【課題】リング導波路の曲率半径を小さくしても伝播損失を抑制できる導波路型光デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】導波路型光デバイス３０は、基板４０と、基板４０上に形成されたリング導波路３２とを有する。リング導波路３２はリング状のコア４２と、クラッド４３とにより形成されている。リング状のコア４２の内周面には、リング状のコア４２よりも薄く且つリング状のコア４２の内周面に沿って所定の幅で形成されたスラブ層３３が接続されており、リング状のコア４２の外周にはスラブ層が設けられていない。 （もっと読む）

【課題】 半導体光集積素子及びその製造方法に関し、光導波路の伝播損失を増大させることなく、ＰＤの暗電流を１０ｎＡ以下まで低減する。
【解決手段】 ｎ型クラッド層側から順に少なくとも光吸収層及びＺｎドープｐ型クラッド層が積層されたフォトダイオード領域の傾斜側面に対して[０１１]方向にバットジョイント結合した光導波路領域における光導波路層に（１００）面方位での飽和濃度以下の濃度のＦｅをドープし、上側クラッド層に（１００）面方位での飽和濃度以上の濃度のＦｅをドープする。 （もっと読む）

【課題】ＡｌＧａＮ系の窒化物半導体を用い、均質な組成で十分な光閉じ込めができるクラッド層による光導波路が構成できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に形成された六方晶系の窒化ホウ素からなるクラッド層としての第１窒化ホウ素層１０２を備え、第１窒化ホウ素層１０２の上に接して形成されたＡｌ_xＧａ_1-xＮ（０．１≦ｘ≦１）からなる第１半導体層１０３を備え、第１半導体層１０３の上には、Ａｌ_xＧａ_1-xＮ（０≦ｘ≦１）からなるコア層１０４が形成されている。また、コア層１０４の上には、Ａｌ_xＧａ_1-xＮ（０．１≦ｘ≦１）からなる第２半導体層１０５が形成され、第２半導体層１０５の上には、六方晶系の窒化ホウ素からなるクラッド層としての第２窒化ホウ素層１０６が接して形成されている。 （もっと読む）

【課題】広波長帯域にわたり消光比が高い復調用遅延回路および光受信器を提供する。
【解決手段】入力側カプラ６，１０と出力側カプラ７，１１とを接続する第一のアーム導波路８，９と第一のアーム導波路よりも光路長が短い第二のアーム導波路１２，１３とを有し、入力光信号を遅延させて干渉させる光干渉計を備え、光伝搬方向が入力側カプラと出力側カプラとで略１８０度異なる。入力側および出力側カプラはそれぞれ第一および第二の導波路を有し、第一の導波路は第二の導波路よりも光路長が長く、第一の導波路と第二の導波路とは長手方向２箇所において第一の方向性結合器と第二の方向性結合器とが形成されており、略５０％の結合率の波長無依存カプラとして構成され、入力側カプラの長手方向に対して入力側カプラの第一の導波路が配置されている側と、出力側カプラの長手方向に対して出力側カプラの第一の導波路が配置されている側とが同一である。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーからの光信号を受光素子で受ける構成、発光素子からの光信号を光ファイバーで受ける構成のいずれであっても、光結合効率が向上する光モジュールを提供する。
【解決手段】第１溝１ａと、第１溝１ａよりも深い略台形状の第２溝１ｂとが表面に連なって形成された基板１と、この基板１の第１溝１ａ内に設けられた内部導波路１６とを備えている。第１溝１ａの先端部に形成された光路変換用のミラー部１５と、このミラー部１５と対向するように基板１の表面に実装され、ミラー部１５を介して内部導波路１６のコア部１７に光信号を出射する発光素子１２ａとを備えている。第２溝１ｂ内にファイバークラッド部２２が設置され、内部導波路１６のコア部１７と光学的に接続されるファイバーコア部２１を有する光ファイバー２を備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ光学特性が安定したアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供すること。
【解決手段】第１入出力導波路に接続された第１スラブ導波路と、第１スラブ導波路に接続され、互いに長さが異なり並列に配列された複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路と、アレイ導波路に接続された第２スラブ導波路と、第２スラブ導波路に接続された複数の第２入出力導波路と、を有するアレイ導波路回折格子チップと、その下面に接合された下地板とが、第１スラブ導波路または第２スラブ導波路を横断する切断面において２つに切断されて形成された固定片および可動片と、固定片が接合されるとともに可動片が当接される基準板と、固定片と可動片との間に掛け渡されるように設けられ、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存シフトを補償する補償部材と、可動片が基準板上をスライドできるように基準板と可動片とを挟持するクリップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】位相調整用の液状樹脂を滴下する特定区間の光導波路の近傍に位相調整用の樹脂が漏洩し難い構造を導入し、光導波路の位相調整を確実に実施する手段を備えた光導波路素子を提供すること。
【解決手段】伝搬する光のフィールドが光導波路の外に染み出すように光導波路コア及びクラッドの幅が設定されているメサ型またはリッジ型の光導波路を備えた光導波路素子において、前記光導波路コアに沿って形成した窪みのうち、屈折率を変化のための樹脂を充填する特定区間の窪みの周囲を囲むように光導波路の高さよりも高く表面が水平で平滑な漏洩防止構造体を形成することを特徴とする光導波路素子である。好ましくは、前記漏洩防止構造体の表面に、該漏洩防止構造体の縁部に沿った周囲を一周囲った溝を設ける。 （もっと読む）

【課題】光半導体装置とその製造方法において、光半導体装置の信頼性を高めること。
【解決手段】半導体基板１を途中の深さまでエッチングすることにより、断面形状が凸状のコア４ａを半導体基板１に形成する工程と、コア４ａの一方の側面４ｘと他方の側面４ｙの各々に酸化防止膜２２を形成する工程と、酸化防止膜２２が形成された状態で、コア４ａの両脇の半導体基板１の表面を熱酸化する工程と、コア４ａの一方の側面４ｘの横の半導体基板１に第１の不純物領域を形成する工程と、コア４ａの他方の側面４ｙの横の半導体基板１に第２の不純物領域を形成する工程とを有する光半導体装置の製造方法による。 （もっと読む）

【課題】 光半導体素子及びその製造方法に関し、イオン注入工程を削減して、簡易な製造工程で光半導体素子を製造する。
【解決手段】 各スラブ導波路部とそれに接する隆起領域とに注入イオン分布のピークが、前記スラブ導波路部の厚さよりも深い位置となり且つ前記隆起領域の厚さよりも浅い位置になる条件で各導電型の不純物をイオン注入する。 （もっと読む）

【課題】より低消費電力化を実現した熱光学位相シフタ、およびこれを用いた可変光減衰器、１×Ｍ光スイッチ、可変波長フィルタを提供すること。
【解決手段】請求項１に記載された発明は、光信号を導波するための光導波路１３と、該光導波路１３の一部を加熱することで前記光信号に位相変化を与えるヒータ１５とを備え、前記ヒータ１５の長手方向と前記光導波路１３の加熱される部分１３１、１３２の長手方向とが同じ向きになるように重なって設けられており、前記光導波路の加熱される部分が、複数本の互いに平行な光導波路を光学的に結合して往復する１本の導波路となるようにした折り返し構造に形成されることで、前記加熱される部分の光導波路が前記ヒータと重なる位置に高密度に設けられていることを特徴とする熱光学位相シフタである。可変光減衰器、１×Ｍ光スイッチ、可変波長フィルタはこの熱光学位相シフタを用いて構成できる。 （もっと読む）

【課題】可変光バッファ回路の回路全体のサイズを小さくし、簡単な製造工程と製造設備を使用でき、経路間の損失のばらつきも解消する。
【解決手段】可変光バッファ回路は、半導体基板上に形成した光スイッチ回路と合波回路とを接続して構成され、光導波路で形成された遅延線を含め一体形成される。合波回路は光導波路で形成された遅延線と光結合器で構成される。同一遅延線を用いる場合、光結合器と、その一方の入力端に接続された遅延線とからなる組が、遅延線および光結合器が交互に縦続してＮ個の経路を構成するよう接続される。光結合器の各々の結合率は、各経路の各々に対し、光結合器の結合率に基づいた損失を除いた損失を最小としたときの最小損失値の測定値に基づき設定される。 （もっと読む）

【課題】テーパ構造のＣ型開口を有する９０°に曲がっている金属導波路、導波路の製造方法、導波路を利用した光伝送モジュール及び導波路を採用したＨＡＭＲ（熱補助磁気記録）ヘッドを提供する。
【解決手段】光を伝送する開口１１３が内部に形成された導電性金属からなる金属導波路１１１において、開口は、入力端１１１ａと出力端１１１ｂとの間で光の進行方向を変えるように曲がっている構造を有し、曲がっている部分と出力端との間で出力端側に幅が次第に狭くなるテーパ構造を有し、開口を形成する金属の内面にリッジ部１１４が突出して形成されることによって、開口がＣ型の形状を有する金属導波路である。 （もっと読む）

【課題】より高い信頼性を有するアサーマルＡＷＧモジュールを提供する。
【解決手段】アサーマルＡＷＧモジュール１０は、ＡＷＧ１１の導波路の一部を切断して分離し、分離された２つのチップを補償板３３により連結したアサーマルＡＷＧチップ１２と、開口部１４を有しアサーマルＡＷＧチップ１２を収容するパッケージ１３と、開口部１４を塞ぐ蓋１５とを備える。ＡＷＧ１１の導波路の切断部と補償板３３を覆い、ＡＷＧ１１の導波路と屈折率が整合した第１のマッチングゲル５１と、マッチングゲル５１を覆う第２のマッチングゲル５２とを備える。針入度が高くかつ密着性に優れた第１のマッチングゲル５１により導波路の切断部と補償板３３を覆っているので、補償板３３の柔軟な動きが可能になる。透湿度が低い第２のマッチングゲル５２により第１のマッチングゲル５１を覆っているので、高湿下での信頼性を確保できる。 （もっと読む）

【課題】光導波路干渉計回路の位相を、高精度かつ恒久的に調整する。
【解決手段】上側・下側アーム導波路３１，３２に沿い形成した溝４１，４２，４３，４４のうち、埋戻し用樹脂５１で埋めていない特定区間を、位相調整溝４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａとする。位相調整をするため、例えば下側アーム３２に沿う位相調整溝４３ａ，４４ａに位相調整用樹脂５２を充填することで光導波路干渉計回路１０の位相調整をすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体からのＶ族原子の脱離を抑制しつつ同一面内でエッチング深さが異なる形状を簡易に加工することができる半導体素子の作製方法を提供する。
【解決手段】酸素プラズマの所定の濃度に対して、開口部幅の異なる領域毎に、半導体表面にて酸素プラズマによりポリマーの生成を抑制しつつ半導体表面のエッチングが進行する状態のみが発現するように前記開口部幅１９０５が設定された開口部１９０１を有するマスク１９００を半導体表面に形成する第１の工程と、マスク１９００が形成された前記半導体表面に前記炭化水素系プラズマおよび前記酸素プラズマを照射し、前記酸素プラズマを前記マスクの開口部幅方向にて前記開口部に拡散させることによりポリマーの生成を抑制するとともにエッチングに寄与する炭化水素系プラズマの濃度を制御する第２の工程を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストを用いた加工技術により温度補償材料を挿入する溝とリッジの構造を容易に精度良く加工でき、かつ溝での回折損失や位相誤差の発生を抑えることができる波長合分波回路を提供する。
【解決手段】入出力導波路(101)、スラブ導波路(102)、アレイ導波路(103)、スラブ導波路(104)及び入出力導波路(105)を備え、スラブ導波路の少なくとも一方に、光波の進行方向に交差して導波路を分断する複数の溝(106)が配置され、溝には、上記導波路の実効屈折率の温度係数とは異なる屈折率温度係数を有する材料が温度補償材料として充填された波長合分波回路であって、複数の溝の光波の及ばない領域で、溝と溝の間のリッジ構造の幅が拡大することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光干渉回路においては、光路長差に起因する偏波依存性を、干渉回路の中央部に半波長板を挿入して解消しようとしていた。しかし、光干渉回路内で使用される方向性結合器において発生する偏波変換光によって、通常光に対する干渉条件と異なる干渉が生じる。偏波変換光に起因して、干渉回路の透過スペクトル特性においてＰＤｆなどの偏波依存性を生じる問題があった。
【解決手段】入射光の全偏波状態に対して９０°または−９０°回転させる旋光子を光干渉回路に挿入することで、偏波変換光の干渉条件と、通常光の干渉条件を同一とする。また、１枚の半波長板と複屈折性を有する導波路とを組み合わせて旋光子を実現する。 （もっと読む）

【課題】導波路に光を結合させる際の光の損失を防止する。
【解決手段】基板１２と、基板の上面１２ａ上に形成されたクラッド層１４と、クラッド層の上面１４ａに形成された、光入力用のグレーティング１６ｃを有する光導波路１６と、光導波路を覆って、クラッド層の上面上に形成されたオーバークラッド層１８と、オーバークラッド層の上面１８ａ上のグレーティングに対応する部分に形成された反射膜２０とを備えていて、グレーティングに対応する部分の、クラッド層の下面１４ｂ上に反射防止膜２２が形成されており、基板に反射防止膜を露出させる孔部２４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 非透過波長帯域の迷光が多モード光干渉導波路の出力ポートから射出されることを抑制して、透過波長帯域の信号光に対する非透過波長帯域の迷光によるクロストークを改善することができる光フィルタを提供するものである。
【解決手段】 光フィルタ１００は、コア層１２を有する多モード光干渉導波路５と、多モード光干渉導波路５の導波方向に対して垂直なコア層１２における信号光が結像する結像点８ａを含む仮想面８のうち当該結像点８ａを除く非結像領域８ｂに、コア層１２の屈折率と異なる屈折率の媒質を介在させてなる迷光除去部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比が非常に大きい部分を有する必要がなく、入射光に比べて伝播光の径を小さくすることができ、且つ入射部に対する入射光の位置ずれの許容誤差を大きくすることができるようにした光導波路を実現する。
【解決手段】光導波路のコア３２は、伝播部３２１，３２２，３２３と、これらを結合する結合部３２４を有している。伝播部３２１は、入射光の一部が入射される入射端面３２１ａと、第１の伝播光を出射する出射部３２１ｂを有している。伝播部３２２は、入射光の他の一部が入射される入射端面３２２ａと、第２の伝播光を出射する出射部３２２ｂを有している。結合部３２４内では、第１の伝播光に起因した第１の光波と、第２の伝播光に起因した第２の光波とが発生すると共に、第１および第２の光波が干渉することによって第３の伝播光が発生する。第３の伝播部３２３は、第３の伝播光を伝播させる。 （もっと読む）