【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板２０に設けられた第１，第２固定電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２固定電極と対向する第１，第２可変電極７２，７４とを有し、第１、第２可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第２可変電極のスリット部を形成した。 （もっと読む）

【課題】電極間の絶縁を維持しつつ、低コストで、構造を簡素化できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板５１に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４と所定のギャップＧを介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１に設けられた第１電極５６１と、第２基板５２に設けられ、第１電極５６１に対向する第２電極５６２と、を備える。第１基板５１は、第２基板５２に接合される第１接合面５１３を有し、第２基板５２は、第１接合面５１３に接合される第２接合面５２４を有する。第１基板５１には、第１接合面５１３、及び第１電極５６１の第２電極５６２に対向する面に絶縁性を有する第１接合膜５３１が形成され、第１接合面５１３及び第２接合面５２４は、第１接合膜５３１により接合された。 （もっと読む）

【課題】光学基板に備わるアクチュエータの特性のバラツキにかかわることなく、高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１〜第４センサが、一対の光学基板の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置された可変分光素子であって、第１〜第４アクチュエータ４_１〜４_４の各々が、一対の光学基板の対向面の重心から第１〜第４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置され、第１〜第４センサの信号から、一対の光学基板の対向面の重心同士の間隔を算出し、第１・第３センサの信号、第２・第４センサの信号から、夫々、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度、第２の角度を算出し、第１・第２センサの信号から夫々の配置位置での一対の光学基板の対向面同士の面間隔との差分を算出し、間隔、角度、差分に基づいて第１〜第４アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で反射膜同士の貼り付きを防止できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１と、第１基板５１に対向する第２基板５２と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４とミラー間ギャップＧ１を介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、を備え、第１電極５６１の一部と、固定ミラー５４の外周縁の少なくとも一部とが積層されて構成される第１積層ストッパー部６０を有する。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターの反射膜間のギャップの変動を防止し、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】測色センサー４は、第１基板５１、第１基板５１に対向する第２基板５２、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられ固定ミラー、及び第２基板５２に設けられ、固定ミラーと所定のギャップを介して対向する可動ミラーを有するエタロン５と、エタロン５を透過した検査対象光を受光する受光素子４２と、エタロン５を保持する保持部材４３とを備える。エタロン５は、基板厚み方向に見る平面視において、第１基板５１及び第２基板５２が対向する光干渉領域Ａｒ１と、光干渉領域Ａｒ１から突出した突出領域Ａｒ２とを備える。保持部材４３は、突出領域Ａｒ２における、光干渉領域Ａｒ１とは反対側の一端側において、エタロン５を保持する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、を具備し、固定電極５４１は、互いに絶縁された第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂを備え、固定基板５１には、第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂから延出する第一引出電極５４５および第二引出電極５４６を備え、可動電極５４２は、第一固定部分電極５４３Ａに対向する第一対向領域と、第二固定部分電極５４３Ｂに対向する第二対向領域とを覆う円環状に形成された。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡明な構成で、異なる波長の光を任意に選択して出力可能な出力波長選択型のレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、波長変換部に複数の波長変換光学素子を有し、レーザ光出力部から出力された基本波レーザ光を波長変換して出力するレーザ装置である。そのうえで、複数の波長変換光学素子を透過して出射される複数波長の多成分光を個々の波長の光に分光するプリズム５１と、プリズム５１を回動させる回動ステージ５５と、回動ステージ５５の作動を制御するステージ制御部８０とを備え、ステージ制御部８０は、選択された波長の光が出力ポート３ｐから出力されるように回動ステージ５５の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の周波数を正確に校正することができるエタロンフィルタと、周波数校正システム、周波数校正方法を提供する。
【解決手段】ダイヤモンド基板等の光及びテラヘルツ帯で透過性を有する２枚の基板にスペーサーを接合することで２枚の基板の間に空隙を設けたエタロンフィルタを構成する。このエタロンフィルタに光源からの光を透過させて光の自由スペクトル間隔を測定し、また、テラヘルツ波をエタロンフィルタに照射することで、テラヘルツ波の自由スペクトル間隔を測定する。光を透過したときの自由スペクトル間隔と、テラヘルツ波を透過したときの自由スペクトル間隔を比較することで、テラヘルツ波の周波数を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、画素毎のずれが発生することなく、フルカラーの鮮明な画像を投影する投影装置、及び色覚検査装置を提供する。
【解決手段】投影装置１００は、楕円鏡１１、光源１２、ライトパイプ１３、スリット１４を備え白色光を射出する光源部１０と、白色光の回折光を色分解された光束として発生する回折格子２０と、前記光束を偏向走査して各色の光束を時分割するガルバノミラー３０と、前記偏向走査された光束を結像する結像光学系４０と、前記結像光学系の結像位置に配置され、画像信号に基づいて入射する各色の光束を画素毎に変調して画像を生成する画像形成素子５０と、投影光学系とを備えた。また、色覚検査装置は、前記投影装置１００と、照明光を受ける拡散板を備えた。 （もっと読む）

【課題】所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板に設けられた第１電極と、可動部５２２を有する第２基板５２に設けられ、第１電極と対向する第２電極５６２と、第１電極から第１基板の外周縁に向かって延出して設けられた第１電極線と、第２電極５６２から第２基板５２の外周縁に向かって延出して設けられた第２電極線５６２Ａと、第１電極線と対向し、第２電極５６２と絶縁されて設けられた第１対向電極線５６２Ｂと、第１電極線及び第１対向電極線５６２Ｂを導通する第１導通部とを備え、第２電極線５６２Ａと第１対向電極線５６２Ｂとは、第２基板５２の厚み方向から見た平面視において、可動部５２２の中心点を中心とした仮想円の中心点を通り、仮想円を等角度間隔に分割する方向に延出して形成される。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターに温度センサーを設けた場合でも配線構成を簡単にできる光モジュール、および光測定装置を提供する。
【解決手段】光モジュールは、第一基板、第二基板、第一基板に設けられた第一反射膜、第二基板に設けられて第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、電圧印可によりギャップ寸法を変化させる静電アクチュエーター、静電アクチュエーターに接続された外側駆動電極線、および外側駆動電極線に接続された第一センサー配線５５１および第二センサー配線５５２を有する温度センサー５５を備えた波長可変干渉フィルターと、外側駆動電極線に接続されて静電アクチュエーターおよび温度センサー５５に電圧を印加する第一駆動回路７２、および第二センサー配線５５２に接続されて温度センサー５５からの温度検出信号が入力される温度検出回路７４を備えたフィルター駆動回路部と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】第一基板１２と、第二基板１１と、第一反射膜１７と、第二反射膜１６と、第一反射膜１７と第二反射膜１６とのギャップＧの大きさを変えることができるギャップ変更部１４と、を備え、第一基板１２は、第一反射膜１７が設けられた可動部１２１と、可動部１２１の厚み寸法よりも小さい厚み寸法に形成され可動部１２１を第二基板１１に対して進退移動可能に保持する保持部１２２と、を有する波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一基板１２に第一反射膜１７及びギャップ変更部１４を形成する第一基板製造工程と、第二基板１１に前記第二反射膜１６及びギャップ変更部１４を形成する第二基板製造工程と、第一基板１２の温度を第二基板１１の温度よりも高くした状態で、第一基板１２と第二基板１１とを接合する接合工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】フィルタの特性を任意に変化することができる光可変フィルタ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１からの入射光を周波数分散素子１５に入射する。周波数分散素子１５は入射光をその周波数に応じて異なった方向に分散させレンズ１６に加える。レンズ１６では入射光を周波数に応じて帯状にｘｙ平面に展開する。周波数選択素子１７は周波数分散方向に配列された画素構造であり、選択すべき周波数に応じた位置の画素を反射状態とする。周波数選択素子１７で選択された光は同一の経路を介して光ファイバ１４より出射される。周波数選択素子１７の反射特性を各画素毎に変化させることによって、光フィルタの特性を任意に変化させ、パスバンド幅の変更、周波数のシフトを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】工程の増大がなく、製造時及び使用時のスティッキングや電流リークを防止できる光フィルター及び光機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、第１基板２と、第１基板２に設けられた第１ミラー４Ａと、第１ミラー４Ａの周辺に配置された第１電極６Ａと、第１基板２と対向した第２基板３と第２基板３に設けられ、第１ミラー４Ａと対向した第２ミラー４Ｂと、第２ミラー４Ｂの周辺に設けられ、第１電極６Ａと対向した第２電極６Ｂと、を少なくとも有し、第１ミラー４Ａ、及び第２ミラー４Ｂは誘電体多層膜９Ａ，９Ｂを含み、誘電体多層膜９Ａ，９Ｂが、第１電極６Ａ、または第２電極６Ｂの少なくとも一方を覆っている。 （もっと読む）

【課題】長波長域においても分解能を向上できる干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５４と、固定ミラー５４とギャップＧを介して対向配置される可動ミラー５５とを備える。固定ミラー５４は、１層のＴｉＯ_２膜５７と、１層のＡｇ合金膜５８とが積層されて形成される。また、可動ミラー５５は、１層のＴｉＯ_２膜５７と、１層のＡｇ合金膜５８とが積層されて形成される。 （もっと読む）

【課題】高精度な分光測定が可能な光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、テレセントリック光学系３１と、波長可変干渉フィルター５と、検出部３２と、を備え、波長可変干渉フィルター５は、第一基板５１と、可動部、および保持部を備えた第二基板５２と、第一基板５１に設けられた第一反射膜５６と、可動部に設けられた第二反射膜５７と、可動部を変位させる静電アクチュエーターと、を備え、第一反射膜５６および第二反射膜５７には、可動部の変位量が最大となった際に、測定中心波長を中心に予め設定された許容値以内となる波長の光を透過可能な測定有効領域Ｇが設定され、テレセントリック光学系３１は、入射光の主光線が平行、かつ第一反射膜に対して垂直となるように、入射光を前記波長可変干渉フィルターに導くとともに、測定有効領域Ｇ内に入射光を集光させる。 （もっと読む）

【課題】外的要因によるギャップの変動を抑制しつつ、所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること
【解決手段】第１基板５１に設けられた第１可動ミラー５６と、第１可動ミラー５６と所定のギャップＧを介して対向する第２可動ミラー５７と、ミラー間のギャップＧの寸法を変える静電アクチュエーター５４とを備える。第１基板５１は、第１可動ミラー５６が設けられた第１可動部５１２と、第１可動部５１２を基板厚み方向に移動可能に保持する第１連結保持部５１３とを備える。第２基板５２は、第２可動ミラー５７が設けられた第２可動部５２２と、第２可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する第２連結保持部５２３と備える。静電アクチュエーター５４は、各可動部５１２，５２２を相対的に移動させることで、ギャップＧの寸法を変更させる。 （もっと読む）