【課題】光分析装置に組み込んだ際にＳ／Ｎ比を高くできて高精度の測定を行うことができる波長可変干渉フィルター、光モジュールと、高精度の測定を行うことができる光分析装置を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターであるエタロン５は、第１基板５１と、第２基板５２と、固定ミラー５４と、可動ミラー５５と、静電アクチュエーター５６を備える。各ミラー５４，５５は、一層のＴｉＯ_２膜５７と、一層の合金膜５８とが積層されて形成される。ＴｉＯ_２膜５７の膜厚寸法ＴおよびＡｇ合金膜５８の膜厚寸法Ｓは、参照波長５６０ｎｍの反射率が目標反射率９１％となり、かつ、設定波長４００ｎｍの反射率が、前記金属膜のみで反射膜を構成した場合より低くなる膜厚に設定される。 （もっと読む）

【課題】使用温度範囲全域において分散素子の分散特性を補正することのできる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を分散させる分散素子と、分散素子によって波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、分散素子の入射側に配置した２つ以上の偏向プリズムと、を備え、温度変化による、２つ以上の偏向プリズムから分散素子に向けて出射される順方向の光の出射角の変化の２次成分の絶対値と、温度変化前における順方向の光が分散素子から出射する光に沿った光であって、かつ、温度変化後における逆方向の光の分散素子から出射される光の、温度変化による出射角の変化の２次成分の絶対値と、が略一致する。 （もっと読む）

【課題】中心波長の異なる複数の光に対して、高い回折効率と高い走査性能を実現する技術を提供する。
【解決手段】２次元光スキャナ６に入射したレーザ光は、駆動手段７ｄにより波長毎に入射角が調整されたＡＯＤ７で偏向される。ＡＯＤ７で生じた角度分散は、ＡＯＤ７の射出端近傍に配置されたプリズム８により補償される。プリズム８から射出されたレーザ光は、リレーレンズ９を通過して、駆動手段１０ｄにより波長毎に入射角が調整されたＡＯＤ１０で偏向される。ＡＯＤ１０で生じた角度分散は、ＡＯＤ１０の射出端近傍に配置されたプリズム１１により補償されて、２次元光スキャナ６から射出される。ＡＯＤ７とＡＯＤ１０は偏向平面が直交している。 （もっと読む）

【課題】光信号のチャンネルスペーシングが狭くなっても、装置の小型化が可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された信号光の入力部と、入力部からの信号光を受光する、互いに反射面同士が向き合った、負の焦点距離を有する反射部材及び正の焦点距離を有する反射部材と、負の焦点距離を有する反射部材及び正の焦点距離を有する反射部材からの光を受光し、この光を波長分散させる分散素子と、分散素子にて波長分散された信号光を波長ごとに偏向可能な偏向素子アレイと、負の焦点距離を有する反射部材と偏向素子アレイの間に配置されたレンズと、を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光源と蛍光体を含む発光素子とを備え、レーザー光の偏光方向の乱れを低減し、偏光の乱れに伴う問題を解決し得る光源装置を実現する。
【解決手段】本発明の光源装置１００は、固体光源１０と、結晶性部材４６を含む回転可能な基体４０と、を含む。結晶性部材４６の厚さをｔとし、結晶性部材４６の複屈折をΔｎとし、固体光源１０から射出される光Ｌｂの波長をλとすれば、結晶性部材４６の厚さｔは式（１）を満たす。ただし、ｍは任意の整数である。
（ｍ−１／２）λ／Δｎ＜ｔ＜（ｍ＋１／２）λ／Δｎ・・・（１） （もっと読む）

【課題】小型な構成でフィルタ特性の補正が可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】少なくとも一つの入力ポート10aと、該入力ポート10aから入射される入力光を波長分散する分散部30と、分散部30により波長分散される光を集光する集光素子40と、集光素子40により集光される光を偏向する偏向部50と、偏向部50で偏向された光を出力光として出射する少なくとも一つの出力ポート10b-10eと、入力ポート10aと分散部30との間の光路中に配置され、分散部30により波長分散される光の偏向部50に対する入射位置をシフトさせる光路補正部20と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生を低減した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１は、少なくとも一つの入力ポート１０ａおよび少なくとも一つの出力ポート１０ｂ〜１０ｅを含む入出力部１０の入力ポート１０ａから波長多重された入力光を入射させ、分散素子１５により波長毎の光に分散させ、それぞれの波長毎の光をレンズ１６により偏向素子１８に集光して反射させ、出力ポート１０ｂ〜１０ｅに出射させる。入出力部１０と分散部１５との間には、偏向素子１５に集光する波長毎の光のスポット２０を楕円形状にするシリンドリカルレンズ１３を配置する。このシリンドリカルレンズ１３は、少なくとも入力光が通過する２つの面１３ａ，１３ｂを有し、この２つの面１３ａ，１３ｂのそれぞれにより入力光の一部が反射され、出力ポートの波長毎の光を出射させる出射面の位置において出射面より径の広い光束を形成する。 （もっと読む）

【課題】偏向部を容易に取り替えることが可能な波長選択スイッチ及び波長選択スイッチ用光学ユニットを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ用光学ユニット１２５は、少なくとも一つの入力ポート１０９と、該入力ポート１０９から入力された入力光を波長分散させる分散部１１３と、該分散部１１３により分散される光を集光する集光素子１１５と、少なくとも一つの出力ポート１１０と、入力ポート１０９、分散部１１３、集光素子１１５及び出力ポート１１０を密閉する筐体１０１とを備え、筐体１０１は、集光素子１１５により集光された光が入射する位置に光学的に透明な透明部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】分散素子による偏波依存性損失を低減でき、出力される光信号のＳ／Ｎを向上できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】 入力ポート１０ａ−１０ｄと、入力光を分散する第１分散部３０ａ，３０ｂと、分散される光を偏向する偏向部５０と、偏向部５０で偏向された光を波長多重する第２分散部３２と、波長多重された光を出力する出力ポート１０ｅと、を備え、第１分散部３０は、入力ポート１０ａ−１０ｄからの光を分散する第１分散素子３１ａ，３１ｂを備え、第２分散部３２は、偏向部５０により偏向された光を分散して出力ポート１０ｅに入射させる第２分散素子３３を有し、第２分散素子３３は、第１分散素子３１ａ，３１ｂの偏光特性を相殺するような偏光特性を有する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが簡便で、安定した制御が可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】梁部１３ａ，１３ｂは、光を反射するミラー部１４がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部１４を支持する。アーム部１２ａ，１２ｂは、梁部１３ａ，１３ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１４をＸ軸方向に揺動させる。フレーム部１１は、アーム部１２ａ，１２ｂを支持する。駆動用圧電膜２１ａ，２１ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における一端側に設けられ、変位することによりアーム部１２ａ，１２ｂを駆動する。検出用圧電膜２２ａ，２２ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における他端側に設けられ、変位されることによりアーム部１２ａ，１２ｂの駆動を検出する。駆動によるアーム部１２ａ，１２ｂの他端側の振幅は、一端側の振幅より小さい。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線発信器から発振されたレーザー光線の出力を高速制御することができるレーザー光線照射機構およびレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線発振器と集光レンズとの間に配設された出力調整手段６３とを具備するレーザー光線照射機構であって、出力調整手段は、１／２波長板と、直線偏光のレーザー光線を入光してS偏光成分を反射させP偏光成分を透過せしめる第１の偏光ビームスプリッター面および第２の偏光ビームスプリッター面を備えたプリズム６３２と、S偏光成分とP偏光成分との間に位相差(α)を生成する光路長調整手段６３３と、偏光成分合成手段６３６と、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線を分光する偏光ビームスプリッター面を備え、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線のS偏光成分とP偏光成分との位相差(α＋β)を０度から１８０度の間で制御する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーの応答性を向上できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、および波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定ミラー５５を有する第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２および可動部５２２に固定される可動ミラー５６を備えた第二基板５２と、第一基板５１とは反対側で第二基板５２に接合される第三基板５３と、可動部５２２を基板対向方向に変位させる静電アクチュエーター５４とを備え、第一基板５１と第二基板５２との間の射出側空間５８１および第二基板５２と第三基板５３との間の入射側空間５８２を外部に連通する貫通孔５１７が形成され、貫通孔５１７は各空間５８１，５８２を減圧状態に密閉する封止材で封止される。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板２０に設けられた第１，第２固定電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２固定電極と対向する第１，第２可変電極７２，７４とを有し、第１、第２可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第２可変電極のスリット部を形成した。 （もっと読む）

【課題】光学系にカラーホイールを含む光源装置の、信頼性の低下を防ぎ、高輝度化を実現する。
【解決手段】青色光源とカラーホイール２０との間に配置された投影形状調整手段２４により、青色光源１から発光されカラーホイール２０の蛍光体層２２に照射される青色光（Ｂ）の投影形状を、カラーホイール２０における円周方向に比して径方向の投影範囲が広くなるように調整する。カラーホイール２０が回転駆動された状態で、青色光（Ｂ）が投影される円環状の範囲も径方向に分散し、発熱範囲も径方向へと分散されて熱引きが良好となる。その結果、蛍光体層２２における、青色光源からの青色光（Ｂ）の波長変換効率の低下が、回避される。又、蛍光体層２２を構成するバインダーの熱的負荷が軽減され、バインダーの変質（黒化）を回避することでカラーホイール２０の劣化を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】消費電力、製造コスト、面積が小さく、光ビームを大きな角度に２軸方向に走査可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部２３は、ミラー部２１がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部２１を支持する。上層可動フレーム部２５は、アーム部２３を支持する。下層可動フレーム部３５は、上面に複数の凸部３２を有し、上面と上層可動フレーム部２５の下面との間に間隙を有するように、複数の凸部３２により上層可動フレーム部２５の下面に接合される。固定フレーム部（２０，３０）上層可動フレーム部２５及び前記下層可動フレーム部３５が、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向の揺動可能なように、上層可動フレーム部２５を支持する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを用いた伝送システムでは、光ファイバの曲げ、捻り、加重などにより、光ファイバ出口からのレーザ開口率が変化してしまう。
【解決手段】レーザ光を伝送するレーザ光伝送装置であって、入射端にレーザ光が入射し出射端からレーザ光が出射される光ファイバと、レーザ光の光源と光ファイバの入射端を光学的に接続し、入射端に前記レーザ光を入射する入射光学系と、入射光学系から入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させる入射角度調整手段と、を備え、入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させることで出射端から出射されるレーザ光の開口率を制御する。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターの反射膜間のギャップの変動を防止し、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】測色センサー４は、第１基板５１、第１基板５１に対向する第２基板５２、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられ固定ミラー、及び第２基板５２に設けられ、固定ミラーと所定のギャップを介して対向する可動ミラーを有するエタロン５と、エタロン５を透過した検査対象光を受光する受光素子４２と、エタロン５を保持する保持部材４３とを備える。エタロン５は、基板厚み方向に見る平面視において、第１基板５１及び第２基板５２が対向する光干渉領域Ａｒ１と、光干渉領域Ａｒ１から突出した突出領域Ａｒ２とを備える。保持部材４３は、突出領域Ａｒ２における、光干渉領域Ａｒ１とは反対側の一端側において、エタロン５を保持する。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】集光レンズの温度変化による屈折率変化を用いて、集光レンズの焦点距離を変化させ、温度が変化した際に変化する分散量を補正できる波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を波長ごとに分散させる分散素子と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、集光要素からの分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、を備え、温度変化が生じた場合、分散素子が温度変化に伴って変化する分散量によって変化するビームスポット位置ずれを集光要素の温度特性による焦点距離の変化によって補正する。 （もっと読む）