【課題】より高い精度で反射膜間のギャップ制御が可能な光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１反射膜４０と、第２反射膜５０と、第１電極６２と、第２電極６４と、第３電極７２と、第４電極７４と、電位差制御部と、を有する。第１電極６２と前記第３電極７２とは第１距離Ｇ１を隔てて対向し、第２電極６４と前記第４電極７４とは前記第１距離Ｇ１と異なる第２距離Ｇ２を隔てて対向している。電位差制御部は、第１電極６２と第３電極７２との間に電位差を生じさせることによって第１電極６２と第３電極７２とを当接させ、第２電極６４と第４電極７４との間に電位差を生じさせることによって第２電極６４と前記第４電極７４とを当接させる。 （もっと読む）

【課題】ビーム径を変化させることなく、透過帯域の拡大を実現することができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ（５００）は、波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部（５０１）と、入力部（５０１）からの光を受光し光を分散させる分散素子（５０３）と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素（５０４）と、集光要素（５０４）からの分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子（１０１）を有する光偏向部材（５０５）と、光偏向部材（５０５）によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部（５０１）と、を備え、複数の反射光学素子（１０１）の少なくとも一つの分散素子（５０３）により分散される方向の端部の少なくとも一部に、反射光学素子の中心領域に対して反射率の高い領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】光導波路や光ファイバなどへの入射光を偏向する可動レンズの調芯を行うための２次元位置決め装置において、構成を簡略化し、かつ小型化する。
【解決手段】可動レンズ１１に、その２次元位置決め装置を備える可動レンズユニット１において、前記可動レンズ１１を、前後の蓋およびケースで挟み込んでｚ軸（光軸）方向への変位を規制し、かつｘｙ方向への変位を許容する。一方、圧電素子３１ａ，３２ａと錘３１，３２ｂとから成る駆動部材３１，３２を前記可動レンズ１１にｘｙ平面上の直交する２方向から取付け、該圧電素子３１ａ，３２ａの伸張時と縮小時との速度差によって前記可動レンズ１１をｘｙ方向に変位させて位置決めを行う。したがって、前後の蓋およびケースは可動レンズ１１を挟み込むような構造でよく、また駆動部材も圧電素子と錘であり、構成を簡略化することができるとともに、小型化、特に薄型化することができる。 （もっと読む）

【課題】トーションバー加工時のばらつきを抑制する光偏向器、光偏向器の製造方法、光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａは、光を反射する可動板１と、一端が可動板に固定され、他端が支持体に固定され、可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバー２ａ、２ｂと、可動板を回転振動させる駆動機構と、を備えている。このトーションバー２ａ、２ｂは、単結晶シリコンを含んでおり、また、トーションバー２ａ、２ｂの可動板１表面に垂直であってトーションバー軸支方向の断面における形状は、断面の可動板表面垂直方向の略中央部を中心線とし、略相同である２つの略等脚台形が上底及び下底の何れか短い方同士を中心線で接合した形状である。 （もっと読む）

【課題】面内プルインの発生をより確実に抑制できるＭＥＭＳ素子、ならびにこれを用いた可動式ミラーおよび光スイッチ装置を提供すること。
【解決手段】所定の間隔を有して配置された固定櫛歯電極と可動櫛歯電極とを備え、前記可動櫛歯電極が可動基準面に対して角度をなす方向に移動するＭＥＭＳ素子であって、前記固定櫛歯電極および前記可動櫛歯電極の静電引力作用面が、前記可動基準面内において円弧形状を有している。好ましくは、前記静電力作用面の円弧形状の中心が、前記可動基準面内において前記可動櫛歯電極が回転する際の回転軸と一致する。 （もっと読む）

【課題】光導波路や光ファイバなどへの入射光を偏向する可動レンズの調芯を行うための２次元位置決め装置において、構成を簡略化し、かつ小型化する。
【解決手段】可動レンズ１１に、その２次元位置決め装置を備える可動レンズユニット１において、前記可動レンズ１１を、前後の蓋およびケースで挟み込んでｚ軸（光軸）方向への変位を規制し、かつｘｙ方向への変位を許容する。一方、ｘｙ平面上の直交する２方向から、厚み方向に電圧を印加することで屈曲変位する一対の第１の駆動部材３１，３２および第２の駆動部材３３，３４で挟み込み、それによる押出しおよび引込みによって前記可動レンズ１１をｘｙ方向に変位させて位置決めを行う。したがって、前後の蓋およびケースは可動レンズ１１を挟み込むような構造でよく、また駆動部材も棒状や帯状であり、構成を簡略化することができるとともに、小型化、特に薄型化することができる。 （もっと読む）

【課題】分光した各波長の光の空間的な分離量を効果的に大きくすることができるダブルパスモノクロメータ、ならびにこれを用いた波長選択光スイッチ、および光チャンネルモニタを提供すること。
【解決手段】入射光を回折させて分光する回折格子と、前記入射光を前記回折格子が回折させた回折光を３以上の奇数回反射させて該回折格子に再入射させるように配置した反射面を有する反射器と、を備える。好ましくは、前記反射器において、前記反射面は、前記回折格子に再入射させる際の前記回折光が、基準波長において、前記反射器によって反射させる前の前記回折光と略平行に進行し、かつ前記入射光に対して回折平面上で離隔した位置で前記回折格子に再入射するように、配置している。 （もっと読む）

本発明は、レーザアブレーションマイクロリソグラフィに関する。具体的には、画素毎に複数のミラーを使用して、ミラーに損傷を与えない程度にＳＬＭミラー面上のエネルギー密度を維持しつつ、レーザアブレーションを容易にするエネルギー密度にエネルギーを集中させる、新たなＳＬＭ設計およびパターニング方法を開示する。複数のマイクロミラーは、現行のＤＭＤ装置をはるかに超える非常に高い周波数で再設定することができる。
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【課題】集光レンズを動かすことなく集光レンズの中心をレーザ光線の光軸が通るように調整することを可能とする。
【解決手段】発振器４２から発せられたレーザ光線ＬがＹ方向調整ミラー４３、Ｘ方向調整ミラー４４、角度調整ミラー４５をそれぞれ反射して集光レンズ４７に導かれる構成において、Ｙ方向調整ミラー４３をＹ方向に移動可能に、Ｘ方向調整ミラー４４をＸ方向に移動可能に設け、これらミラー４３，４４を移動させるとともに、必要に応じて角度調整ミラー４５によるレーザ光線Ｌの反射角度を調整して、レーザ光線Ｌの光軸を集光レンズ４７の中心に通す調整を行う。レーザ光線Ｌの光軸の方を動かすことにより、集光レンズ４７を動かすことなく集光レンズ４７の中心にレーザ光線Ｌの光軸を通すことができる。 （もっと読む）

【課題】一体化された光学補正構造物を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】空間光変調器４０は、一体化された光学補正構造物４１、例えば、基板４２と複数の個々にアドレス可能な光変調素子４４との間に配置された光学補正構造物、又は、基板に関して光変調素子の反対側に配置された光学補正構造物、を具備する。該個々にアドレス可能な光変調素子は、透明基板内を透過された光又は透明基板から反射された光を変調するように構成される。該空間光変調器を製造する方法は、光学補正構造物を基板上方に製造することと、複数の個々にアドレス可能な光変調素子を該光学補正構造物上方に製造すること、とを含む。該光学補正構造物は、受動的光学補正構造物であることができる。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 輝度を向上させることのできる光源装置と、この光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】 本発明のプロジェクタは、光源装置63や表示素子、プロジェクタ制御手段等を備え、この光源装置63は、回転制御可能な基材に複数のセグメント領域を有し、基材のセグメント領域の少なくとも一つは反射部とされ、反射部に励起光を受けて所定の波長帯域光を発する蛍光体層が形成され、蛍光体層が形成されないセグメント領域が光を透過させる透過部とされた蛍光ホイール71と、可視光領域の励起光を蛍光体に照射する第一光源と、蛍光体層から射出される蛍光光及び第一光源72から射出される励起光と異なる波長帯域光を発する第二光源82と、蛍光ホイール71から射出される光及び第二光源82から射出される光を、同一光路上に集光させる集光光学系と、第一光源72及び第二光源82の発光を制御する光源制御手段と、備えている。 （もっと読む）

【課題】従来のランプに代え、固体光源をその光源として採用するのに適した投写型表示装置の構造を提供する。
【解決手段】白色光を射出する光源ユニットと、当該光源ユニットからの白色光をＲ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）の３原色光に分離する光分離光学系と、分離されたＲ，Ｇ，Ｂの各偏光光を、それぞれ、映像信号に応じて光変調してＲ，Ｇ，Ｂの各光学像を形成するＲ，Ｇ，Ｂの光変調手段と、当該Ｒ，Ｇ，Ｂの光変調手段により形成された各光学像を光合成する光合成手段と、当該合成された光学像を拡大して投射する投射手段とを備えた投写型表示装置において、前記光源ユニットは、固体発光素子からの励起光を含んだ点光源から出射した白色光を、前記Ｒ，Ｇ，Ｂの光変調手段に射出する。 （もっと読む）

【課題】 良好な分光精度を維持できる波長可変干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】
第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、第一基板５１に設けられる第一反射膜５６と、第二基板５２に設けられる第二反射膜５７と、第一反射膜５６と第二反射膜５７とのギャップＧを変更する可変部５４と、を備え、第二基板５２は、第二基板５２を基板厚み方向から見る平面視において、第二反射膜５７に重なる位置に設けられる可動部５２１を有する第一層５２０と、第一層５２０の第一基板５１に対向する面に積層されるとともに、厚み寸法が一様な板状に形成され、可動部５２１を変位可能に支持する支持部５３１を有する第二層５３０と、を備え、第一層５２０には、少なくとも前記平面視で支持部５３１に重なる領域に第一層５２０が積層されていないことを特徴とする波長可変干渉フィルター。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡を含む複数の光学装置に対して光源からの光を同時に供給、かつ瞬時にその光量を変更することができる光源装置と、これを有する光学装置を提供すること。
【解決手段】光源１１〜１４と、複数の光出力部４１〜４３と、それぞれの傾きが変更可能な複数の反射部材を有する反射光学部材３０と、前記複数の反射部材それぞれの傾きを制御する制御部３２とを有し、前記反射光学部材は、前記反射光学部材に入射した前記光源からの光束を、前記制御部により前記複数の反射部材それぞれの傾きを調整して前記光束を複数に分割して同時に前記複数の光出力部にそれぞれ射出することを特徴とする光源装置１と、これを有する光学装置。 （もっと読む）

【課題】波長分割多重化方式に於ける可変波長分散補償器の管理制御装置及び管理制御方法に関し、ＶＩＰＡ型波長分散補償器の寿命を判定する。
【解決手段】光信号の波長分散を補償するＶＩＰＡ型の波長分散補償器１０１の管理制御装置及び管理制御方法であって、波長分散補償器１０１により光信号の波長分散補償を行って受信処理した信号の品質判定結果に応じて、波長分散補償器１０１の三次元ミラーを移動制御し、三次元ミラーの移動距離と移動速度との何れか一方又は両方を算出してメモリ１０５等に記録する手段と、三次元ミラーの移動距離の累算値又は移動速度と比較基準値とを基に三次元ミラーの移動制御構成の安定制御可能の寿命を判定する寿命管理部１４等手段とを備え、移動距離と移動速度との何れか一方又は両方について比較基準値と比較して、安定制御可能か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】透過帯域を拡大するとともに、入出力ポート数を増加させることができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】第１偏向素子４０に入射する信号光と第２偏向素子５０から出射する信号光は、光軸が互いに平行であり進行方向が互いに逆向きであり、対となる第１偏向素子４０のＳＷミラー４１〜４４と第２偏向素子５０の偏向チップ５１〜５４が、入出力ポートの組み合わせに応じて複数配置されている。これより、第１，第２偏向素子４０，５０をＺ方向にオフセットさせたり、このオフセットにより偏向素子ペア間の光路長差を低減したり、入力ミラーおよび出力ミラー上でのビームサイズをほぼ一致させたりすることができる。結果として、ＭＥＭＳミラー上におけるビームのサイズばらつきや、入出力ポートの組み合わせに依存するビームのサイズばらつきを、実用上問題ない範囲に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】露光量を低下させることなく、パターンの描画を高精細に行う。
【解決手段】光ビーム照射装置２０の空間的光変調器（ＤＭＤ２５）は、複数のミラーを直交する二方向に配列して構成されている。空間的光変調器を、光ビームによる基板の走査方向に対して傾けて配置し、かつ、空間的光変調器の複数のミラーを、直交する二方向の内の走査方向に近い方向に、ミラーの数が異なる複数の区画に分割して使用する。駆動回路（ＤＭＤ駆動回路２７）により、空間的光変調器の各区画のミラーを、区画毎に異なる周期で駆動し、ミラーの数が多い区画の駆動周期を、ミラーの数が少ない区画の駆動周期より短くする。ミラーの駆動周期が短い区画では、パターンの描画が高精細に行われる。露光時間と露光回数とを掛けた露光量は、区画により大きく変動しない。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、基板側捩じり軸部の他端に支持され、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する可動部と可動部の一面と交差する面を有して可動部と一体的に配され、可動部に対する曲げ応力に対抗する構造材とを備える。上記電気機械変換器において、捩じり軸部は、可動部と一体をなしてもよい。また、上記電気機械変換器において、捩じり軸部の他端に支持され、静電力により基板上の電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、一端を枠体に固定され、他端において可動部を支持する枠側捩じり軸部とを更に備え、可動部は、枠体に対しても揺動してもよい。 （もっと読む）