【課題】櫛歯電極構造を高いアライメント精度で製造する方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１５１の面１５１ａ上に櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを形成し、これを介してシリコン基板１５３を貼り合わせる。シリコン基板１５１，１５３の面１５１ｂ，１５３ｂに、櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを内包する粗櫛歯マスクパターン１５４，１５５を形成する。面１５３ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５５をマスクにしてシリコン基板１５３を選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ａをマスクにしてシリコン基板１５１を選択的に除去する。面１５１ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５４をマスクにして残存シリコン基板１５１ｃを選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ｂをマスクにして残存シリコン基板１５３ｃを選択的に除去する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線発信器から発振されたレーザー光線の出力を高速制御することができるレーザー光線照射機構およびレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線発振器と集光レンズとの間に配設された出力調整手段６３とを具備するレーザー光線照射機構であって、出力調整手段は、１／２波長板と、直線偏光のレーザー光線を入光してS偏光成分を反射させP偏光成分を透過せしめる第１の偏光ビームスプリッター面および第２の偏光ビームスプリッター面を備えたプリズム６３２と、S偏光成分とP偏光成分との間に位相差(α)を生成する光路長調整手段６３３と、偏光成分合成手段６３６と、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線を分光する偏光ビームスプリッター面を備え、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線のS偏光成分とP偏光成分との位相差(α＋β)を０度から１８０度の間で制御する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを用いた伝送システムでは、光ファイバの曲げ、捻り、加重などにより、光ファイバ出口からのレーザ開口率が変化してしまう。
【解決手段】レーザ光を伝送するレーザ光伝送装置であって、入射端にレーザ光が入射し出射端からレーザ光が出射される光ファイバと、レーザ光の光源と光ファイバの入射端を光学的に接続し、入射端に前記レーザ光を入射する入射光学系と、入射光学系から入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させる入射角度調整手段と、を備え、入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させることで出射端から出射されるレーザ光の開口率を制御する。 （もっと読む）

【課題】集光レンズの温度変化による膨張及び収縮などで起こる焦点距離の変化を抑えることのできる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、この光を分散させる分散素子と、分散素子により波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、集光要素によって集光された分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、を備え、温度変化に対して、集光要素の膨張による焦点距離の変化を、屈折率の変化による焦点距離の変化によりほぼ相殺する硝材で構成する。 （もっと読む）

【課題】実装コストの低い画像処理から構成され、また、明るさが常に変動する環境下でも安定して対象者の視点位置を検出することが可能な視点位置検出装置、視点位置検出方法及び立体表示装置を提供する。
【解決手段】視点位置検出装置は、１つ以上の発光マーカー１２ａを備え対象者２の頭部に装着可能であるマーカー部１２と、対象者２を撮像する撮像部１１と、撮像部１１が撮像した対象者２の画像から対象者２の視点位置を検出する視点位置検出部１４と、を備える。視点位置検出部１４は、撮像部１１が撮像した対象者２の画像上の発光マーカー１２ａの位置を検出し、発光マーカー１２ａの位置に基づいて対象者２の視点位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】光源から出る多波長光のうち、所望の波長の光を容易に選択することができるようにした露光波長調節装置及びそれを利用した露光機を提供する。
【解決手段】本発明による露光波長調節装置は、光源から出射される多波長の光の入力を受け、分離屈折させて多数の波長を出力する分離屈折部；前記分離屈折部で分離屈折されて入射される多数の波長の光経路を変化させるミラー；及び前記ミラーで反射される多数の波長の光の一部を通過させる部分光通過部を含む。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易なマイクロミラーデバイスを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】反射角を変化させることができるミラー２を複数個配置して成るマイクロミラーデバイスと、ミラー２群の内の複数のミラー２の、各々１つの反射面に対して、各々の別の光線束、若しくは、各々の別の曲面から出射する平行光線束、若しくは、共通な直交曲面をもつ光線群に、２つ以上の方向から集まる光線群と、２つ以上の方向へ広がる光線群の、両方を含んで成る光線束を、入射させる部分１と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】光を反射する方向を容易に変更することが可能な光学素子を提供すること。
【解決手段】光学素子１００は、中空部を有する円柱状をなし、電気刺激により、一方の端部の外径が変化するアクチュエータ本体１１と、アクチュエータ本体１１の一方の端部近傍の外周面上に設けられた第１の電極１２と、アクチュエータ本体１１の一方の端部近傍の内周面上に設けられた第２の電極１３と、を備えたアクチュエータ１０と、アクチュエータ本体１１の一方の端部に、中空部を塞ぐように配置され、湾曲凹面形状をなす鏡面を備えた鏡面部２０と、を有し、アクチュエータ本体１１の外径の変化に伴って、鏡面の曲率半径が変化するよう構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ２００は、前部反射面２０２と後部反射面２０４とを含む。前部反射面２０２は、光透過領域２０６のアレイを含み、光透過領域２０６を通して、光２０８は、光キャビティ２００を脱出することが可能である。光２０８は、１つ以上の光源２１０から光キャビティ２００に入る。光２０８は、光透過領域２０６のうちの１つを通して反射されるまで、前部および後部反射面２０２および２０４の間で反射される。 （もっと読む）

【課題】光を反射する方向を容易に変更することが可能な光学素子を提供すること。
【解決手段】光学素子１００は、光を反射する方向を変更することが可能な光学素子であって、ミラー本体１０と、アクチュエータ２０ａと、アクチュエータ２０ｂとを有している。ミラー本体１０は、入射した光を反射する鏡面を備えた鏡面部１１と、回転軸１２と、鏡面とは反対側に位置する裏面板１３とを有している。アクチュエータ２０ａは、長手方向を有する板状部材で構成されたアクチュエータ本体２１ａと、長手方向の一方の端部に１つの凸部２２ａとを有している。また、アクチュエータ２０ｂは、長手方向を有する板状部材で構成されたアクチュエータ本体２１ｂと、長手方向の一方の端部に１つの凸部２２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大きな遅延量で可変でき、かつ小型で安価な可変光遅延器及び可変光遅延方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明の可変光遅延器は、光入出射部１４から入力された平行光Ｐ_Ｉを互いに平行に配置された第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射し、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射した平行光Ｐ_Ｉを第３反射面１３で反射し、第３反射面１３で反射された戻り光Ｐ_Ｂを、第１反射面１１及び第２反射面１２で多重反射して光入出射部１４から出射する多重反射部１０を備える可変光遅延器であって、多重反射部１０は、第１反射面１１、第２反射面１２及び第３反射面１３と平行な直線１００を中心に回転可能である。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御が不要で低コストに任意のＰＭＤを発生させることができるようにする。
【解決手段】光入射部２１に入射された光信号を偏波分離手段２３により二つの直交偏波成分に分離し、その一方を第１可変遅延手段２５に与え、他方を第２可変遅延手段２６に与え、第１可変遅延手段２５によって遅延された一方の直交偏波成分と、第２可変遅延手段２６によって遅延された他方の直交偏波成分とを偏波合波手段２８によって合波し、光出射部２９から出射させる。制御部３０は、第１可変遅延手段２５と第２可変遅延手段２６の遅延量を互いに異なる周期で変動させて、その周期差により、偏波合波手段２８で合波された光の偏波成分の群遅延時間差を変化させる。 （もっと読む）

【課題】照明光の走査に拘わらず、波面変調素子によって付与した所望の波面を精度よくリレーでき、かつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、該走査機構９に固定され、光源２から入射された照明光の波面を変調して射出する波面変調部８とを備えるスキャナ４を提供する。また、光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、光源２と走査機構９との間の光路上に走査機構９との間に間隔を空けて配置され、光源２から入射された照明光の波面を変調して走査機構９に射出する波面変調部８とを備え、該波面変調部８が、該波面変調部８から走査機構９までの光路において波面に発生する変化を相殺する波面を、照明光に付与する波面に加算して付与するスキャナ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】表示書き込み過程の第１の部分の期間に第１の極性の電位差でＭＥＭＳ表示素子を作動させる駆動回路を制御するように構成された制御器を含む装置を提供する。
【解決手段】表示データをＭＥＭＳ表示素子に書き込む方法が電荷蓄積および経時変化差を最小にするように構成される。本方法は、逆極性でデータを書き込むことと、表示更新過程の期間にＭＥＭＳ素子を周期的に解放および／または作動させることを含むかもしれない。標準の表示データ書き込みの期間に用いられた電位差よりも高い電位差でＭＥＭＳ素子を作動させることも利用されるかもしれない。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でありながら、光の利用効率を高めることができる光学素子ユニット、レーザモジュール及び小型プロジェクタを提供する。
【解決手段】凹面ミラーＭＲにより、光源ＬＤから出射された光束を反射して、光導波路型ＳＨＧ素子の入射開口に集光させるので、簡素な構成で、部品点数が少なく、しかも結像位置以外での光の反射や吸収を抑えることができ、光のロスが少ない光学素子ユニットを提供できる。又、駆動装置ＤＲにより凹面ミラーＭＲを駆動するようになっているので、組み付け誤差に関わらず、光源ＬＤから出射された光束を、精度良く入射開口に集光させることができる。 （もっと読む）