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【課題】輪郭を形成するSi構造体と柱状のSi構造体との交点付近に位置するSi原子を酸化する際に、間隙が柱状のSi構造体の連立方向に広がること。
【解決手段】マスクを用いてシリコン基板の基板面をエッチングし、光学素子を形成するための基となる光学素子形成体であって、複数の構造体が各構造体間にトレンチを隔てて基板面上に並設されてなる複数の柱構造体と、複数の柱構造体に連結するとともに、複数の柱構造体を内包する輪郭構造体とを基板面上に形成する第1工程と、光学素子形成体を酸化する工程であって、光学素子形成体が酸化され始めてから柱構造体が酸化されるまでの第2工程と、第2工程において酸化され残った輪郭構造体の一部が酸化されるまでの第3工程とからなる光が透過可能なシリコン酸化物で構成される光学素子の製造方法であって、第3工程において、輪郭構造体は、少なくとも前記柱構造体の並設方向に対する変形を抑制される。 (もっと読む)


【課題】 高温の熱処理が必要な場合でも、高精度な台座ブロックを作製する。
【解決手段】 光導波路デバイス10は、シリコン基板11上に形成された下部クラッド層12、コア層13及び上部クラッド層141,142を有する光導波路形成層15から成る光導波路部16と、光導波路形成層15の一部が除去されて成る光素子搭載部17とを有し、光導波路形成層15の一部の除去によって露出した光導波路部16の端面に光素子搭載部17に搭載された発光素子18が光学的に結合されるものである。マスク22となるクロム膜21は、上部クラッド層142上に設けられる。そのため、クロム膜21を形成する前に、下部クラッド層12及びコア層13などに高温の熱処理を施しても、クロム膜21には何ら影響を与えない。 (もっと読む)


【課題】重合体を作製できるトリスオキセタンエーテル化合物および光導波路の提供。
【解決手段】トリスオキセタンエーテル化合物とフェノール類をセシウム塩によりセシウムフェノラート化し、スルホン酸エステルと反応させた下記化合物。
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【課題】光フィルタ設置溝の深さ方向に対する光フィルタの傾き角度を安価に小さくすることができる光導波路構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光フィルタが設置された光フィルタ設置溝を有する光導波路構造体の製造方法に関する。本発明による製造方法は、光導波路(2a)を備えた光導波路基板(2)を形成する工程と、光導波路(2a)を横切るように光導波路基板(2)に光フィルタ設置溝(10)を形成する工程と、光フィルタ設置溝(10)に接着剤(16)を塗布する工程と、光フィルタ設置溝(10)に光フィルタ(6)を挿入する工程と、光フィルタ設置溝(10)に光フィルタ(6)を固定するために接着剤(16)を硬化させる工程を有する。光フィルタ設置溝(10)は、光導波路基板(2)の上面(3)に形成され、接着剤(16)を硬化させる工程は、光導波路基板(2)を上下逆にして行われる。 (もっと読む)


【課題】発振特性が安定で、製造歩留まりの向上が可能で、低コスト化の可能な波長可変光源を実現可能となす、位相制御機能を有する光半導体装置を提供する。
【解決手段】光半導体素子とそれが搭載される実装基板部とを含んでなる光半導体装置において、光半導体素子は素子基板14の下側の面に活性層17が形成されており、実装基板部は実装基板23の上側の面にヒーター電極8を備えている。光半導体素子は、素子基板14の活性層17が形成されている側の下面が実装基板23のヒーター電極8が設けられている側の上面に対向しており、ヒーター電極8の発熱により活性層17が加熱されるように配置されている。10は実装基板側p電極であり、19は光半導体素子側p電極であり、これらは融着材20により接合されている。9はスペーサである。 (もっと読む)


【課題】受発光素子を光軸ズレなく自己形成光導波路に組み付ける。
【解決手段】容器片10に、波長選択性ミラー31及び32を立設し、型部21及び22を合わせて筐体Mとし、第1の光硬化性樹脂液を充填して、貫通孔101に挿入した光ファイバ100と、型部の光導入部211、221、222とから光を照射して、コアを形成する。未硬化の第1の光硬化性樹脂液を除き第2の光硬化性樹脂液を充填してクラッド50cとすると、クラッド50c表面には突起511−1乃至522−2が形成される。クラッド50c表面の突起511−1及び511−2と、コア端411−fは、型部21の光導入部211と凹部211−1及び211−2により位置決めされた。型部21の光導入部211と凹部211−1及び211−2とを、組み付けるべき受発光素子の有効面と凹部とに合わせて設計することで、受発光素子を組み付けと光学結合が達成される。 (もっと読む)


【課題】全体に光を行き渡らせつつ、外部へ照射される光量を増加させることができ、更に、容易に全域に渡って光量の均一性を向上させることができる照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置1は、半導体レーザ素子(発光素子)2と、光導波路3とを備えている。光導波路3は、基板11と、下クラッド部12と、コア部13と、上クラッド部14と、蛍光体部15とを備えている。上クラッド部14は、コア部13の導波部13aの上面の一部及び側面を覆うように形成されると共に、コア部13の凸部13bに対応する位置が開口された光取り出し部14aが形成されている。コア部13には、光取り出し部14aに対応させて凸部13bが形成されている。 (もっと読む)


【課題】基板表面にセラミック超微粒子の規則配列単粒子膜を形成する。
【解決手段】セラミック超微粒子膜を形成する基板の表面電位を、セラミック超微粒子分散溶液のゼータ電位とは逆極性でセラミック超微粒子分散溶液中のセラミック粒子と共有結合可能な電位に制御するために、基板を少なくとも2種類の有機化合物溶液中に浸漬するか、または、基板を有機化合物溶液中に浸漬した後、基板に紫外光を照射する。 (もっと読む)


【課題】光導波路形波長フィルタの中心波長の温度無依存化あるいは温度依存性増強を、光導波路を形成する材料の制約を受けることなく行う。
【解決手段】光導波路は、光導波路に応力分布を持たせることによって、光導波路の中心波長の温度無依存化を図る。この応力分布による光導波路の中心波長の温度無依存化は、光導波路を形成する材料によらないため、光導波路を形成する材料の制約を受けることなく行うことができる。光導波路に応力分布を持たせる態様として、クラッド上にコアを成膜して生成し、このコアの表面層の一部を削除することで応力分布を調整し、中心波長の温度依存性を調整する。 (もっと読む)


【課題】光デバイスの製造等に有用な新規材料の提供。
【解決手段】有機フォトクロミック化合物を用いて物体表面に所定の立体構造を構築する方法において、前記有機フォトクロミック化合物として、第一の光の照射により、第一のガラス転移温度を有する第一状態に変化する一方、前記第一の光の波長とは異なる第二の光の照射により、前記第一のガラス転移温度よりも低い第二のガラス転移温度を有する第二状態に変化する有機フォトクロミック化合物を選択すると共に、前記有機フォトクロミック化合物を前記物体表面に適用した後、前記第一のガラス転移温度よりも低く前記第二のガラス転移温度と同程度かより高い温度下で、前記有機フォトクロミック化合物を適用した部位の内、所望領域に前記第二の光を照射し、当該部位を平坦化する工程、を含むことを特徴とする方法。 (もっと読む)


【課題】コアとクラッドとの界面に荒れを生じさせることなく、かつ容易に作製しうるステップインデックス型光導波路およびその作製方法を提供することを主な目的とする。
【解決手段】コア部とクラッド部を有する光導波路において、コア部が、クラッド部を構成する母体ポリマー材料に下記の特性を有する化合物の気体分子を浸透させた複合体により構成されていることを特徴とする光導波路:
(i)気化性を有している、
(ii)母体ポリマーよりも屈折率が高い、
(iii)光の伝搬波長において透明である。 (もっと読む)


【課題】従来に比べて、工程数が少なく、大面積化が可能となり、さらに、3次元的にコアを均一に配列させることが可能となる光デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】複数のコアと、前記コアのまわりに設置されたコアより屈折率の小さいクラッドとから構成されるシート状の光デバイスであって、コアとクラッドの一部が熱可塑性樹脂によって形成されてなり、前記複数のコアが導光路となる光デバイス。 (もっと読む)


【課題】耐熱性、耐薬品性、撥水性、誘電特性、電気特性及び光学特性に優れるポリイミドを含む光導波路を提供する。
【解決手段】塩素原子及びフッ素原子を含み、かつ下記式(2):
【化1】


ただし、X及びX’は、それぞれ独立して、2価の有機基を表わし;Y及びY’は、それぞれ独立して、塩素、臭素またはヨウ素原子を表わし;p及びp’は、それぞれ独立して、相当するベンゼン環へのフッ素原子(式(2)中のF)の結合数を表わし、0〜3の整数であり;q及びq’は、それぞれ独立して、0〜3の整数であり;およびp+qは3であり、p’+q’は3である、
で示される繰り返し単位からなるポリイミドを含む光導波路。 (もっと読む)


【課題】コアと、そのコアの表面を覆うクラッドとを備えた光配線基板の製造方法において、半円状の形断面を有するコアを効率よく製造する方法を提供することであり、光配線基板のコアの位置とクラッドの外形形状の位置精度とを精度良く外形加工を行う手段を提供し、クラッドの形成と光配線基板のクラッドの外形加工を同工程にて行い、光配線基板の外形加工工程そのものを簡略化することにより、低製造コストかつ高品質な光配線基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】コアの外形形状に対応した半円状の凹部を有する型板又は凸部を有する型板を使用して円近似形状のコアを形成する工程と、コアの外形状に対応した半円状の凹部又は凸部の型の外周側にクラッドの外形加工形状の凹凸の型を有する型板を使用して、クラッド層とその外形を同時に形成する工程からなる光配線基板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】伝送損失が低く、また導波路パターンを形状精度が良くかつ低コストで作製可能な光導波路形成用樹脂組成物、光導波路、光導波路形成方法およびそれを用いた光素子の提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される繰返し構造単位と下記一般式(2)で表される繰り返し構造単位を含む重合体と光酸発生剤を少なくとも含有する光導波路形成用樹脂組成物。


(式中、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2は炭素数7から22の有橋環式炭化水素基を表す。R3は水素原子またはメチル基を表し、R4は炭素数7から17の脂環式基を含有するエポキシ基を表す。) (もっと読む)


【課題】光導波路を構成する材料としてハロゲン化ポリイミドを使用した場合に、ハロゲン化ポリイミドの屈折率を大きく変化させることができる新規な手段およびその応用を提供すること。
【解決手段】ハロゲン化ポリアミド酸と、金属酸化物前駆体と、該前駆体から金属酸化物を生成させるための反応の触媒、および/または、反応性基を有するカップリング剤とを含有するハロゲン化ポリアミド酸組成物。このハロゲン化ポリアミド酸組成物を、例えば、加熱処理することにより、ハロゲン化ポリイミドフィルムが得られる。このハロゲン化ポリイミドフィルムは、例えば、波長1550nmでの屈折率が1.520以下である。また、光導波路は、このハロゲン化ポリイミドフィルムをコア層およびクラッド層の少なくとも一方に用いており、この光導波路のコア層とクラッド層との比屈折率差は、例えば、0.6%以上である。光導波路装置は、このような光導波路を備える。 (もっと読む)


【課題】コアを伝搬する光を基板垂直方向に曲げるミラー付光導波路を容易に短時間で製造することができるミラー付光導波路の製造方法及びミラー付導波路を提供する。
【解決手段】基板11上にコア13を形成し、そのコア13の端面に、傾斜させた反射面15をコアの作製と共に形成するミラー付光導波路の製造方法において、コア材21となるネガ型の紫外線硬化樹脂の光透過率が95%以上となるように添加される光開始剤を調整し、そのコア材21を基板11上に塗布した後、コア材21上方にコアパターンが形成されたマスク22を設置し、そのマスク22を介して紫外線を上記コア材21に照射し、未照射部分を除去して、コア13とそのコア端面に反射面15とを形成した。 (もっと読む)


【課題】ケイ素含有ポリマーおよびそのポリマーから形成される光導波路の提供。
【解決手段】式Si(ORの第一反応物質および式RO(RSi−O)ORの第二反応物を含むケイ素含有反応物質の縮合生成物を含むポリマーが提供される。また、光導波路の形成において使用するのに好適な当該ポリマーを含む組成物、並びに当該ポリマーから形成される光導波路も提供される。これらのポリマー、組成物および光導波路は、電気的および光学的機能性を有するプリント配線基板の形成における特定の用途を有している。 (もっと読む)


【課題】下部電極と上部電極との距離を可及的に小さく抑え、コア層に印加する電圧を効率良く十分に確保して消費電圧を低減させると共に、光導波路の光損失量を小さく抑える信頼性の高い光学素子を提供する。
【解決手段】基板1と、基板1上に形成された電気光学材料からなる光導波路2とを備えて光偏向素子が構成されている。光導波路2は、下部クラッド層3と上部クラッド層5との間に光路が形成されるコア層4が挟持されて構成されている。下部及び上部クラッド層3,5は、導電性酸化物を材料として形成されており、コア層4に電圧を印加するための下部及び上部電極を兼ねている。 (もっと読む)


【課題】電子回路部品や受発光素子の基板への配設において電気的接続及び光導波路との光接続をも簡便に効率的に行う光電気集積配線基板を提供する。
【解決手段】第1の面と第2の面とを有する基板と、第1の電気配線層と、第1の樹脂絶縁層と、第2の電気配線層と、第2の樹脂絶縁層とを有し、第1及び第2の樹脂絶縁層の少なくとも一方が透明樹脂により形成された光配線層を具備し、第1と第2の樹脂絶縁層の厚さが等しく、基板を垂直方向に貫通する貫通孔と、貫通孔の開口位置にて光の進行方向を基板の垂直方向と面内方向との間で相互に変換可能な光路変換ミラーとを有する。 (もっと読む)


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