【課題】信号対雑音比（ＳＮＲ）が相対的に高いビート・ノートを発生させる構成を提供する。
【解決手段】信号対雑音比（ＳＮＲ）が相対的に高いビート・ノートを発生させる本発明は、後処理された高非線形光ファイバ（ＨＮＬＦ）のセクションに結合されたパルス・レーザ源を利用して、スペクトル・パワーが増強された１つまたは複数の領域を有する周波数コムを発生させる。第２のレーザ信号源は、周波数コムとオーバーラップされ、第２の源と連続スペクトル・コムとの間で異なる周波数において１つまたは複数の「ビート・ノート」を発生させる。当該後処理によってスペクトル増強領域がコムに沿って形成され、第２のレーザ信号との相互作用により「高パワー」光ビート・ノートを発生させる。第２のレーザ信号を（コム「外部」の信号からビート・ノートを形成する）外部の源からとすることができ、または（コム「内部」の信号からビート・ノートを形成する）発生スーパーコンティニュームの周波数逓倍バージョンとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】複数の箇所から発生するテラヘルツ波の等位相面を略重ね合わせて取り出して、比較的高強度なテラヘルツ波を発生させることができるテラヘルツ波発生素子などを提供する。
【解決手段】電気光学結晶を含む第１及び第２の光導波路（１００）、（２００）で夫々発生するテラヘルツ波を用いてテラヘルツ波が発生される。励起光（１０）により第２のテラヘルツ波（９）が発生する第１の光導波路の発生位置において、励起光により第２の光導波路で発生した第１のテラヘルツ波（８）が発生位置に到達する時間と、発生位置で第２のテラヘルツ波（９）が発生する時間が略重ねられる。これにより、第１のテラヘルツ波の第１の等位相面（１３）と第２のテラヘルツ波の第２の等位相面（１４）が略重ねられる。 （もっと読む）

【課題】導波路を伝播する光の非線形光学効果で円錐状に放射されるテラヘルツ波を効率良く空間に取り出すことができる光周波数変換素子などを提供する。
【解決手段】光周波数変換素子１００は、導波路１０３と結合部１０４を備える。導波路１０３は、光の波長域における屈折率がｎ_1,光の非線形光学結晶で構成されたコア１０１と、光の波長域における屈折率がｎ_1,光より小さい材料で構成されコア１０１と接して配置されたクラッド１０２を含む。結合部１０４は、テラヘルツ波の波長域における屈折率がｎ_1,光より大きい材料で構成され、クラッド１０２と接して配置され、導波路１０３を伝播する光の非線形光学効果により放射されるテラヘルツ波を空間に取り出す。結合部１０４はクラッド１０２を被覆している。或いは、クラッド１０２の厚さが所定の範囲に設定される。 （もっと読む）

【課題】 レーザによる自己加熱を補償し、高強度での変換効率の低下を改善する。
【解決手段】 波長変換用非線形結晶１０における波長変換による平均的な温度上昇を検出する温度検出器２２による検出出力に基づいて、第１のペルチェ素子２１を駆動して、上記波長変換用非線形結晶１０の結晶全体の温度を平均した平均温度を制御し、上記波長変換用非線形結晶１０の出射端面１０Ｂから出射された２次高調波光（Ｌ_２）の光量に応じた大きさの駆動電流を第２のペルチェ素子３１に流すことにより、上記波長変換用非線形結晶１０内の温度勾配を相殺する熱流（ＨＣ２）を上記第２のペルチェ素子３１により生じさせて上記温度勾配を制御して、上記波長変換用非線形結晶１０の位相整合をとり、出射される２次高調波光（Ｌ_２）の光量が最大となる温度に上記波長変換用非線形結晶１０の平均温度を上記第１のペルチェ素子２１により制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長変換部の温度を正確に検出することができないことにより、光源装置の出力が目標値に達しなくなってしまう。
そこで本発明は、光源装置の出力を目標値に設定することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、基本波を出力する基本波レーザ光源と、前記基本波を入力して、その高調波を出力する波長変換部と、この波長変換部を加熱冷却する温度設定部と、前記波長変換部の温度が設定温度となるように温度設定部を制御する温度制御部と、前記波長変換部からの高調波の出力の目標値を設定する目標光量設定部と、前記波長変換部からの高調波の出力が目標値となるように前記基本波レーザ光源を制御するレーザ光源制御部と、前記波長変換部からの高調波の出力が目標値に到達するまでの、前記レーザ光源制御部による応答信号に基づいて、前記温度制御部の設定温度を補正する温度補正部を備えた光源装置とした。 （もっと読む）

【課題】少ない工数で製造可能で、しかもコンパクトな空間光変調器および該空間光変調器を装備した露光装置を提供する。
【解決手段】複数の第１電極３３３が配置された電極基板３３２の下方主面（他方主面）に対向して電気回路基板３３６が配置されるとともに、当該電気回路基板３３６に対し、複数の第１電極３３３の配線領域Ｒａ上の端部に一対一で対応して複数の配線３３７が形成されて誘導結合により複数の第１電極３３３とそれぞれ電気的に接続される。そして、変調部から各配線３３７を介して対応する第１電極３３３に付与する電圧が制御され、これによって複数の第１電極３３３と第２電極３３５との間で発生する電界がそれぞれ制御される。 （もっと読む）

【課題】１００μ秒以上にレーザパルスの間隔を変化させても、その間隔に影響されることなく安定したレーザパルスを出力できるファイバレーザ光源を提供する。
【解決手段】レーザ活性物質を含むファイバとその両端にファイバグレーティングを設けたレーザ共振器と、前記共振器の一端に励起光を入射する励起用レーザ光源と、連続パルス光を出力する際に、前記励起用レーザ光源に前記レーザ共振器がパルス発光できる第１の電流を与えた後に、前記第１の電流より小さく前記レーザ共振器の閾値電流より大きい第２の電流を与え、前記第２の電流を停止した後に休止期間を設けて次のパルス発光を行うための電流を前記励起用レーザ光源に与える駆動電流供給手段と、から成るファイバレーザレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】幅広い出力範囲において迅速に紫外光を出力することができ、かつ、パワーレベルによらず高効率で紫外レーザ光を出力可能な紫外レーザ装置を提供する。
【解決手段】紫外レーザ装置ＬＳは、基本波レーザ光Ｌａを出力するレーザ光出力部１と、基本波レーザ光を紫外レーザ光Ｌｖに波長変換して出力する波長変換部３と、各部の作動を制御する制御部８とを備え、制御部８が基本波レーザ光の出力を制御することにより紫外レーザ光の出力を制御可能に構成される。制御部８には、基本波レーザ光の出力に応じた波長変換光学素子の位相整合条件を予め設定記憶する位相整合条件記憶回路を有し、制御部８が基本波レーザ光の出力に応じた位相整合条件を読み出して波長変換光学素子３５，３６の角度位置を調整し、波長変換光学素子が紫外レーザ光の出力パワーに合致した位相整合状態で動作するように構成する。 （もっと読む）

【課題】透過率を向上できる波長変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】波長変換素子１０ｄの製造方法は、以下の工程を備えている。まず、第１の結晶１１を成長させる。次に第１の結晶１１の表面上に、第１の結晶１１と屈折率の差が実質的にないアモルファス結晶１６である第２の結晶を成長させる。そして、光導波路１３に沿って第１および第２の結晶１１、１６の分極方向が周期的に反転する分極反転構造を形成し、分極反転構造は入射光に対して擬似位相整合条件を満たすように、第１および第２の結晶１１、１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】高出力の波長変換レーザ光源において高調波のビーム径を一定に保つレーザ光源を提供する。
【解決手段】基本波を生成するレーザ発振器と、前記基本波を高調波に変換する波長変換素子と、前記波長変換素子の温度を一定値に保つ素子温度保持部と、前記高調波のビーム径を検出するビーム径検出部と、前記素子温度保持部の温度を前記ビーム径検出部による検出値に応じて制御する温度制御部と、前記高調波のビーム径を設定するビーム径設定部をさらに備え、前記ビーム径検出部での検出値と前記ビーム径設定部で設定されたビーム径との差分値が最小になるように前記素子温度保持部の温度を制御する温度制御部とからなるレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】ＡＲコートを施すことができない波長変換光学素子からの戻り光による影響を抑制し、長期間安定的に動作可能な波長変換光学系を提供する。
【解決手段】複数の波長変換光学素子３１〜３６を有し、赤外〜可視領域のレーザ光を複数の波長変換光学素子により紫外領域のレーザ光に波長変換して出射する波長変換光学系３０において、出射されるレーザ光が紫外領域である波長変換光学素子３３，３５，３６の少なくともいずれかは、入射面及び出射面がレーザ光の光軸に対してｎ軸回りに所定の微小角度Δφ傾斜して配設される。 （もっと読む）

【課題】加工径を一定の大きさにできるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】基本波レーザ光２を高調波レーザ光に変換し変換ビーム５として出力する波長変換素子４と、変換ビーム５を加工ビーム１０として集光する集光レンズ９と、波長変換素子４の初期設定温度と加工ビーム１０の設定ビーム径とが格納されるメモリ１８と、変換ビーム５の一部を光量情報１２として検出する光量検出手段１１と、変換ビーム５の照射時間を測定し照射時間情報１５を測定する照射時間測定手段１３と、光量情報１２と照射時間情報１５とから加工ビーム１０の予測ビーム径を計算するビーム径予測手段１９と、ビーム径予測手段１９によって算出した予測ビーム径とメモリ１８に格納された設定ビーム径との差分に応じたビーム径調整温度を計算する。このビーム径調整温度になるように波長変換素子４の温度調整を行う温度調整手段４０とを有するレーザ加工装置とした。 （もっと読む）

【課題】今までに利用可能な構造よりも長い寿命、高い安定性、高い損傷閾値を与えるように特に処理された材料を使用して２１３ｎｍ又は２１３ｎｍ未満の波長の光エネルギを効果的且つ効率的に生成する光源を提供することが望ましい。
【解決手段】光エネルギを生成するための方法が提供される。方法は、約９９８ｎｍの波長の基本周波数レーザエネルギを生成する段階と、基本周波数レーザエネルギの一部を第２高調波周波数レーザエネルギへ変換する段階と、第２高調波周波数レーザエネルギを第４高調波周波数レーザエネルギへ更に変換する段階と、第４高調波周波数レーザエネルギを基本周波数レーザエネルギの一部と混合させて、和周波数のレーザエネルギを生成する段階とを含む光エネルギを生成するための方法を提供する。混合は、ホウ酸セシウムリチウム（ＣＬＢＯ）の結晶における非臨界位相整合によって行なわれる。 （もっと読む）

【課題】波長変換素子を構成する非線形光学結晶の屈折率分散特性を与える評価パラメータをセルマイヤーの分散公式に頼ることなく決定する。
【解決手段】SHGスペクトルに基づいて非線形光学結晶のQPM波長(λ_Q)に対する屈折率(n_Q)とSHG波長に対する屈折率(N_Q)との差として与えられる評価パラメータαを決定するステップと、SHGスペクトルに基づいて非線形光学結晶のSHG波長帯域の屈折率の線形分散値(∂N_Q/∂λ)の1/2の値とQPM波長帯域の屈折率の線形分散値(∂n_Q/∂λ)との差として与えられる評価パラメータβを決定するステップと、DFGスペクトルに基づいて非線形光学結晶の位相整合条件を満足する波長帯域の屈折率の2次分散値(∂²n_Q/∂λ²)の1/2の値として与えられる評価パラメータγを決定するステップとを含む屈折率分散の評価方法。 （もっと読む）

【課題】波長変換部の構成簡明化と最終系列の二つの波長変換光学素子におけるレーザ光の重複度向上とを両立可能とする波長変換光学系を提供する。
【解決手段】波長変換光学系３０は、第１部材３１から出射される第１レーザ光ω及び第２レーザ光２ωと、第２部材３４から出射される第３レーザ光５ωとが入射して、第２レーザ光と第３レーザ光との和周波発生により第４レーザ光７ωを発生させる第１波長変換光学素子３５と、第１波長変換光学素子３５から出射した第１レーザ光ω及び第４レーザ光７ωが入射して和周波発生により第５レーザ光８ωを発生させる第２波長変換光学素子３６と、第１部材３１と第１波長変換光学素子３５との間に設けられ、略同軸で入射する第１，第２レーザ光の出射光軸を相対変位させる光軸変位装置５０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】光励起により効率良く比較的高強度のテラヘルツ波を発生したり、パルス幅の比較的狭いテラヘルツ波を発生したりすることができる発生素子などを提供する。
【解決手段】テラヘルツ波発生素子は、電気光学結晶のコア部４を含む光導波路と、導波路を光が伝搬することで導波路から発生するテラヘルツ波を空間に取り出す光結合部材７と、テラヘルツ波を反射する反射層６または反射面を有する。反射層６や反射面は、コア部４を挟んで光結合部材７の設けられた側とは反対側の位置に設けられる。反射面は、光導波路を伝搬する光の振幅が充分低下するだけの距離をコア部４から隔てた位置に設けられる。光結合部材７の出射面に対するテラヘルツ波の入射角がブリュースター条件を満たす様に設定されてもよい。同じ構成で逆過程によりテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出素子として用いられる。 （もっと読む）

【課題】簡明かつ低廉な構成で、第２高調波発生により波長２３５ｎｍ以下の紫外光を発生可能な波長変換光学素子を提供する。
【解決手段】一般式がＭＢe₂ＢＯ₃Ｆ₂で表され、当該結晶のｃ軸に直交して相互に平行に延びる上下面及び側面を有する板状をなし、側面はｃ軸と各々所定角度で交わる第１側面Ｓ１と第２側面Ｓ２とを有して構成される。第２高調波発生（ＳＨＧ）により紫外光を発生させる際の位相整合条件を満たす光の伝搬方向がｃ軸に対してθmである場合に、第１側面Ｓ１は、基本波が結晶内に入射可能であるとともに、入射した基本波及びＳＨＧにより発生した第２高調波がｃ軸に対してθmの角度で結晶内を伝播する傾斜角度であり、第２側面Ｓ２は、第１側面Ｓ１から入射して反射した基本波及び第２高調波が出射し得る傾斜角度であるように構成される。 （もっと読む）

【課題】複数の波長のレーザ光をそれぞれにパルス幅を延ばした上で出射させることができるようにする。
【解決手段】基本波と共に第２高調波，第３高調波を含むレーザ光を、ダイクロイックミラー３１，３２によって波長毎のレーザ光Ｌ１〜Ｌ３に分離する。それぞれを、偏光ビームスプリッタ５１（Ｌ１）〜５１（Ｌ３）によってＰ偏光成分Ｌ１Ｐ〜Ｌ３ＰとＳ偏光成分Ｌ１Ｓ〜Ｌ３Ｓとに分離する。Ｓ偏光成分Ｌ１Ｓ〜Ｌ３Ｓを、一対の全反射ミラー４２（Ｌ１）〜４２（Ｌ３），４３（Ｌ１）〜４３（Ｌ３）によって、Ｐ偏光成分Ｌ１Ｐ〜Ｌ３Ｐに直交する方向に屈折させる。そして、Ｐ偏光成分Ｌ１Ｐ〜Ｌ３ＰとＳ偏光成分Ｌ１Ｓ〜Ｌ３Ｓとを、偏光ビームスプリッタ５２（Ｌ１）〜５２（Ｌ３）で波長毎に同一光軸上に合成する。更に、偏光成分を合成した波長毎のレーザ光Ｌ１〜Ｌ３を、ダイクロイックミラー３３，３４によって同一光軸上に合成して出力する。 （もっと読む）

【課題】高速な波長掃引ができ、かつ安定なレーザ発振を得ることができる波長可変レーザ光源を提供する。
【解決手段】波長可変レーザ光源の一実施態様は、レーザ発振する波長に対し利得を有するレーザ媒質と、前記レーザ媒質の出力側の光軸上に設けられた可変焦点レンズ手段と、前記可変焦点レンズ手段の出力側の光軸上に設けられた第１のミラーと、前記第１のミラーと対向した位置に設けられ、前記レーザ媒質を含む共振器を構成する第２のミラーとを備えた。前記可変焦点レンズ手段は、前記電気光学材料を透過した光の焦点距離を可変することができ、前記焦点距離が波長依存性を有することにより、前記レーザ媒質を含む共振器においてレーザ発振する光の波長を選択する。 （もっと読む）

【課題】簡明な構成で、狭帯域のレーザ光を出力可能なパルス光の伝送方法、及びレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置１は、第１のパルス光Ｐ₁を出射する第１レーザ光源１１と、第２パルス光Ｐ₂を出射する第２レーザ光源１２と、これらのパルス光Ｐ₁，Ｐ₂を伝送して出射する光ファイバ２２とを備えて構成される。第２のパルス光Ｐ₂は、光ファイバ２２を伝播する過程で第１のパルス光Ｐ₁と相互位相変調を生じる光であるとともに、第１のパルス光Ｐ₁が光ファイバ２２を伝播する過程で生じる自己位相変調に基づく位相の変調を、第２のパルス光Ｐ₂が光ファイバを伝播する過程で生じる相互位相変調に基づく位相変調により補償して、光ファイバ２２の出力端２２oにおいて第１のパルス光Ｐ₁の位相が略一定となるように構成される。 （もっと読む）