本発明は、外側反射面（３）及び対向面（４）を有する可変薄膜（２）と、剛性支持板（７）と、フォースアクチュエータ（５，６）とを備える可変ミラー（１）に関する。アクチュエータ（５，６）は、初期の非変形状態にある薄膜（２）表面と直交方向に力を生成するように互いに離れて相互作用するとともに薄膜（２）を局部的に変形させるように生成される力の方向に互いに変位する２つの要素（５，６）を備える。２つの要素（５，６）の１つは支持板（７）内に組み入れられており、他の１つは薄膜（２）に連結される。２つの要素（５，６）の１つは生成される力の大きさを制御する。可変ミラー（１）は剛性リンク手段（１０）及び柔軟リンク手段（１１）を介して薄膜（２）に連結されたレファレンス手段（７，８）を備える。剛性リンク手段（１０）は薄膜（２）に取付けられ、柔軟リンク手段（１１）は少なくとも部分的にレファレンス手段（７，８）に取付られる。 （もっと読む）

【課題】分散補償量を可変する場合に損失劣化を最小限に抑える。
【解決手段】入力光コリメータ４と、可変の群遅延特性を与える群遅延特性付与部５−１，５−２と、出力光コリメータ６と、入力光コリメータ４から導入された光をなす光信号について分散補償すべく、群遅延特性付与部５−１，５−２での前記群遅延特性を制御する群遅延特性制御部１３，１４と、入力光コリメータ４からの光が該複数の反射型エタロンのそれぞれの入射側面での反射を介して該出力光コリメータに向けて出力される際の光軸位置と該出力光コリメータとの相対位置関係を位置決めする位置決め部１１と、前記相対位置関係が、該群遅延特性制御部で制御する前記群遅延特性に対応づけて設定された位置関係となるように該位置決め部を制御する位置決め制御部１３，１４と、をそなえる。 （もっと読む）

【課題】複数色の光変調を行って画像を形成するに当たり、各色に対応する光変調素子の相対的な光学位置調整を容易にし、また、発熱等によって生じる色毎の画素ずれを抑制することを目的とする。
【解決手段】支持部材３０と、支持部材３０上に配置され、異なる波長帯域の複数の線状の光を変調する光変調装置１２と、光変調装置１２を駆動する駆動部１６と、光変調装置１２上に設けられる光透過部材１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】スクリーンに走査される映像に生じるスペックルノイズを低減することができるプロジェクションディスプレイ装置を提供すること。
【解決手段】光源と、光源からの出射光が同じく変調された変調光を予め設定された時間範囲内でＮ（Ｎは２以上の自然数）回繰り返して出射する光変調器と、Ｎ回繰り返して出射される変調光を反射して毎回スクリーンの同一位置に走査するミラーと、変調光が走査される度に変調光の偏光方向を回転させる偏光回転部と、を含むプロジェクションディスプレイ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】 高効率で加工を行う。
【解決手段】 レーザ光源と、レーザ光源を出射したレーザパルスが入射する位置に配置され、回転中心の周囲に回転可能に保持され、入射したレーザパルスを回転位置に応じた方向に偏向して出射するビーム偏向器と、ビーム偏向器を回転中心を中心として回転させる回転駆動装置と、ビーム偏向器で第１方向に偏向して出射されたレーザパルスが入射する位置に配置され、入射したレーザパルスを出射する第１光学系と、ビーム偏向器で第２方向に偏向して出射されたレーザパルスが入射する位置に配置され、入射したレーザパルスを出射する第２光学系と、レーザ光源を出射するレーザパルスの出射タイミングと、ビーム偏向器の回転動作とを同期させて、ビーム偏向器に入射するレーザパルスを第１または第２方向に偏向して出射させる制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 光減衰量の変動を抑制することができる光減衰器を提供する。
【解決手段】 光減衰器（１００）は、光入力部（１０）からの光を入射軸と異なる軸方向に反射する第１反射部（４０）と、第１反射部からの光を反射する第２反射部（７０）と、第２反射部からの光が第１反射部によって反射された光を出力する光出力部（２０）と、第１反射部と第２反射部との間の光路途中に配置され光透過率が位置に応じて段階的に変化する光強度減衰フィルタ（６０）と、を備え、第１反射部は、光強度減衰フィルタへの入射位置をシフトさせるように回動可能である。 （もっと読む）

【課題】アドレス・レゾリューションが改善されたパターン作成装置の提供。
【解決手段】本発明に係る装置は、ある種類の画素マップをパターン・フィーチャーの内部に、別の種類の画素マップをフィーチャーの外部に、中間画素マップを境界線上に作成するようにされる。境界線上の中間画素マップが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態を有する位相変調素子の画素を含み、加工品に投影される位相変調空間光変調装置の画素に比べて微細なアドレス・グリッドで境界線上の配置によって作成される。境界線の露光レベルが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態に設定する位相変調素子の能力を使って作られ、中間画素マップに一致する中間変調状態に設定された位相変調素子の微小領域素子から反射された光の複素振幅を一体化した光の複素振幅により、微細なアドレス・グリッド及び前記境界線の露光レベルが作成される。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を用いることなく、迅速に作動させることができ、使用環境の制約が少なく、作動温度をより厳密に決めることができ、繰り返し使用することが可能となる可動部をラッチする温度ラッチデバイスを提供する。
【解決手段】所定の温度に応じて可動部を特定された位置にラッチする温度ラッチデバイスであって、
前記可動部は、温度変化に応じて固相である状態と液相である状態の間で繰り返し可逆的に変化する熱活性部材により、少なくとも一部が被覆された可撓性部材によって構成され、
前記構成体は、前記熱活性部材が固相であるとき剛性を有し、前記熱活性部材が液相であるとき柔軟性を有する構造とされている。 （もっと読む）

照明装置は、ホログラフィックフィルム８９及び光源９３（点光源等）を含む。点光源９３は、ホログラフィックフィルムのエッジに配置されて、ホログラフィックフィルム８９のエッジと向き合う発光面を有する。ホログラフィックフィルム８９は、回折屈折率構造で形成されたホログラムを含む。回折屈折率構造の密度は、光源９３からの距離が増大するのと共に増大する。光は、光源９３から、全内部反射等によってホログラフィックフィルム８９を介して伝播する。回折屈折率構造が光を方向転換させることによって、光が、所望の方向においてホログラフィックフィルム８９の外に伝播する。一部実施形態では、ホログラフィックフィルム８９の外に伝播する光は、ホログラフィックフィルム８９の表面にわたって高い均一性を有する。
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ディスプレイデバイスをパッケージングする方法とそれにより得られるデバイスが開示される。一態様で、この方法は基板を用意する段階を含む。この方法はさらに、その基板の背面上にディスプレイ要素のアレイを製造する段階を含み、このアレイは、ディスプレイ要素の電極を接続するディスプレイ要素の間の複数の柱を備える。この方法はさらに、背面板を用意する段階を含む。この方法はさらに、その背面板を基板の背面に封止する段階を含み、１つまたは複数の柱が、背面板を基板の背面に封止した後に背面板と接触する。
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【課題】支持基板の小型化が可能な圧電薄膜デバイス、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】矩形板状の単結晶基板からなる支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された可動部１０とを備え、可動部１０が、支持基板１の一表面側に立設され、支持基板１の厚み方向に直交する規定方向において離間した一対の短冊状の電極１２，１２と、支持基板１の一表面側に形成した圧電薄膜を用いて形成され、規定方向において一対の電極１２，１２間に介在する短冊状の圧電層１１とを有する。また、可動部１０は、一対の電極１２，１２および圧電層１１を覆う形で支持基板１の厚み方向に板状の変位量増大部１４が立設されている。一対の電極１２，１２間に電圧を印加していない状態で、発光デバイス（例えば、半導体レーザなど）からの光を阻止し、一対の電極１２，１２間に電圧を印加した状態で光を通過させることができる光スイッチを構成できる。 （もっと読む）

光パッケージは、半導体レーザ、波長変換素子及びＭＥＭＳ制御ミラーを、半導体レーザの出力と波長変換素子の入力の間に折返し光路を形成するように方位を定めて、ベースモジュール上に備える。光学アセンブリが機械的位置決めデバイスに配置され、機械的位置決めデバイスは、半導体レーザのビームが光学アセンブリを通過し、ＭＥＭＳ制御ミラーで反射されて戻り、光学アセンブリを通過して、波長変換素子の導波路領域に入るように、光路に沿ってベースモジュール上に配置される。ＭＥＭＳ制御ミラーは半導体レーザのビームを波長変換素子の入力にかけてスキャンするように動作することができる。光学アセンブリは、ビームの焦点が波長変換素子の導波路領域に合わせられるように、光路に沿って機械的位置合せデバイスを用いて調節することができる。
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【課題】この発明は、機軸方向を含む広範囲において、空間安定性能を有し、小型で、かつ大きい受信開口径を有する視軸指向装置を得る。
【解決手段】クーデ光学系を構成する第１乃至第４ミラー７〜１０が、レーザ光Ｌを放射するとともに、目標物からの反射光を入射する第１レンズ１１と、第１レンズ１１に入射した目標物からの反射光をレーザ光送受信部４に集光する第２レンズ１３との間に配設され、第１レンズ１１と協働してアフォーカル光学系を構成する第３レンズ１２が第３ミラー９と第４ミラー１０との間に配設されている。第１ミラー７が第１ミラー回転手段１５により第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１レンズ１１が第１レンズ回転手段１６により第１ミラー７の回転動作に連動して第１ミラー回転軸ＭＡまわりに回転可能に、第１ミラー７と第１レンズ１１とがジンバル装置１７により一体にジンバル回転軸ＧＡまわりに回転可能になっている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧を低減しつつ、優れた光学特性を有する光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の固定反射膜３５側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に固定的に設けられた第１の電極３３と、可動部２１の固定反射膜３５と反対側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に対し固定的に設けられた第２の電極４３とを備え、第１の電極３３および第２の電極４３のうち、一方の電極は、可動部２１との間の静電容量を検出するための検出電極として機能し、他方の電極は、可動部２１との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１の位置および／または姿勢を変化させるための駆動電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板に回動可能に設けられたミラーと電極基板に設けられた電極とを、高い位置（間隔）精度で近設させた状態が、より容易に得られるようにする。
【解決手段】支持基板１０１と、支持基板１０１の上に支持部（枠部１２６）で支持されて回動可能なミラー１２５を有するミラー基板１０２と、ミラー１２５に対向して配置された制御電極部１３２を有してミラー基板１０２の下部の支持基板１０１の上に固定された電極基板１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 所定の周波数の摂動電圧を用いた出力光強度安定化制御中に、出力光強度変動が出力光強度安定化制御に伴う正常値の範囲を超える異常値を示したときに、誤動作による出力光強度の変動を防ぐ。
【解決手段】 光スイッチに適用され、光パスを接続する複数のミラーの角度を設定する印加電圧（ＤＣ成分）に所定の周波数の摂動電圧（ＲＦ成分）を重畳してミラーを駆動し、各出力ポートにおける出力光強度を検出してミラーの角度を調整しながら出力光強度を安定化する制御を行う光スイッチ制御装置において、摂動電圧として少なくとも２つの周波数を合成した摂動電圧を用い、出力光強度から当該摂動周波数ごとの光強度信号を抽出し、各摂動周波数の光強度信号の変動が想定される正常範囲内にある摂動周波数を選択し、その摂動周波数の光強度信号に基づいて出力光強度の安定化制御を行う手段を備える。 （もっと読む）

【課題】高速動作、波長無依存、小型化、簡易な実装が可能な可変光減衰器を実現する。
【解決手段】光を透過し、入射面の角度を変化させることが可能な角度可変ＭＥＭＳ９、及び、角度可変ＭＥＭＳ９の入射面及び出射面に設けられ入射面に入射される光と出射面から出射される光の間の光路ずれを拡張させる高反射フィルタ７，８とからなる角度可変機構付き平行平板６によって、入力光の強度に対して出力光の強度を減衰させるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長選択的な偏光制御技術に関し、カラーセレクト装置による高速な偏光方向を回転させる波長成分の切り替えと偏光性能を両立した偏光制御技術を提供する。
【解決手段】特定の偏光方向を有する照明光３０が、それぞれ異なる波長成分の偏光方向を回転させるカラーセレクト１１１とカラーセレクト１１２を照明光３０の偏光方向に対して最良の偏光特性を有する方向にそろえて配置したカラーセレクト部１１０を透過する前に、照明光３０の光軸を中心に回転する第１の光路変更手段１２０により経時的に光路を変更する。これにより、高速な偏光方向を回転させる波長成分の切り替えと偏光性能を両立が図られる。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率が高く、部品点数を少なくして装置の長大化・大型化を抑制でき、短波長域を含む広い波長域で透過スペクトルが急峻で狭帯域特性を発揮する多段構造のリオフィルタと同等の波長可変フィルタを実現する。
【解決手段】波長フィルタ３１は、それぞれ第１及び第２光変調部３４，３６と水晶振動子３５，３７とからなる第１及び第２ＰＥＭ素子３２，３３を有する。第１及び第２光変調部の外側主面から離隔して、第１外側偏光子４５〜４７と第１外側反射膜４８、第２外側偏光子５０〜４２と第２外側反射膜５３が設けられる。入射光Ｌ1は入射側偏光子によりｓ偏光とｐ偏光とに分光され、それぞれ第１及び第２光変調部内部を多重反射しながら透過し、出射側偏光子により合成されて出射する。 （もっと読む）