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Fターム[2H141MG10]の内容

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Fターム[2H141MG10]に分類される特許

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光学パターン生成器は、単一の回転コンポーネントを使用する。回転コンポーネントは、多数の偏向セクタを含む。各セクタは、入射光ビームをほぼ一定の角度量だけ偏向させるが、この量はセクタごとに変化してもよい。回転コンポーネントは、例えば、ライン軌跡(locus)に沿って変位する像点、像スポットまたは像ラインを生成する結像レンズ群と組み合わせてもよい。
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公称光路を有し、パルスバースト中の出力レーザ光パルスビームパルスを生成する狭帯域DUV高出力高繰返し率ガス放電レーザ用の線狭帯域化モジュールであって、線狭帯域化モジュールの光路内に移動可能に取り付けられた分散中心波長選択光学体であって、各々のパルスを含む前記レーザ光パルスビームの分散中心波長選択光学体上への入射角によって少なくとも部分的に求められる少なくとも1つの中心波長を各パルスについて選択する分散中心波長選択光学体と、分散中心波長選択光学体に向けたパルスを含むレーザ光パルスビームの伝送角度を選択することによって、各々のパルスを含むレーザ光パルスビームの分散中心波長選択光学体への入射角を選択するように部分的に動作する第1の同調機構と、線狭帯域化モジュールの公称光路に対して分散中心波長選択光学体の位置を変えることによって、各々のパルスを含むレーザ光パルスビームの入射角を選択するように部分的に動作する第2の同調機構と、を備え、第2の同調機構が中心波長の値を粗く選択し、第1の同調機構が中心波長の値を微細に選択することを特徴とする線狭帯域化モジュールが開示される。 (もっと読む)


出力レーザ光パルスビームのパルスをパルスバーストで生成する、狭帯域DUV高出力高繰り返し率ガス放電レーザのための線幅狭小化装置及び方法が開示され、線幅狭小化モジュール内に収容される分散中央波長選択光学部品を含み、分散波長選択光学部品の分散表面上にそれぞれのパルスを含むレーザ光パルスビームの入射角により少なくとも一部が求められる各々のパルスに対する少なくとも1つの中央波長を選択し、分散中央波長選択光学部品に作動的に連結され、第1の方法により、分散表面の曲率を変化させるように作動する第1の分散光学部品曲げ機構と、分散中央波長選択光学部品に作動的に連結され、第2の方法により、分散表面の曲率を変化させるように作動する第2の分散光学部品曲げ機構と、を含むことができる。第1の方法は帯域幅の第1の測定値を変更し、第2の方法は帯域幅の第2の測定値を変更して、第1の測定値と第2の測定値の比率が実質的に変化するようにすることができる。第1の測定値はスペクトルピーク値の選択された割合におけるスペクトル幅であり(FWX%M)、第2の測定値はスペクトル強度の幾つかの選択された割合が含まれる幅(EX%)とすることができる。第1の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法において分散表面の曲率を変化させ、第2の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法に対して一般に直角である第2の寸法において分散表面の曲率を変化させることができる。レーザシステムは、異なる屈折率と隣接する光学素子とは反対の屈折率の温度勾配とを有する材料を含むビーム経路挿入体を含むことができる。第1の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法における分散表面の曲率を変化させ、第2の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法に対して一般に平行である第2の寸法において分散表面の曲率を変化させることができる。レージングキャビティにおける光学ビームねじり素子は、レーザ光パルスビームを光学的にねじって、ねじられた波面を分散中央波長選択光学部品に提示することができる。曲げは、例えば、バーストにおいて、曲率及び波長の選択を変化させることができ、2つの中央波長ピークを生成して、FWX%M及びEX%を独立して選択することができる。
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【課題】
【解決手段】 モノリシック光電子フィードバック構造の使用を介して、SOIベースの光電子システムの信頼性と寿命を改善する。この構造は、光電子システム内の一またはそれ以上の光信号をモニタして、選択した光学デバイスの動作パラメータを調整する電気フィードバック信号を提供する。例えば、入力信号結合方向を制御することができる。代替的に、光学モジュレータ、スイッチ、フィルタまたは減衰器の動作は、本発明のモノリシックフィードバック構造によるクローズドループフィードバック制御下にあっても良い。フィードバック構造は、また、制御電子機器に接続されたキャリブレーション/ルックアップテーブルを具えて、システムの性能を解析するのに使用するベースライン信号を提供することができる。 (もっと読む)


微小電気機械システム(100、200、300、400及び500)は、屈曲部(120)を含み、屈曲部(120)はアモルファス材料で作成される。同様に、微小電気機械システム(100、200、300、400及び500)を形成する方法は、基板(110,210)を形成することと、アモルファス屈曲部(120)を形成することとを含み、アモルファス屈曲部(120)は、基板(110,210)に結合されている。
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【課題】光干渉変調器中のミラーの傾斜を抑制するための方法およびデバイスを提供する。
【解決手段】分離可能な変調器アーキテクチャを有する光干渉変調器が、キャビティの上の可撓層からつるされた反射層を有していることを開示する。光干渉変調器は、丸まりおよび/または傾斜などの反射層の不所望な動作を抑制する一つ以上の反傾斜部材を有している。反傾斜部材による反射層の安定化は、光干渉変調器の光学出力の品質を改善することが可能であり、またそのような光干渉変調器を備えているディスプレイの光学出力の品質を改善ことも可能である。 (もっと読む)


【課題】鏡面反射デバイスにおける色およびコントラストを測定するシステムおよび方法。
【解決手段】干渉系変調器のような鏡面反射デバイスにおける色およびコントラストを測定するためのシステムおよび方法がここに開示されている。色とコントラストの決定を行うために、鏡面反射デバイスから反射される光は、デバイスの照射に従って測定されることができる。その測定は、鏡面反射性ブライトおよびダーク標準からと同様にテストされているデバイスから反射される光のスペクトルを測定することを含んでよい。スペクトルは、鏡面反射デバイスの反射度スペクトルおよび色パラメータを決定するために使用されることができる。 (もっと読む)


【解決手段】2つの表示面を有する干渉光変調デバイスが提供される。いくつかの実施形態では、このデバイスは、デバイスの各側に1つ、すなわち2つの別個のイメージを同時に生成することができる。 (もっと読む)


【課題】光干渉変調器中の変形可能な膜の作動電圧しきい値を修正するためのデバイスと方法を提供する。
【解決手段】部分的に反射的で部分的に透過性のある表面16と、部分的に反射的で部分的に透過性のある表面16の後ろに配置された反射面14との間の間隔を変えることによって、光干渉変調器12は、二つの反射面14,16で反射して去る光波の強め合うおよび/または弱め合う干渉を作り出す。間隔は電圧を印加することによって変えることができ、二つの表面14,16の間の静電引力を作り出し、それは一方または両方の表面14,16を変形させ互いにより近くに移動させる。そのような引力がない状態では、表面14,16は弛緩位置にあり、それらは互いにそれ以上離れない。作動電圧は、表面14,16を変形させるに十分な静電引力を作り出す必要がある。 (もっと読む)


【課題】ガス又は蒸気を含む侵入を検出するため視野(FOV)を含む空間の体積モニターする空間安全装置を提供する。
【解決手段】FOVから集められた赤外線(IR)エネルギー光線を反射するためのミラーアレイ状のミラー要素を有する微小電気機械システム(MEMS)及びMEMSアレイで反射されたIRエネルギーを検出しかつIRエネルギーを出力信号に変換するIRエネルギー検出器を備えるように構成する。プロセッサーは、制御された信号を変化させることによって又は一から他の合焦要素へ切り替えることによってMEMSミラーアレイの要素の角度を調整する。方法は、IR検出器の活性要素にIR信号を反射するようにMEMSミラーアレイを位置決めすること、及びFOVのiTH部分からIRエネルギーを集めることによって空間の体積における検出をすることを含む。
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光源からの光を再分配するシステムおよび方法。コントローラは、光源の放射照度プロフィールがより均一になり、また、この放射照度プロフィールと流体流量プロフィールが一致するように光を再分配することができる。放射照度プロフィールは、複数の導波路からの光漏れを改変することによって、あるいは、反射体および/またはレンズの光方向づけ特性を変更することによって制御し得る。
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マルチモード光ファイバ(302)と、該マルチモード光ファイバ(302)内を伝搬する光の信号レベル変動であってモードノイズにより誘起された信号レベル変動を平均化する手段(308)とを含む、光学的モードノイズ平均化デバイス(300)。上記デバイスは、選択された期間に亙り上記マルチモード光ファイバ(302)の屈折率を循環的に変化させること、上記マルチモード光ファイバ(302)内の光分布をスクランブリングすること、または、その両方により、モードノイズにより誘起された信号レベル変動を平均化し得る。上記マルチモード光ファイバの屈折率は、該マルチモード光ファイバ(302)の温度を循環的に変化させることで循環的に変化され得る。代替的に、マルチモード光ファイバ(302)を循環的に操作することにより、屈折率が変更され得るか、または、該マルチモード光ファイバ内の光分布がスクランブリングされ得る。
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エレクトロウエッティング型可変焦点レンズを組み込む像センサでは、ゴースト像の発生を減少すなわち実質的に除去する手段が供されている。上述の型の可変焦点レンズは、第1流体(A)及び、軸上で変位する第2流体が供される筐体を有する。二流体は非混和で、メニスカス(14)上で接していて、各屈折率は異なっている。第1電極(2)及び第2電極(12)が供され、メニスカス(14)の形状は、第1電極(2)と第2電極(12)との間に印加される電圧に依存して制御可能である。ゴースト像発生を減少すなわち実質的に除去する様々な方法が準備されている。それらには、筐体の内壁及び/又は外壁の光学特性の変更、それらの反射率の減少、ゴースト像を遮断する像センサ中の手段及び、筐体を構成する適切な材料の選択及びそれらの組み合わせが含まれる。
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本発明は、第1のキャビティを有する第1のマスク(3)と、プリズムユニット(7)と、第2のキャビティを有する第2のマスク(8)とを含む、光をフィルタリングするためのフィルタユニット(10)に関する。プリズムユニット(7)は2つのマスク(3,8)の間に位置し、第1のマスク(3)および第2のマスク(8)は対応する第1および第2のキャビティを有し、それはキャビティ対を形成する。第2のマスク(8)の少なくとも1つの第2のキャビティが各第1のキャビティに与えられる。さらに、少なくとも1つのキャビティ対について、1つのプリズムがプリズムユニット(7)に与えられる。これは正確な狭帯域フィルタユニットを生成する。本発明はフィルタユニットを含む構成および像を得るための装置にも関する。
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