【課題】従来と比して著しく小型化した送受信モジュールを提供する。
【解決手段】送受信モジュールは、半導体レーザ１１、回折格子カプラ１３ａ、及び受光素子１５を具えている。半導体レーザと回折格子カプラとの間を結ぶ第１光軸１４を含む平面を第１平面１６とするとき、受光素子と、送受信モジュール外の外部光学系１７とを回折格子カプラを経て結ぶ第２光軸２０が、第１平面と交差している。 （もっと読む）

【課題】９対１を下回る非等分の分岐比を有し、過剰損失を低減するとともに歩留まりを向上できるＹ分岐光導波路を提供する。
【解決手段】Ｙ分岐光導波路１０は、入力光導波路１２と、コア幅が徐々に拡大するように形成され、幅狭側端部１４ａが入力光導波路１２に接続されたテーパ光導波路１４と、テーパ光導波路１４の幅広側端部１４ｂに、所定幅のギャップ部２８を介して並べて接続された第１Ｓ字型曲線光導波路２０、第２Ｓ字型曲線光導波路２２とを備える。テーパ光導波路１４と第１Ｓ字型曲線光導波路２０、第２Ｓ字型曲線光導波路２２との接続部において、第１Ｓ字型曲線光導波路２０、第２Ｓ字型曲線光導波路２２のコア幅が等しく形成されている。テーパ光導波路１４のコアの第１側壁１４ｃの広がり角が０度に形成されており、第２側壁１４ｄの広がり角が０度よりも大きい角度に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位相制御器として原理的に透過光が減衰し、当該部位において過剰な伝送損失が発生するような機構を適用した場合に、その出力光強度を向上せしめ、消光比を改善する技術に関する。
【解決手段】本発明は、入力光導波路５と、分波部６と、第１の光路７及び第２の光路８と、第２の光路に設けられた光変調部１２と、前記第１の光路と第２の光路に接続された合波部９と、該合波部からの合波光が出射される出力導波路１０、１１とを有するマッハツェンダ干渉計型光機能素子であって、第２の光路は光変調部に起因して第1の光路よりも光伝搬損失が大きくされ、分波部は固定の非等分岐比とされ、第2の光路に入射する光強度が第1の光路に入射する光強度よりも強くされてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、導波路の狭メサ化及び側壁円滑化が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】スラブ導波路層を有する第１の基板を用意する工程と、該第１の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第１の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第２の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第２の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】 発光（又は受光）素子及び光導波路の実装時の位置合せを容易かつ高精度に行える光導波路装置等の光結合装置、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 端面に形成された光反射面３４による反射で外部光を内部に導入又は内部光を外部へ導出するように構成されたエアリッジ型の光導波部３６と、光反射面３４とは反対側の位置にて光導波部３６に対向して配置されて外部光の出射又は内部光の受光を行う発光又は受光素子と、光導波部３６及び発光又は受光素子をそれぞれ固定した支持体３１とを有し、この支持体に形成された凹部４４内の所定位置に発光又は受光素子が固定され、その所定位置とは別の位置にて光導波部３６のコア３９が支持体３１とは非接触の状態で凹部４４内に配置されていると共に、コア３９以外の領域で光導波部３６が支持体３１に固定されている、光導波路装置としての光結合装置。 （もっと読む）

【課題】偏波依存性がなく、容易に製造することができること。
【解決手段】基板１２の第１主面１２ａに配置されるクラッド１４と、クラッド内に設けられていて、クラッドから露出した傾斜面１８ａを有する光入出力領域１６を備えていて直線状に延在し、第１側面と、第１側面に平行に対向する第２側面１８_２と、第１及び第２側面の双方に垂直であって互いに対向する第３側面及び第４側面１８_４で囲まれることにより、光伝播方向に垂直な横断面形状が矩形状の第１コア１８と、光入出力領域の傾斜面１８ａを包含するようにクラッド上に配置される第２コア２０とを備えていて、光入出力領域は、第３及び第４側面の双方に対して垂直な平面であって、第１側面から第２側面に至るまでの間を斜めに切断した傾斜面が延在する領域であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高圧縮率で高効率のモード変換を行うことができ、且つ小型で作製も容易な光結合デバイスを提供する。
【解決手段】 光ファイバや空間中を伝播する光信号を光導波路デバイスに結合させる光結合デバイスであって、基板１０上に一方向に沿って設けられ、一端側に対し他端側の幅が絞り込まれた下部導波層２０と、基板１０上に一方向に沿って設けられ、下部導波層２０の他端と接続された光導波路４０と、下部導波層２０上に一方向に沿って設けられ、一端を下部導波層２０の一端と揃えて形成され、一端側に対し他端側の幅が絞り込まれ、且つ一方向に沿った側面の該方向に対する傾斜角が一端側で大きく他端側で小さい上部導波層３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】アサーマルＡＷＧにおいて残留する透過中心波長の温度依存性を補償し、全使用温度領域において透過中心波長精度に優れた、あるいは使用可能温度領域が比較的広い、低損失かつ透過スペクトルの平坦な光波長合分波回路を提供する。
【解決手段】ＭＺＩ同期ＡＷＧの透過中心波長が、およそＭＺＩの透過波長とＡＷＧの透過中心波長の平均値であることに着目し、アサーマルＭＺＩの透過波長の温度依存性を変調しアサーマルＡＷＧに残留する透過中心波長の温度依存性と相殺するように設定する。本発明においては、特にＭＺＩにおける光カプラに着目し、光カプラ自体に、２つの出力間の位相差が温度により変化する機構を与えることにより、ＭＺＩの透過波長の温度依存性を変調する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが簡単で、小さなサイズで光スポットサイズを大きく拡大でき、高い結合効率を実現できる光導波路径拡大回路、製造方法、光導波路型装置を提供する。
【解決手段】光導波路径拡大回路は、支持基板層１と、酸化膜層２と、単結晶シリコン膜から形成された光導波路層３ａとグレーティング３ｂと、光導波路層３ａ及びグレーティング３ｂを覆うように形成されたオーバークラッド層４と、オーバークラッド層４側を光反射面とする光反射膜５と、支持基板層１の下面における光の反射を抑制する反射防止膜６とを有し、光導波路層３ａの外向き端部が第１の入出力端７であり、反射防止膜６の下面が第１の入出力端７よりも大径の光を入出力する第２の入出力端８である。 （もっと読む）

【課題】 ＣＭＯＳ適合の集積型誘電体光導波路カプラ及びその製造法を提供する。
【解決手段】 光電子回路製造方法、及び、それによる集積回路製造装置を提供する。集積回路は、光ファイバからの光エネルギーを集積回路上の集積型光導波路に効率的に結合させる集積型光結合移行部を有するように製造される。特定の材料の層を半導体回路上に堆積させて、光ファイバと、移行チャネル内に途中まで延びる回路上の光導波路との間の適切なインピーダンス整合を行う光カプラを収容するトレンチのエッチング形成をサポートする。エッチング形成されたトレンチ内に、光ファイバの一区域と実質的に等しい屈折率を有する少なくとも一部分を含むシリコン・ベースの誘電体を堆積させて、光カプラを形成する。段階的屈折率を有するシリコン・ベースの誘電体を用いることも可能である。光移行部と集積回路の調製を仕上げるために化学機械研磨を用いる。 （もっと読む）

【課題】コアの物理的寸法を変えることによりコアの等価屈折率が光伝搬方向に不均一に変化する光導波路で構成される光デバイスの作製精度を緩和する。
【解決手段】得ようとする光デバイスが示す反射スペクトルデータに基づいて導波路の物理的寸法を設計し、前記物理的寸法の分布を求める第１の寸法導出工程と、導波路の作製精度に基づいて光伝搬方向の平均化区間幅を求め、前記物理的寸法の分布を前記区間幅ごとに平均化する平均化工程とを有する設計方法によって光デバイスを設計する。 （もっと読む）

【課題】コアの物理的寸法を変えることによりコアの等価屈折率が光伝搬方向に不均一に変化する光導波路で構成される光デバイスの作製精度を緩和する。
【解決手段】クラッドに埋め込められたコアの物理的寸法を変えることによりコアの等価屈折率が光伝搬方向に不均一に変化する光導波路で構成される光デバイスの設計方法であって、得ようとする光デバイスが示す反射スペクトルデータに基づいて、ポテンシャル関数を求めるポテンシャル関数導出工程と、導波路の作製精度に基づいて光伝搬方向の平均化区間幅を求め、前記ポテンシャル関数の積分分布ｑを前記区間幅ごとに平均化した平均値の分布ｑ′を求める平均化工程と、前記平均化工程で求めた平均値の分布に基づいて局所等価屈折率の分布を求め、この局所等価屈折率分布に基づいて、導波路寸法を求める導波路寸法導出工程とを有する設計方法によって光デバイスを設計する。 （もっと読む）

【課題】コアの物理的寸法を変えることによりコアの等価屈折率が光伝搬方向に不均一に変化する光導波路で構成される光デバイスの作製精度を緩和する。
【解決手段】得ようとする光デバイスが示す反射スペクトルデータに基づいて、導波路のｚの関数であるポテンシャル関数を求めるポテンシャル関数導出工程と、前記ポテンシャル関数をｚについて積分した積分関数を計算し、この積分関数のゼロ点を求め、隣り合うゼロ点で囲まれた区間内でこの積分関数の平均化を行って区間ごとにこの積分関数の平均値を求める平均化工程と、前記平均化された前記積分関数の平均値に基づいて前記区間ごとに局所等価屈折率を求める局所等価屈折率平均化工程と、前記平均化された局所等価屈折率に基づいて、導波路寸法を求める導波路寸法導出工程とを有する設計方法によって光デバイスを設計する。 （もっと読む）

２つの対向した側部を有するシリコンウェーハを、光導波路が含む。該シリコンウェーハが、ヘッド部分と第１の柄部分とを含むこととなるように、第１のノッチが、前記２つの対向した側部の各々の中に画定される。
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【課題】シリコン細線よりなるリブ型導波路を、損失を抑制して高効率な状態で、光ファイバーと光結合できるようにする。
【解決手段】シリコン酸化層１０５の上に、所定の方向（導波方向）に延在するライン状のレジストパターン１２１およびレジストパターン１２２が形成された状態とする。レジストパターン１２１およびレジストパターン１２２は、連続して一体に形成され、先端部のレジストパターン１２２は、端部に向けて先細りのテーパ形状に形成された状態とする。次に、これらにより、酸化シリコンパターン１４１および酸化シリコンパターン１４２が形成された状態とする。この後、これらをマスクとしてシリコン層１０３をパターニングする。 （もっと読む）

【課題】反射率ピークの波長依存性が小さい回折格子デバイスを提供する。
【解決手段】回折格子デバイス１ａでは、回折格子構造９は、光導波路コア７と基板３との間に設けられている。第１のクラッド領域１７ａ及び領域１５は、回折格子のための接合１０ａを形成する。積層構造５は第３の層１１ａを含み、第３の層１１ａは、光導波路コア７と回折格子構造９との間に位置する。また、第３の層１１ａは第２のエリア３ｃ上において回折格子構造９上に設けられている。第３の層１１ａは、領域１５の屈折率と異なる第３の屈折率ｎ３を有する。第２の部分５ｃでは第３の層１１ａが光導波路コア７と第１のクラッド領域１７ａの間にあり、第１の部分５ｂでは光導波路コア７は回折格子構造９の領域１５に隣接している。このため、第３の層１１ａの屈折率及び光導波路コア７の屈折率からなる周期的な屈折率変化が光導波路コア７に沿って形成される。 （もっと読む）

【課題】 製造プロセスの簡略化を図り、低価格化を実現できるとともに、光結合効率の低下を抑えることができる光結合構造体および電気配線基板を得る。
【解決手段】 第１コア端面１１ａが第１端面１２ａに露出し、第２コア端面１１ｂが第２端面１２ｂに露出し、第１コア端面１１ａからミラー面１３に至り、ミラー面１３で方向を変えられて第２コア端面１１ｂに至る連続した光路を構成するコア１１が、クラッド１２内に埋設されており、かつコア１１の第１コア端面１１ａおよび第２コア端面１１ｂがそれぞれ第１端面１２ａおよび第２端面１２ｂに２次元的に配列されている光路変換デバイスと、第１端面あるいは第２端面の複数のコアが複数の導波路コアと相対するように設けられたアレイ型光導波路ユニットと、複数の導波路コアを光デバイスに接続するための光コネクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】シンプルな構成で光と電気の共存共栄を図ることができ、かつ、バックプレーンボードとの接続部分での光路の位置連れによる光損失の問題を解決した光電気混載ボードを提供する。
【解決手段】本発明の光電気混載ボード２１は、光信号を電気信号に変換する機能と電気信号を光信号に変換する機能の少なくともいずれかを有する光素子２２および電子部品２３を実装するとともに、光回路と電気回路を有し、バックプレーンボード２４に取り付けられるものであり、電気回路が内蔵された電気回路基板層２５に光回路層２６がラミネートされ、光回路層２６が光導波路２７により構成されている。また、バックプレーンボード２４との接続端側の光導波路２７のコア部分２８が、光入射用の場合には端面に向けて徐々に拡がるテーパ状に形成され、光出射用の場合には端面に向けて徐々に狭くなるテーパ状に形成されたものとする。 （もっと読む）

【課題】高いパワーの光が入射した場合にも劣化・破壊が生じにくく、光の損失が小さく高感度な端面入射型受光素子及びその光結合方法並びに光結合構造を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板上に、入射光を吸収して光電変換する光吸収層を含む受光導波路５４が形成され、かつ受光導波路５４は、光が入射される端面である入射端面６５に対してＳｉ基板と平行な方向から光を入射して用いる端面入射型受光素子６４であって、入射光は、入射端面６５に対して所定の入射角ｉをもって入射され、かつ受光導波路５４の側壁が、入射角ｉ及び受光導波路５４の等価屈折率に応じて定まる導波光ビーム５９の導波方向に対して平行である。 （もっと読む）

【課題】光導波路素子において、コンパクトな素子サイズで多チャンネル化を可能とし、低波長依存性や低偏光依存性を実現しながら、チャネル間アンバランスを抑制し、作製トレランスを大きくする。
【解決手段】光導波路素子であって、単一モードの一の第１導波路１と、複数の第２導波路２と、一端が第１導波路１に接続され、他端が第２導波路２に接続され、一端から他端へ向けて幅が広くなるテーパ状導波路３とを備え、テーパ状導波路３の一端の幅は、単一モード条件を満たすように設定されている。 （もっと読む）