【課題】書込み時間の短縮化や、駆動回路の縮小化を図ることが可能な板状部材の揺動装置を提供すること。
【解決手段】マトリクス部２０には、可動単位が、マトリクス状に行方向および列方向に複数配列される。第１電極および第２電極は、列方向に並んだ可動単位に共通使用される。行方向に並んだ可動単位の板状部材を共通に接続する第３電極が、行ごとに複数形成されている。駆動回路３０は、列方向に並んでいる第３電極を順番に１つずつ選択する。そして、選択した第３電極にバイアス電圧Ｖ１を印加すると共に、行方向に複数並んだ第１電極および第２電極に対して近接電圧Ｖ３または離反電圧Ｖ４を印加することで、板状部材を揺動させる。そして、揺動姿勢を保つ所定期間の間、第３電極に印加される電圧をバイアス電圧Ｖ１に維持する。所定期間の経過後に第３電極に印加される電圧をリセット電圧Ｖ２へ遷移させることで、板状部材を揺動していない状態へ戻す。 （もっと読む）

【課題】 可動部の揺動動作による空気の流れが発生した場合でも、可動部を安定して揺動動作させることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、可動部４の一面側に取付けられた整流部材５と、を備えている。 （もっと読む）

所望の数のデバイスだけが活性化されるように、並列に駆動される電気機械デバイス（例えば、ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳ）のアレイに電荷が運ばれうる方法及び装置が説明される。特定の実施形態は、干渉モジュレータ（ＩＭＯＤｓ）を用いて実装された画像表示に関連している。特に、そのようなディスプレイにおいてグレースケールを達成するための空間ハーフトニング技術が説明されるが、これは従来の空間ハーフトニング技術に関連したパワーペナルティーという性質を有していない。
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【課題】デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ、外部物体との接触によるボンディングワイヤの破損を防止することが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたデバイス本体１、デバイス本体１の上記一表面側に接合された表面側保護基板２、デバイス本体１の他表面側に接合された裏面側保護基板３を有するＭＥＭＳチップＣと、ＭＥＭＳチップＣが実装された実装基板５とを備える。表面側保護基板２は、デバイス本体１の各パッド１３それぞれを全周に亘って露出させる複数の貫通孔２０２が形成され、且つ、各貫通孔２０２それぞれに各別に連通するととともに貫通孔２０２側とは反対側が開放されデバイス本体１のパッド１３と実装基板５の導体パターン５０２とを電気的に接続するボンディングワイヤを通す複数の溝部２０３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】対向する基板の接合強度を向上するとともにミラーに対するダメージを防止することができる波長可変フィルター、その製造方法、測色センサーおよび測色モジュールを提供すること。
【解決手段】第一基板５１には、エッチングにより電極形成用溝５１１、ミラー固定部５１２および溝部としての接着剤用溝５１３が形成される。接着剤用溝５１３は、第一基板５１の四隅にそれぞれ凹状に形成される。また、接着剤用溝５１３は、平面略三角形状に形成され、隣接する２辺（第一形成辺５１３Ａ、第二形成辺５１３Ｂ）が第一基板５１の隣接する２辺に沿って略直角に形成されるとともに、これら２辺に対向する内周縁部５１３Ｃはギャップ形成部５５の外縁に平行な円弧状に形成される。接着剤用溝５１３の内部には接着剤５３が配置される。 （もっと読む）

【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】基板同士の接合強度をより向上させ、接合工程を容易にしつつ、所望波長を精度良く分光させることができる干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、及び干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板５１と、第１基板５１に対向配置され、第１基板５１に接合される第２基板５２と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、オプティカルコンタクトにより互いに接合される接合面５１３，５２４と、第１基板５１の接合面５１３に形成されて接合面５１３，５２４同士を接着する接着剤が流入する第１溝部５１４Ａと、第２基板５２に形成されて第１溝部５１４Ａと外部とを連通させる接着剤注入孔５２４Ａ及び接着剤排出孔５２４Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ簡単に電磁波パルス列を構成するパルス間隔を調整できる。
【解決手段】単発の電磁波パルスを複数の再帰反射素子の配列面に対して斜めに入射する。この結果、傾斜方向に配列された再帰反射素子の位置に応じて伝搬経路長（伝搬時間）が異なる複数の電磁波パルスが生成され、生成された複数の電磁波パルスを電磁波集束器により１本のビームに集束することにより電磁波パルス列を生成する。 （もっと読む）

【課題】正確な分光特性を測定可能な分光測定装置、および分析装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置３は、互いに対向する固定基板および可動基板と、可動基板に設けられる変位部と、変位部を初期位置に向かって付勢する連結保持部と、変位部および固定基板にギャップを介して対向配置される反射膜と、ギャップを調整する静電アクチュエーターと、ギャップ間隔を演算するギャップ演算手段８２３と、反射膜を透過した光の受光量を測定する受光部６と、変位部を予め設定された第一変位位置まで変位させるギャップ制御手段８２１と、変位部が初期位置に戻る復元過程で、透過光の光量測定、およびギャップの間隔の演算を同時に実施させる測定制御手段８２５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】機械的要素の摩耗や、開状態における透過率の低下を招くことなく、十分に広い波長領域の赤外線をチョッピングする。
【解決手段】各高屈折率層３，４，５は、赤外線ＩＲの波長＝λ、屈折率＝ｎ、物理的な厚み＝ｄとしたときに、その光学的厚みｎｄが１／４λとなるように導電性材料でそれぞれ形成されると共に、対向する２つの高屈折率層の間に電圧が印加された状態において２つの高屈折率層がそれぞれ光学的に一体化し、かつ、２つの高屈折率層の間に電圧が印加されない状態においてその光学的厚みｎｄが１／４λの空気層８ａ，８ｂが２つの高屈折率層の間に形成されるようにそれぞれ配設されて、各高屈折率層３，４，５が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させると共に、各高屈折率層３，４，５の間に空気層８ａ，８ｂが形成された状態において赤外線ＩＲを反射する。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】簡単な配線構造で、接続信頼性を向上させることが可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】 エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、これらの基板間で互いに対向して設けられる一対のミラー５６，５７と、第一基板５１に設けられる第一電極５４１、および第二基板５２に設けられる第二電極５４２を有する静電アクチュエーター５４と、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１に接続される第一電極パッド５４１Ｂと、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１とは絶縁される第二電極パッド５４３と、を備える。そして、第一基板５１および第二基板５２は、導電性の接合部５４６，５４７により接合され、第二電極５４２および第二電極パッド５４３は、これらの接合部５４６，５４７を介して導通される。 （もっと読む）

【課題】室内から外を眺めても外の景色が浮き上がったり一部が遮られたりして見えることなく、夏の太陽光を効果的に遮断し、冷暖房付加を大幅に低減することができる透明調光部材を提供する。
【解決手段】一対の平行な平面を持つ板状の透明調光部材は、太陽光の室内への侵入を遮断するモードと、太陽光を室内へ透過させるモードとをスイッチングするモードスイッチング機構を透明調光部材本体内部に有することを特徴とする。モードスイッチング機構は空気層の回転により光の全反射を利用して両モードのスイッチングを行う。 （もっと読む）

本発明は、マイクロメカニカル（ＭＥＭＳ）技術を用いて製造される制御可能なファブリー・ペロー干渉計に関する。先行技術におけるマイクロメカニカル干渉計は、著しく、赤外光の放射が減衰するといった欠点を有する。本発明の解決策において、少なくとも１つのミラーに間隙（１０４、１１４）があり、ミラー層の役割を担う。ミラーのその他の層は、多結晶質シリコンで作製され、赤外域において軽微な減衰を有する。また、干渉計の光学領域にある基板に孔（１２５）または凹部を具備することも好ましい。 （もっと読む）

【課題】部品数の増加及び装置の大型化を伴うことなく、短時間でビーム照射位置の調整が可能なビーム調整装置を実現する。
【解決手段】調整用ミラー１９ａ、１９ｂはチルト機構１０１により回転され、シフト機構１０２により直線的に移動される。光１８はビーム調整機構１０で調整後、集光レンズ移動機構１２１でレンズ１２を移動させレンズ１２通過後の光及びレンズ１２を通過しない光がＣＣＤカメラ１３に照射される。レンズ１２とＣＣＤカメラ１３の受光面との距離は焦点距離でありレンズ１２中心とＣＣＤカメラ中心との位置を合せておく。チルト調整量を算出しビーム調整機構１０で平行光となるように補正し、その後にレンズ１２を通過させずにＣＣＤカメラ１３に光を入射させビームのシフト調整量を算出しビーム調整機構１０でＣＣＤカメラ１３の中心に光が収束するようにビームのシフト、チルトを補正する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、迷光が被投影面に照射されるのを防止することのできる光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナ１は、光反射部２１１を備える可動板２１と、光透過性を有する光透過窓３２を備え、可動板２１を回動可能に収容するパッケージ３とを有している。また、光スキャナ１は、光透過窓３２から入射する入射光のうち、光透過窓３２により反射された光が、光反射部２１１により反射された光の走査領域に侵入することを防止する遮蔽部５３を有し、遮蔽部５３は、壁状をなし、可動板２１の平面視にて、入射光が光透過窓３２を通過する領域と、出射光が光透過窓３２を通過する領域との間に設けられており、入射光側の側壁および出射光側の側壁が、それぞれ、非駆動状態の可動板２１の厚さ方向に対して、入射光側に傾いている。 （もっと読む）

【課題】射出光の波長を可変させた場合でも、高透過率および高分解能を実現可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２、およびこの可動部５２２を基板対向方向に移動可能に保持する連結保持部５２３を有する変位部５２１を備えた第二基板５２と、第一基板５１に固定される固定ミラー５６と、可動面５２２Ａに固定される可動ミラー５７と、固定ミラー５６および前記可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、静電引力により可動部５２２を基板対向方向に変位させる第一静電アクチュエーター５４と、第一静電アクチュエーター５４の内側で、固定ミラー５６および可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、可動部５２２に変位方向と逆方向に応力を付与する第二静電アクチュエーター５５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】各部材のアライメントが不要になるとともに装置を小型化させ、ディレイを高速に行うことが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ光発生部と、パルス光をそれぞれ増幅させる光増幅部と、光増幅部により増幅されたパルス光を同軸に重ね合わせるとともに、波長変換光学素子に入射させ波長変換を行う波長変換部を備えたレーザ装置において、入射された方向と異なる方向に反射及び射出させる回転ミラー６４と、回転ミラー６４を回転させるミラー回転部６９と、回転ミラー６４から射出された光を平行光に変換させる第２レンズ６５と、第２レンズ６５を透過した平行光を異なる方向に透過させる透過型回折格子６６と、透過型回折格子６６を透過した光をその光路と同じ光路を反対方向に進むように反射させる平面ミラー６７とを備えた光路長調整部６０が設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】色評価に用いられるスペクトラム光源装置の出力光に、波長に依存する光強度分布、すなわち色むらを生じてしまう。
【解決手段】スペクトラム光源装置は、所定の波長領域に亘る光源光を発する光源と、光源光が照射される平面領域において、指示された特定領域が、他の領域と異なるように、光源光を反射または透過させる変調素子と、特定領域で反射または透過された光源光を波長分散させる波長分散素子と、波長分散素子に対して相対的に位置決めされ、波長分散素子によって波長分散された光源光の一部の波長光を通過させるスリットと、変調素子の特定領域を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）