【課題】構造、構成が簡素であり、ミラーをより大きな角度で傾けることが可能であり、しかも、Ｘ方向及びＹ方向の２方向への駆動の際、クロストークが生じ難いミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０Ａは、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー本体部２２の裏面２３に上端部３０Ａが固定された複数の支柱３０、（Ｃ）それぞれの支柱３０の下端部３０Ｂに一端部４０Ａが固定された変位部材４０、並びに、（Ｄ）変位部材４０の他端部４０Ｂを固定する支持部６０から成る。 （もっと読む）

【課題】対をなす作用点どうしの距離を短くでき、作用点の駆動力を大きくすることができ、さらに１部材によって作製可能にすることのできるバネの構造を提供する。
【解決手段】作動部材６３は第１の支持軸６５によって中央近辺を回動自在に支持されている。作動部材６３の左右両側には、支持軸６５を挟んで両側にそれぞれ連動部材６４ａ、６４ｂが配置されている。連動部材６４ａ、６４ｂは、第２の支持軸６９によって回動自在に支持され、また作動部材６３に回動自在に連結されている。支持軸６９は作動部材６３と６４ａ、６４ｂの連結箇所よりも支持軸６５に近くなっており、支持軸６９よりも支持軸６５に近い箇所に作用点部分７０が定められている。 （もっと読む）

【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】制御帯域が広く高効率なミラーチルトアクチュエーターを提供する。
【解決手段】ミラーホルダ３は、ミラー２を保持する。ミラーホルダ３は、台座に、少なくとも２方向に傾斜可能に保持される。駆動手段は、ミラーホルダ３を台座から傾斜させる。トーションバー４は、一端がミラーホルダ３の中央部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、一端がミラーホルダ３の周辺部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、ミラー面と平行な面内に延在し、かつ、屈曲部を少なくとも１か所有する。 （もっと読む）

【課題】複数ビームの光出力レベルの調整を、往復光走査時の任意の復路において、適正時間内に行える、新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】複数光ビーム発生手段１１と、発生した複数の光ビームを感光体１９に向けて偏向するビーム偏向手段１４と、複数光ビーム発生手段１１からの光ビームの各々に対応し、対応する光ビームの偏向方向を選択的に変更可能な複数の光偏向素子を有するマトリックスビーム偏向手段１０と、感光体１９に対する往復走査の際、往路では任意のグループの光偏向素子が、対応する光ビームを感光体１９に対する走査方向に偏向し、復路では任意のグループは、走査方向以外の方向（Ｂ１〜Ｂ３）に偏向するように光偏向素子の偏向方向を制御する制御手段Ｃｔｒと、偏向された光ビームの光量を検出する光検知素子１７と、検知結果に基づいて、対応する光ビームの光量を複数光ビーム発生手段に調整させる光出力制御手段８０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳアレイなどの二重軸ミクロミラーと、平行プレート静電動作で使用されるヒンジにおいて、正味の縦横変位を同時に制限しながら、コンプライアントなトーション回転を可能にする。
【解決手段】 円形ミラー（１２）は、対向しているが中心軸からずれた位置（３６）および（３７）で、複合縦ヒンジ（４０）および（４２）によってジンバル（４４）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】改良された特性を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子を監視するための空間を節約するセンサを提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子１００は、可動機能素子１１０と、第１から第４の保持素子１２０、１３０、１４０、１５０とを備える。第１の保持素子および機能素子が第１の接合１２２で接続され、第２の保持素子および機能素子が、第２の接合１３２で接続され、第３の保持素子および機能素子が、第３の接合１４２で接続され、かつ第４の保持素子および機能素子が、第４の接合１５２で接続される。また、第１の保持素子および第２の保持素子は、各々圧電駆動素子１２４、１３４を含み、第１の保持素子の駆動素子および第２の保持素子の駆動素子が、電気励起により機能素子を動かすよう構成される。 （もっと読む）

【課題】大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製法、光偏向器を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向するための光偏向ミラーであって、基板４の表面が光反射性を有し、裏面にポリマー材料を主成分とする樹脂皮膜５が形成されたミラー部１と、ミラー部１に設けられ、樹脂皮膜５の突出部からなるトーションバー２と、トーションバー２に連結された固定部３とを有し、ミラー部１は磁気感受性を有し、トーションバー２はミラー部１を傾動自在に支持する。基板４の表面で光を反射でき、基板４が磁気感受性を有するので、電磁石で基板を傾動させることができる。トーションバー２の材料がポリマーを主成分とする樹脂を主成分とする樹脂であるから柔軟性があり、小さな駆動源で傾動できる。基板４の表裏両面とも、フォトリソグラフィ技術によるパターニングと、ウエットエッチングにより製造でき、光偏向ミラーを廉価に製造できる。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる。
【解決手段】電極１５−１〜１５−４は、可動梁１２−１〜１２−４に対向して配置される。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー１４を高密度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 光ビームの投射位置の回転調整を精度良くかつ簡単に行えるレーザ直接描画装置を提供する。
【解決手段】ＤＭＤ７と基板Ｗとの間に設けられたガラス板１は、長方形の板状をなし、固定枠２０に支持されたピエゾ素子２１上に保持されている。ピエゾ素子２１はガラス板１の相対する２つの端部１０、１０の両端部、即ち長方形のガラス板１の４つの角部１１に設けられ、ねじり制御装置２の制御によりピエゾ素子２１ａｂｃｄのそれぞれを適宜伸長、短縮することにより端部１０、１０を反対方向にねじる。これにより、ガラス板１の表面角度が変動し、ガラス板１を透過して基板Ｗ上に照射するレーザビームの基板Ｗ上の照射位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】構造体の最終形状が目標形状と異なる形状にエッチングされる可能性を低減して、構造体の不良品率を低減することができる異方性エッチングによる構造体の作製方法などを提供する。
【解決手段】異方性エッチングによる構造体の作製方法では、単結晶シリコン基板100上に、目標形状に対応する基本エッチングマスク101、102a、102b、103、及び基本エッチングマスクに接続する連結部を持つ補正エッチングマスク107ａ、107ｂ、107ｃ、107ｄを形成する。補正エッチングマスクの連結部の少なくとも一部には、局所的に機械的強度を低下させた強度低下部151ａ、151ｂ、151ｃ、151ｄが形成される。異方性エッチングにより、エッチングマスクの施されたシリコン基板100をエッチングして目標形状を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１軸周りの揺動と第２軸周りの揺動が同一周波数で、且つ、互いに９０°異なる位相で行われる２次元走査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、揺動部材２と、揺動部材と中心が一致するように、前記揺動部材の外側に配置されたリング部材３と、前記揺動部材と前記リング部材とを接続し、第１軸に沿って配置された一対の第１接続部材４Ａと、前記揺動部材と前記リング部材とを接続し、前記第１軸と直交する第２軸に沿って配置された一対の第２接続部材４Ｂとを備え、前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記リング部材との接続部分を揺動中心として、前記リング部材を含む平面に対して略直交方向に揺動可能とされ、更に、前記リング部材を伸縮させて前記第１接続部材及び前記第２接続部材を揺動させることにより、前記揺動部材を揺動させる駆動手段５を備えることを特徴とする２次元走査装置１を提供する。 （もっと読む）

基板と、前記基板上に提供された少なくとも一つの半導体層と、前記少なくとも一つの半導体層上に提供され、駆動／検出回路を含む少なくとも一つのチップを備えた回路領域と、前記基板に取り付けられた支持構造と、前記支持構造に取り付けられた少なくとも一つの弾性デバイスと、前記少なくとも一つの弾性デバイスによって支持され、ｘ、ｙ、及びｚ軸方向の少なくとも一つにおいて自由に移動するプルーフマスと、前記少なくとも一つの弾性デバイス上に提供された少なくとも一つの頂部電極と、前記少なくとも一つの弾性デバイスの真下に位置した少なくとも一つの底部電極であって、初期キャパシタンスが前記少なくとも一つの頂部及び底部電極の間に生成されるような底部電極と、を備えており、駆動／検出回路、プルーフマス、支持構造、及び少なくとも一つの頂部及び底部電極は、少なくとも一つの半導体層上に製造されたＭＥＭＳデバイスを提供する。
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【課題】静電アクチュエータによるグレイスケール制御を行う場合、ミラーの中間位置での高精度位置決めが重要である。しかし、静電アクチュエータへの印加電圧とミラー変位量との関係は非線形であるので、制御系が複雑になってしまう。
【解決手段】リソグラフィ装置用の個別制御可能素子３０アレイは、アクチュエータにより駆動される反射器３１を備える。この反射器３１には所定位置に戻すようなバイアス力が作用している。バイアス力は該所定位置からの反射器３１の変位に対して非線形に変化する。 （もっと読む）