミラー部１１２を備えている。電極基板１３０は、マイクロミラーチップ１１０から間隔を置いてマイクロミラーチップ１１０に対向して配置されている。基板保持部材１７０は、マイクロミラーチップ１１０の側面および電極基板１３０の側面と機械的および電気的に接合された二つの板状部材１７２で構成されている。 （もっと読む）

【課題】遅延干渉計における遅延量の可変範囲が広く、かつ、外来振動等の影響を受けても所要の遅延量を安定して実現できる、差動位相変調信号光の復調装置を提供する。
【解決手段】復調装置は、入力されるＤＰＳＫ信号光をハーフミラー１１で２分岐して第１および第２の光路Ｐ１，Ｐ２にそれぞれ送る。第１の光路Ｐ１上には、ＭＥＭＳミラー１２、第１レンズ１３および階段状ミラー１４が配置されており、ＭＥＭＳミラー１２の角度に応じて階段状ミラー１４での光を折り返し位置が変わることで、第２の光路Ｐ２を往復した信号光に対する第１の光路Ｐ１を往復した信号光の遅延量を段階的に可変設定することができる。 （もっと読む）

【課題】可動鏡を含む光学系の気密性を高めることができ、且つ小型化が可能な光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュール１Ａは、支持基板１０と、支持基板１０の板面１０ａ上に絶縁層１２を介して配置された半導体層１４とを有するＳＯＩ基板から作製される光モジュールであって、Ｙ軸方向に移動可能となっており、Ｙ軸方向と交差する側面上に鏡面２２ａが形成された可動鏡２２と、支持基板１０の板面１０ａ上に設けられ、可動鏡２２の鏡面２２ａと光学的に結合されたフォトダイオード３２と、支持基板１０の板面１０ａ上に設けられ、可動鏡２２及びフォトダイオード３２を気密に封じるキャップ部材３４と、支持基板１０及び絶縁層１２を貫通して設けられ、フォトダイオード３２と電気的に接続された素子用電極部３６とを備える。 （もっと読む）

共通のミッドプレーン又はバックプレーン通信バス（132）に結合された複数のコンピュータサーバ（160）間で二地点間通信を確立するための構成可能な光通信システム（100）において、複数のサーバの少なくとも２つが光信号（112）を送受信するための光入力／出力デバイス（170）を含む。システムは更に、前記光信号を伝えるように構成された光通信経路（140）と、光経路内に配置され、光入力／出力デバイスと一列に並んだ少なくとも２つの枢動可能ミラー（150）とを含み、当該枢動可能ミラーが、光入力／出力デバイス間で光信号を導くように選択に方向付けられ、少なくとも２つのサーバ間で二地点間通信を確立する。 （もっと読む）

【課題】ガラスまたは光導体を加えると、変調器に厚さが加わり、これにより視差の問題を引き起こし、像の視覚的な品位を落とす。また、製造プロセスは、いくつかの部分を加えることでいっそう複雑になるという問題がある。
【解決手段】空間光変調器は、画像データに基づいて光を変調する要素２０４の配列を含む。変調器は、前記要素の配列に隣接して配置された第１及び第２の表面を有するディスプレイパネルを有し、前記第２の表面が前記要素の配列に直接隣接し見る人２１４が光の変調により生成された画像を見ることを可能にする。また変調器は、光を前記ディスプレイパネルに供給する光源２１６と、前記要素の配列に前記光源からの光を反射するための前記ディスプレイパネルの前記第１の表面上の照明ドット２０８とを含むことができる。 （もっと読む）

光デバイスは、第１および第２表面を含む軟質ポリマー膜を有する。第１コンプライアント電極は第１表面に接続され、第２コンプライアント電極は第２表面に接続される。剛性の光素子は、第１および／または第２表面に接続されるか、または、ポリマー膜に組み込まれる。
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【課題】信頼性を確保しつつミラーのギャップ制御を容易にした光フィルタを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルタ１００は、互いに対向して配置された第１基板１４及び第２基板１５と、第１基板１４に設けられた第１ミラー２Ａと、第２基板１５に設けられ、第１ミラー２Ａと対向配置された第２ミラー２Ｂと、第１基板１４と第２基板１５とを磁力により固定する磁力クランプ手段２５とを有する。 （もっと読む）

【課題】挿入損失の少ない光スイッチを提供する。
【解決手段】光スイッチは、単一のポート１２を有する光入力部と、複数のポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを有する光出力部と、光入力部のポート１２と光出力部のポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとを光学的に結合するためのマイクロミラー３０とを有している。マイクロミラー３０は、その向きが変更可能な反射面３２を有している。光スイッチはまた、マイクロミラー３０を移動させてマイクロミラー３０を介して互いに光学的に結合されるポート１２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃを切り替える移動機構（移動体４２とアクチュエーター４４）と、光出力部から出力される光の強度を検出する複数の検出部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃと、検出部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃで得られる情報に基づいてマイクロミラー３０の反射面３２の向きを制御する制御部７０を有している。 （もっと読む）

【課題】ミラー間のギャップを可変させた場合においても分光特性に優れた光を取り出すことができ、しかも取り出す光の分光特性を低下させることなく良好に維持することができる光フィルタ及びそれを備えた光モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルタ１は、第１の基板２と、これに対向して接合され、第１の凹部５及び第２の凹部７が形成された第２の基板３と、第１の凹部５に第１のギャップを介して設けられたミラー４Ａ、４Ｂと、ミラー４Ａ、４Ｂの周囲に第２のギャップを介して設けられた一対の電極６Ａ、６Ｂと、第１の基板２に形成された第１のダイアフラム部８と、第１のダイアフラム部８の内周側に形成された第２のダイアフラム部９とを備えた。 （もっと読む）

周波数調整可能またはチャープレーザーデバイスが記述され、これは、複数の光学部品から形成されるレーザーキャビティを含む。光学部品は、光線を生成するためのレーザー光源（２０、１８０、２２２、２４０）、スペクトル調整要素（２８、４２、１８８、２３０、２４４、３００）、および、光線をスペクトル調整要素（２８、４２、１８８、２３０、２４４、３００）に向けるための１つ以上のさらなる光学部品（２２、２４、２６、３０、３２、６４、６０、１８４,１９４,１９５,１９８、２２０、２３２、２３４、２４２、２４６、２４８）を含む。複数の光学部品（３４、６４、１９５、２３２、２４２）の少なくとも一つは、第１の自由度（３４；R；２５０）で可動であり；その動き（２８、４２、１８８、２３０、２４４、３００）により、同時にレーザーキャビティの有効光路長およびスペクトル調整要素の調整周波数を変更する。デバイスの有効光路長、および、調整周波数は、前記少なくとも一つの可動の光学部品（３４、６４、１９５、２３２、２４２）の前記第１の自由度以外の自由度のどのような動きにも実質的に反応しない。このことは、モードホッピングが抑制される周波数調整を提供する。
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【課題】改良された特性を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子を監視するための空間を節約するセンサを提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子１００は、可動機能素子１１０と、第１から第４の保持素子１２０、１３０、１４０、１５０とを備える。第１の保持素子および機能素子が第１の接合１２２で接続され、第２の保持素子および機能素子が、第２の接合１３２で接続され、第３の保持素子および機能素子が、第３の接合１４２で接続され、かつ第４の保持素子および機能素子が、第４の接合１５２で接続される。また、第１の保持素子および第２の保持素子は、各々圧電駆動素子１２４、１３４を含み、第１の保持素子の駆動素子および第２の保持素子の駆動素子が、電気励起により機能素子を動かすよう構成される。 （もっと読む）

【課題】ＷＤＭ光の各チャネル間に光路長差を与えることのできる低損失な光波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】光波長選択スイッチ１は、入力ポートＰｉｎからのＷＤＭ光を分光素子１４で波長に応じて角度分散し、第１集光デバイス１５により各チャネルを集光して第１可動ミラー部１６に与える。第１可動ミラー部１６は、所要のチャネルを遅延光学系に送り、その他のチャネルを分光素子１４側に戻す。遅延光学系は、第１，２集光デバイス１５，１７および第２可動ミラー部１８によりリレー光学系を形成しており、該遅延光学系を往復した光を第１可動ミラー部１６で再度反射し、第１集光デバイス１５および分光素子１４を介して出力先のポートに導く。 （もっと読む）

【課題】静電気力で動作させるマイクロ機械素子における帯電量の変化に起因する駆動特性の変化を測定することを目的とする。
【解決手段】駆動電極１０ａ〜１０ｃを片側極性の電圧制御により動作させる静電駆動式のマイクロ機械素子１に対し、基準電極電圧を変化させることにより、擬似的に逆極性駆動を行って、マイクロ機械素子上の電荷の帯電量に起因する駆動特性の変化量を測定する。 （もっと読む）

【課題】観察光の解像度および光量を保ちつつ対象部位を観察できる光変調装置およびレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】光変調装置１Ａは、第１の方向に延びる第１の光路に沿って入射したレーザ光Ｌｒを変調する反射型ＳＬＭ７と、照明光Ｌｉを透過させる透光性部材５上に形成され、反射型ＳＬＭ７から前面に入射したレーザ光Ｌｒを、第１の方向と交差する第２の方向に延びる第２の光路上へ反射させるとともに、背面に入射した照明光Ｌｉを第２の光路上へ透過させる誘電体多層膜鏡６と、誘電体多層膜鏡６から照明光Ｌｉ及びレーザ光Ｌｒを受け、照明光Ｌｉ及びレーザ光Ｌｒを集光する集光レンズ９とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダイクロイック膜により色分離及び合成する光学系及びこれを備えた多板式投影装置に関し、光の利用効率が高く色再現性の良い光学系及びこれを備えた多板式投影装置を提供する。
【解決手段】最終的に投影される波長成分の光量の損失が色分離／合成時に生じないことを優先して設計されたダイクロイック膜２１により光の色分離及び合成を行う。ダイクロイック膜２１で合成された光は当該ダイクロイック膜２１での色分離／合成時に生じた不要光を除去する特定偏光透過手段２５を透過する。これにより、高い光の利用効率と高い色再現性が実現できる。 （もっと読む）