【課題】赤外線をチョッピングし得る領域を十分に広くする。
【解決手段】支持基板２０と、赤外線透過薄膜積層体２３と、基板２０の厚み方向で積層体２３に対向配置されて「機構側支持部」によって支持された赤外線透過薄膜積層体２５とを有し、導電性材料でそれぞれ形成された両積層体２３，２５の間に電圧が印加された状態において両積層体２３，２５が光学的に一体化して厚み方向に赤外線ＩＲを透過させ、かつ、電圧が印加されない状態において両積層体２３，２５の間にギャップ２８が形成されて赤外線ＩＲを反射すると共に、「機構側支持部」が、積層体２５の外縁領域に設けられた支持枠２４ａと、積層体２５の内側領域に設けられた支柱２４ｂとを備え、電圧が印加された状態において、積層体２５の「機構側支持部」によって支持されていない部位が積層体２３に接して両積層体２３，２５が光学的に一体化する。 （もっと読む）

【課題】対向する反射膜の帯電を防止する光フィルター、および光フィルターを用いた光フィルターモジュール、光分析装置を提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１と対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを介して対向する第２反射膜５５と、第１反射膜５４を覆い、第１反射膜５４の外周より外側の範囲まで延長して形成された第１電極５６１と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、第１電極５６１の一部と対向する第２電極５６２と、を備え、第１電極５６１は透光性材料にて形成され、第１電極５６１と第２反射膜５５とが電気的に接続され同電位である。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域１１をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品１２を有する第１の板状部材１０と、光透過性光学部品１２を透過した光を反射する為の光反射性光学部品（鏡２１〜２４）を有する第２の板状部材２０とを備える。第１及び第２の板状部材１０，２０は互いに接合されており、光透過性光学部品１２を透過する光の光路が、第１の板状部材１０の部品形成面及び第２の板状部材２０の主面に沿っている。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制可能な干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４が設けられた反射膜固定面５１２Ａ、及び固定側初期ギャップ形成面５１３Ａに平行で、固定側ギャップ形成電極部５６１Ｂが設けられた固定側初期ギャップ形成面５１３Ａを有する固定基板５１と、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４に対向する可動反射膜５５が設けられた可動面５２０Ａ、及び可動面５２０Ａと同一平面で、可動側ギャップ形成電極部５６２Ｂ及び絶縁層５７が順に積層された可動側初期ギャップ形成面５２０Ｂを有する可動基板５２と、を具備し、絶縁層５７は、微小ギャップＧ３を介して固定側駆動電極部５６１Ａに対向し、当該微小ギャップＧ３は、反射膜間ギャップＧ１より小さく形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を検出でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動駆動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、固定検出電極５５１および可動検出電極５５２を備えたギャップ検出電極と、を具備し、固定検出電極５５１は、互いに絶縁された第一固定部分検出電極５５３Ａおよび第二固定部分検出電極５５３Ｂを備え、可動検出電極５５２は、第一固定部分検出電極５５３Ａに対向する第一対向検出領域５５４Ａと、第二固定部分検出電極５５３Ｂに対向する第二対向検出領域５５４Ｂと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の残留応力に起因する初期たわみによる初期変位の影響を無くすことができ、かつ、純粋な厚み方向変位（ｚ方向並進運動）を実現する。
【解決手段】長手方向の中央部が支持される第１アクチュエータ（12）と、長手方向の両端部が第１アクチュエータ（12）の長手方向の両端部に連結される第２アクチュエータ（14）と備える。第１アクチュエータ（12）は、第１圧電駆動部（12A）の駆動によって撓んで変形し、両端部が厚み方向に変位する。第２アクチュエータ（14）は第２圧電駆動部（14A）の駆動によって第1アクチュエータと逆方向に撓んで変形し、長手方向の中央部が厚み方向に変位する。また、同様の構成のアクチュエータ群（101、102）を複数組連結する構成により、さらにz方向変位を増大させることができる。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー放射源を使用する指向エネルギーシステムにおいて、それぞれのエネルギー放射源から出力されるエネルギー束を目標に当てるための好適な制御を提供する。
【解決手段】指向エネルギーシステム（１）は、複数のレーザ光源（１０）と、複数の指向装置（２０）と、目標情報取得装置（３０）と、制御装置（４０）とを備える。複数の指向装置（２０）は、複数のレーザ光源（１０）のそれぞれから出力されるレーザビーム（１１）の照射方向を変える。目標情報取得装置（３０）は、目標（１００）の方向を特定するための情報を含む目標情報（ＴＡＲ）を取得する。制御装置（４０）は、複数のレーザ光源（１０）のそれぞれから出力されるレーザビーム（１１）が目標（１００）に照射されるように、目標情報（ＴＡＲ）に基づいて複数の指向装置（２０）を制御する。 （もっと読む）

【課題】設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の光反射部２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の光反射部２５に対向する第２の光反射部３４が設けられた第２の基体３とが接合膜４１を介して接合されており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の基体２と第２の基体３とを接合している。 （もっと読む）

【課題】チューナブルフィルタの構造を簡潔にする。
【解決手段】チューナブルフィルタであって、互いに平行な一対の面の一方の面に配された、透過部およびミラー部、並びに、他方の面に配され、透過する波長帯域が面内の一の方向に沿って異なるダイクロイックミラー部を有し、連続スペクトルの平行光束が入射され、連続スペクトルの平行光束を波長に応じて空間的に分散された平行光束として射出する分波部と、分波部から空間的に分散された平行光束が入射され、空間的な位置に応じて強度を変調して、空間的な位置に応じた予め定められた光路に対して射出する空間変調部と、空間変調部から射出された、空間変調された平行光束を合波して射出する合波部とを備える。 （もっと読む）

【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、分光精度の高い光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール（測色センサー）は、可動反射膜５７を備える可動基板５２、および可動反射膜５７にギャップを介して対向する固定反射膜５６を備え、可動基板５２に接合される固定基板５１、を備える干渉フィルター５と、干渉フィルター５を保持する筐体６と、を備える。可動基板５２は、固定基板５１の外周縁よりも外側に突出する突出部５２４を備える。この突出部５２４は、突出先端側に設けられ、筐体６に固定される固定部５２５を備える。可動基板５２と筐体６によって閉じられている密閉空間５８は筐体６にある充填孔６１を介して充填物質５９を密閉空間５８に充填することが出来る。 （もっと読む）

【課題】結合効率が高い光パルス列を射出でき、また、光パルス列のパルス間隔を任意に設定できる光パルス多重化ユニット、それを用いた光パルス発生器、及び光パルス多重化方法を提供する。
【解決手段】ハーフミラー２と、Ｎ個の屈折率ｎの遅延素子３１１、３１２、…、３１Ｎを有し、Ｎ個の遅延素子の各々が、ハーフミラー２の一方の側に、一端から他端に向かって配置され、且つ、最も小さい厚みをΔとしたとき、各々、Δ，２Δ，…，２^N-1Δの互いに異なる厚みを有する。また、平行配置されたミラー１１，１２を有し、ハーフミラー２が、ミラー１１，１２の中間位置近傍に平行配置され、Ｎ個の遅延素子が、ミラー１２とハーフミラー２の間に配置されている。Ｎ個の遅延素子の各々は、平行平面板であり、該平行平面板の面の法線方向がハーフミラー２の一端から他端に向かう方向と異なる角度で配置されている。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光分析装置に組み込んだ際にＳ／Ｎ比を高くできて高精度の測定を行うことができる波長可変干渉フィルター、光モジュールと、高精度の測定を行うことができる光分析装置を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターであるエタロン５は、第１基板５１と、第２基板５２と、固定ミラー５４と、可動ミラー５５と、静電アクチュエーター５６を備える。各ミラー５４，５５は、一層のＴｉＯ_２膜５７と、一層の合金膜５８とが積層されて形成される。ＴｉＯ_２膜５７の膜厚寸法ＴおよびＡｇ合金膜５８の膜厚寸法Ｓは、参照波長５６０ｎｍの反射率が目標反射率９１％となり、かつ、設定波長４００ｎｍの反射率が、前記金属膜のみで反射膜を構成した場合より低くなる膜厚に設定される。 （もっと読む）

【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、光学ギャップを精度良く保持することができる光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール（測色センサー）は、可動反射膜５７を備える可動基板５２、および可動反射膜５７にギャップを介して対向する固定反射膜５６を備える固定基板５１を備え、可動基板５２と固定基板５１とが接合された状態にある干渉フィルター５と、干渉フィルター５を保持する筐体６と、を備える。可動基板５２は、固定基板５１の外周縁よりも外側に突出する、２つの突出部５２４を備える。この突出部５２４は、突出方向の先端側に設けられ、筐体６に固定される固定部５２５と、固定部５２５よりも突出方向の基端側に設けられ、固定部５２５よりも厚み寸法が小さい振動防止部５２６と、を備える。振動防止部５２６には緩衝材７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２とを備える。固定基板５１は、接合膜５３１，５３２を介して可動基板５２に接合される第１接合面５１５と、第１電極５６１の一部が形成される第１電極面５１６とを備える。可動基板５２は、接合膜５３１，５３２を介して第１接合面５１５に接合される第２接合面５２４と、第２電極５６２の一部が形成される第２電極面５２５とを備える。固定基板５１及び可動基板５２が接合膜５３１，５３２により接合された状態において、第１電極面５１６に形成された第１電極５６１と、第２電極面５２５に形成された第２電極５６２とが接触する （もっと読む）