【課題】反射膜間のギャップを精度よく設定可能な波長可変干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】本発明の波長可変干渉フィルター５は、第一基板５１と、第二基板５２と、第一反射膜５６と、可動部５２１に設けられ、第一反射膜５６と光学ギャップを介して対向する第二反射膜５７と、第一基板５１に設けられた第一電極部５４１と、第一電極部５４１に電極間ギャップを介して対向する第二電極５４２と、を備え、前記第一電極部５４１は、第一電極５４１１と、第一電極５４１１の第二基板５２に臨む側の面を覆う絶縁層５４１２と、絶縁層５４１２の第二基板５２に対向する面を覆い、電極間ギャップを介して第二電極５４２に対向し、かつ第一電極５４１１と絶縁された導電性部材５４１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーの応答性を向上できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、および波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定ミラー５５を有する第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２および可動部５２２に固定される可動ミラー５６を備えた第二基板５２と、第一基板５１とは反対側で第二基板５２に接合される第三基板５３と、可動部５２２を基板対向方向に変位させる静電アクチュエーター５４とを備え、第一基板５１と第二基板５２との間の射出側空間５８１および第二基板５２と第三基板５３との間の入射側空間５８２を外部に連通する貫通孔５１７が形成され、貫通孔５１７は各空間５８１，５８２を減圧状態に密閉する封止材で封止される。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動精度を保ちつつ、可動部に対する給電を円滑に行い得るミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、支軸２４について回動可能なミラーユニットフレーム１１と、支軸１７に配されたミラー１９と、マグネットユニット２０とミラーユニットフレーム１１とを連結するサスペンションワイヤー２６ａ〜２６ｆと、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７とを連結するサスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄとを備える。サスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄ、２６ａ〜２６ｆにより、ミラーユニットフレーム１１に装着されたチルトコイル１１ｂと、支軸１７に装着されたパンコイル１２ｂ、１３ｂに給電でき、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７に対し、一定かつ安定的な抗力が付与される。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーがパチンと引き合うスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】 ヒステリシス特性を利用して、より高い精度で焦点距離の制御が可能な液体レンズ及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 印加電圧の第１の閾値と第２の閾値との間に、印加電圧を大きくしていく第１の動作と、印加電圧を小さくしていく第２の動作とで焦点距離が異なり、印加電圧値の変化に対する焦点距離の変化率が第１の動作を行った時の方が第２の動作を行った時よりも小さい第１の範囲と、それと反対の第２の範囲とが存在するヒステリシス特性を有する液体レンズにおいて、
第２の範囲内の焦点距離に変化させる場合には、印加電圧値を一旦、第２の閾値以上の状態とした後に、目標電圧値に変化させる制御を行い、且つ、第１の範囲内の焦点距離に変化させる場合には、印加電圧値を一旦、第１の閾値以下の状態とした後に、目標電圧値に変化させる。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターに温度センサーを設けた場合でも配線構成を簡単にできる光モジュール、および光測定装置を提供する。
【解決手段】光モジュールは、第一基板、第二基板、第一基板に設けられた第一反射膜、第二基板に設けられて第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、電圧印可によりギャップ寸法を変化させる静電アクチュエーター、静電アクチュエーターに接続された外側駆動電極線、および外側駆動電極線に接続された第一センサー配線５５１および第二センサー配線５５２を有する温度センサー５５を備えた波長可変干渉フィルターと、外側駆動電極線に接続されて静電アクチュエーターおよび温度センサー５５に電圧を印加する第一駆動回路７２、および第二センサー配線５５２に接続されて温度センサー５５からの温度検出信号が入力される温度検出回路７４を備えたフィルター駆動回路部と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】工程の増大がなく、製造時及び使用時のスティッキングや電流リークを防止できる光フィルター及び光機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、第１基板２と、第１基板２に設けられた第１ミラー４Ａと、第１ミラー４Ａの周辺に配置された第１電極６Ａと、第１基板２と対向した第２基板３と第２基板３に設けられ、第１ミラー４Ａと対向した第２ミラー４Ｂと、第２ミラー４Ｂの周辺に設けられ、第１電極６Ａと対向した第２電極６Ｂと、を少なくとも有し、第１ミラー４Ａ、及び第２ミラー４Ｂは誘電体多層膜９Ａ，９Ｂを含み、誘電体多層膜９Ａ，９Ｂが、第１電極６Ａ、または第２電極６Ｂの少なくとも一方を覆っている。 （もっと読む）

【課題】駆動を検出するための検出用電極を備える振動ミラー素子を容易に製造することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ミラー部１と、ミラー部１を駆動する駆動部４および５とを備え、駆動部４および５には、電圧の印加により駆動部４および５を変形させて駆動させるための駆動用電極４４および５４と、駆動部４および５の変形量を検出するための検出用電極４５および５５とがそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】パッドから取り出す電気信号のＳ／Ｎ比を向上させることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１００を用いて形成されたミラー形成基板（デバイス本体）１を備える。ミラー形成基板１は、第１のシリコン層１００ａに形成され電気信号を生成する可動電極（機能部）２２と、第１のシリコン層１００ａ上に形成され電気信号を取り出すためのパッド１３ａと、第１のシリコン層１００ａにおいてパッド１３ａが形成された島状の導電部１１ａｃとを有する。導電部１１ａｃと第１のシリコン層１００ａにおける導電部１１ａｃの周辺部位とを絶縁分離するように第１のシリコン層１００ａに第１の分離部１０ａａが形成され、第２のシリコン層１００ｂのうち導電部１１ａｃおよび絶縁層１００ｃとともに寄生コンデンサを構成する部分の面積を低減するように第２のシリコン層１００ｂに第２の分離部１０ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に伴う密度差を含む液体間の密度差に起因して重力の影響により生じる液体間の界面の非対称性による光学偏心を補正可能な液体型光学素子を提供する。
【解決手段】液体型光学素子１は、筐体内に収容された屈折率が異なる少なくとも２種類の非混和の液体８、９を有し、液体間の界面１００ａ、１００ｂの状態を制御して光学性能を変化可能である。筐体の一部をなし光学素子１の光軸１０５上に可動に配置された透明部材４と、補正手段５を備える。補正手段は、透明部材４を変位させることにより、温度変化に伴う密度差を含む液体間の密度差によって重力の影響により生じる界面の非対称性による光学偏心を補正する。 （もっと読む）

【課題】加速度の変化に追従して撮像画像を補正する撮像装置を提供する。
【解決手段】液体レンズを用いて被写体を撮像する撮像部と、液体レンズにかかる加速度を検出する加速度検出部と、加速度検出部が検出した加速度に基づいて、撮像部が撮像した画像を補正する画像補正部とを備える撮像装置が提供される。加速度検出部は、加速度のベクトルを検出し、画像補正部は、加速度検出部が検出した加速度のベクトルに基づいて、撮像部が撮像した画像を補正する。 （もっと読む）

【課題】 印加電圧を高くすることなく、短時間に液体レンズを所定の焦点距離に制御する。
【解決手段】 同心状に配置された複数の輪帯電極を備えた液体レンズにおいて、電圧を印加する輪帯電極を外側から内側に切り換える場合は、目的とする輪帯電極よりも内側の輪帯電極に過渡的に電圧を印加し、電圧を印加する輪帯電極を内側から外側に切り換える場合には逆の過渡的な制御を行う。 （もっと読む）

【課題】光反射面の形状を高精度に可変させる。
【解決手段】可変形状鏡１は、光反射面１０ａを有するミラー１０と、ミラー１０を変形させるアクチュエータ２０と、アクチュエータ２０を保持するバックプレート３０と、ミラー１０、アクチュエータ２０、バックプレート３０の各温度を測定する温度センサ５０と、温度センサ５０から入力された各温度測定値と予め設定されたミラー１０、アクチュエータ２０、バックプレート３０の線膨張係数に基づいてミラーの変形量を調節するための調節値を算出する温度補償演算部６０と、温度補償演算部６０で算出した調節値に基づいて、与えられた駆動指令値を調節してアクチュエータ２０を駆動させるアクチュエータ制御部４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動型の光偏向装置の可動部の傾き角を検出する磁気センサの検出信号から、駆動用の電磁石に由来するノイズを除去する。
【解決手段】光偏向装置は、可撓梁によって基板に揺動可能に支持されている可動部と、可動部に固定されているミラーと永久磁石を備えている。可動部の揺動軸に沿う方向を第１方向とし、それに直交する方向を第２、第３方向としたときに、第２方向において永久磁石を挟んで対向している第１磁極と第２磁極とを有している電磁石と、磁気センサを備えている。とともに、第３方向の磁束密度成分を検出する磁気センサは、電磁石に通電したときに発生する磁束の第３方向成分がゼロとなる位置におかれている。 （もっと読む）

【課題】温度変化が起きて分散素子の分散特性が変化したとしても、正確なスイッチングができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】基板を備えた波長選択スイッチであって、基板上に、波長選択スイッチ内に波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を分散させる分散素子と、分散素子によって分散された光を波長ごとに集光する集光要素と、集光要素からの波長ごとの光を波長ごとに独立に偏向可能な、複数の偏向素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された波長ごとの光を受光する出力部と、分散素子、集光要素、及び光偏向部材の少なくともひとつを駆動させる駆動機構と、を備え、駆動機構による駆動は、分散素子の場合は基板に対して垂直な軸の周りの回転駆動であり、集光要素もしくは光偏光部材の場合は基板に対して波長分散方向の並進である。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルに電気信号を印加することによって可動体に発生する振動を機械的な制動機構を用いずに短時間に抑制することにある。
【解決手段】 反射ミラー１４を有する可動体１４が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバー１３ａ，１３ｂに支持され、可動体の面部に施された駆動コイル２１に入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するＭＥＭＳミラーにおいて、駆動コイル２１に電気信号を印加したとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し反転して駆動コイル２１と併設される振動抑制コイル３３に加えて抑制する振動抑制制御部３０を備えたＭＥＭＳミラー制御装置である。 （もっと読む）

【課題】分光精度を維持することができる波長可変干渉フィルター、光センサー及び分析機器を提供すること
【解決手段】
本発明の波長可変干渉フィルター５では、第二基板５２は、第一反射膜５１に対向する位置で、基板厚み方向に沿って形成され、当該第二基板５２の第一面Ａから反対側の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、光透過口５２１Ａ内に設けられる透光性部材５８と、を備え、光透過口５２１Ａは、内周面の径寸法が、第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って増大するテーパー形状に形成され、透光性部材５８は、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光入射面５８Ａ、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光射出面５８Ｂ、及び第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って径寸法が増大するテーパー側面５８Ｃを有し、テーパー側面５８Ｃが光透過口５２１Ａの内周面に当接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ長寿命の波長可変干渉フィルター、光センサーおよび分析機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、透光性を有する第一基板５１と、前記第一基板５１の一面側に対向して接合される第二基板５２と、前記第一基板５１の前記一面側に設けられる第一反射膜５６と、前記第二基板５２の前記第一基板５１に対向する第一面Ａに設けられ、ギャップＧを介して前記第一反射膜５６に対向する第二反射膜５７と、前記ギャップＧを可変する可変部５４と、を備えた波長可変干渉フィルター５であって、前記第二基板５２は、前記第一反射膜５６に対向する位置に設けられるとともに、前記第一面Ａから反対の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、前記第二基板５２の前記第一面Ａに設けられ、前記光透過口５２１Ａを閉塞する平板状の透光性部材５８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 差動位相偏移変調信号の復調器を作製するにあたり、位相調整を高速に行い、かつ装置の寿命を長く保つ必要がある。
【解決手段】 復調器内部の遅延干渉計において、干渉させる2つの分岐光の位相差の調整をピエゾ素子などの位相調整手段と、第一の位相調整手段よりも低速で動作し、かつ劣化速度が遅い発熱体などの位相調整手段とを用いて行う。 （もっと読む）