【課題】簡便で短時間で描画することができ、且つ、微細で滑らかな３次元形状の反射防止構造体製造方法、反射防止構造体及び光学部材を提供すること。
【解決手段】基板に電子線レジストを塗布する工程と、電子線露光を用いて電子線レジストに第１の方向に沿って互いに平行な複数の第１の線状露光部を露光する工程と、電子線露光を用いて電子線レジストに第１の方向と交差する第２の方向に沿って互いに平行な複数の第２の線状露光部を形成する工程と、線状露光部を現像する工程と、を備えたことを特徴とする反射防止構造体製造方法。 （もっと読む）

【課題】低反射性、塗布面状、塗膜強度、および大量生産性の少なくとも一つに優れる、光学フィルムを再現性良く提供すること。加えて、該光学フィルムを具備した偏光板および画像表示装置を提供すること。
【解決手段】透明支持体上に少なくとも１層の低屈折率層を有し、該低屈折率層が（Ａ）フッ素原子を含有しない１分子内に２個以上のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物、（Ｂ）低屈折率無機微粒子、および（Ｃ）ポリロタキサン化合物を含有する組成物を硬化してなることを特徴とする光学フィルム。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波長域の広い周波数領域に対応し、高い透過率特性を備えた反射防止構造、その反射防止構造を備えた光学素子および反射防止構造の加工方法を提供する。
【解決手段】光学基材の表面に、底辺から上面までの高さＨ、上面の正方形の辺の長さＴ、底面の正方形の辺の長さＢの台形状の四角錐台より成り、アスペクト比（Ｈ／Ｐ）が１．５以上の多数の微細構造の突起１０Ｂが、使用波長以下のピッチＰでアレイ状に配列して、テラヘルツ波長域に好適に用いることができる反射防止構造が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比のナノ構造を持つ金型に対して、ナノ構造物の深部まで樹脂の充填を可能にし、さらに、離型剤等を使用しないで、高生産性を維持しアスペクト比１以上の反射防止ナノ構造物の成型品を製造する。
【解決手段】固定側コア４と可動側コア５の表面を、成形されるべき樹脂の軟化温度より高い温度に加熱してから前記固定側コア４と可動側コア５を型締めし、型締め後に、固定側コア４と可動側コア５内に樹脂を充填し、充填後に、固定側コア４と可動側コア５を樹脂の軟化温度より低い温度まで冷却しながら充填された樹脂を保圧し、低い温度で樹脂成型品を冷却保持し、その後、固定側コア４と可動側コア５を型開きして、ナノメータサイズの構造物を表面に有する成型品を射出成形する。 （もっと読む）

【課題】高い反射防止抑制効果を有する反射防止構造体を提供する。
【解決手段】拡散板１は、周期Ｐで規則的に配列された複数の微小凸部２０，２０，…を備えている。微小凸部２０，２０，…のそれぞれは、基端側から先端側に向かって先細状に形成されていると共に、隣り合う他の微小凸部２０と互いの側周面２１，２１が交わった状態で隣接している。複数の微小凸部２０，２０，…で囲まれた凹部２４において、複数の微小凸部２０，２０，…は、隣り合う微小凸部２０，２０，…の互いの側周面２１，２１，…で形成される稜線２２，２２，…が全て１点に集まるように近接して配置されている。 （もっと読む）

【課題】反射防止板、及びその反射防止構造を製造する方法に関する。反射防止構造は、大気圧プラズマによって形成され、反射防止板の製造に必要な材料、時間及び費用を大幅に低減させる。
【解決手段】被処理物体を反応領域に提供する。次に、プラズマ源を反応領域に提供する。次いで、プラズマ源を解離して大気圧のプラズマを形成する。次に、被処理物体の表面をプラズマによって処理し、被処理物体の表面上に複数の微小突起を形成する。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸の周期構造を成形するに際して、金型からの転写が良好で、製造容易な反射特性に優れた反射防止光学部材の提供と該反射防止光学部材を用いた光モジュールを提供する。
【解決手段】成形金型を用いて、透光性基材の表面２０にサブ波長の周期の微細な凹凸構造を成形して反射防止面とされる光学部材で、前記の凹凸構造は、サブ波長の周期で密に設けられた多数の微細な錐台形状の凹部２１により形成される。錐台形状の凹部２１は、ピッチをP、底面の幅をＷ、深さをＨ、入射光波長をλとしたとき、「０.３５＜（Ｗ／Ｐ）＜０.７」および「０.２５＜（Ｈ／λ）＜０.４」とする。 （もっと読む）

【課題】凹凸構造とこの上に重畳された微小な凸部を有する微細構造体を良好に製造し得る製造技術を提供すること。
【解決手段】(a)一面側に複数の凸部を有する基板上に当該複数の凸部を覆う感光膜を形成し、(b)感光膜上に液体を配置し、(c)液体を挟んで、透明な平行平板を基板と対向配置し、(d)レーザービームを用いて干渉光を発生させ、当該干渉光を平行平板及び液体を介して感光膜に照射し、(e)液体及び平行平板を排した後に、感光膜を現像し、(f)感光膜を現像して得られた感光膜パターンをマスクとして用いて基板をエッチングし、(g)感光膜パターンを除去すること、を含み、上記(b)における液体の屈折率が、１より大きく感光膜の屈折率と同等かそれより低い値である、微細構造体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】大面積あるいは特殊な形状のスタンパの製造にも好適に用いられるスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面に微細な凹凸構造を有するスタンパの製造方法であって、（ａ）表面に、少なくともアルミニウムを９５質量％以上含むアルミニウム層を備える基材を用意する工程と、（ｂ）アルミニウム層を部分的に陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、（ｃ）ポーラスアルミナ層をアルミナのエッチャントに接触させることによって、ポーラスアルミナ層の複数の微細な凹部を拡大させる工程とを包含し、工程（ｂ）および（ｃ）を交互に複数回行うことによって、ポーラスアルミナ層にそれぞれが階段状の側面を有する複数の微細な凹部を形成する。 （もっと読む）

【課題】微細な錐形状の凹凸の周期構造を成形するに際して、金型からの転写が良好で、反射特性に優れた反射防止光学部材と該反射防止光学部材の製造方法を提供する。
【解決手段】サブ波長の周期の微細な凹凸構造により形成された反射防止面を備える光学部材で、前記の凹凸構造が、サブ波長の周期で密に設けられた多数の微細な錐形状の凹部２１によって形成されている。前記の錐形状は多角錐形状とされ、好ましくは４角錐形状とされる。また、他の錐形状として円錐形状としてもよい。 （もっと読む）

【課題】反射防止機能に優れた反射防止構造を低コストで大面積領域に形成するための形成方法と、それによる反射防止構造の提供。
【解決手段】基材層上に配置された、基材よりもエッチングされにくい粒子をマスクとして、粒子と共に基材層をエッチングし、かつ粒子が消失する前にエッチング加工を停止する反射防止構造の形成方法。前記粒子に対する前記基材のエッチング速度の比は１を超え５以下である。同様に形成された原盤をもとにしたスタンパーを用い、ナノインプリント法により反射防止構造を形成させることもできる。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法により、反射防止構造の転写構造を形成された光学素子成形用金型を製造する方法等を提供する。
【解決手段】金型の離型膜１２上に金属酸化物からなるマトリクス相１４と金属粒子からなる柱状相１５とからなるグラニュラ構造膜１３を成膜する工程と、成膜されたグラニュラ構造膜１３から、マトリクス相１４を選択的に除去する第１の乾式エッチングをする工程と、第１の乾式エッチングにより残った柱状相１５をエッチングマスクとして第２の乾式エッチングをすることにより金型の表面に反射防止構造の転写構造を形成する工程と、を有することを特徴とする光学素子成形用金型の製造方法。 （もっと読む）

【課題】母材の大きさに拘わらず、多数の微細な針形状の凸部を均一な密度で設けることが容易な微細針状構造を備えた部材の製造方法を提供する。
【解決手段】スパッタリング用電極１３とエッチング用電極１５とを対向して設けて、スパッタリング用電極１３側にスパッタリング材料を配置すると共にエッチング用電極１５側に母材ＯＷを配置することで、プラズマが形成される空間１７を介してスパッタリング材料と母材ＯＷとを対向させ、スパッタリング用電極１３に第１の高周波電力を印加すると共に、エッチング用電極１５に第２の高周波電力を印加することで、スパッタリング粒子ＳＰを母材ＯＷに付着させつつドライエッチングして微細針状構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】光学素子などに製膜される単層又は複層の反射防止膜であって、アルミナを主成分とする最表層が表面に微細凹凸構造を有している反射防止膜において、温度変化などの環境変化によって、反射率が大きく変化しないようにした反射防止膜を提供すること。
【解決手段】アルミナを主成分としていて表面に微細凹凸構造を有している単層の反射防止膜の場合も、そのような微細凹凸構造を有しているアルミナ層と基材との間に少なくとも１層の無機物層や有機物層が存在している複層の反射防止膜の場合も、それらの反射防止膜の全体の膜応力が１００ＭＰａ以下であるようにする。 （もっと読む）

【解決手段】本発明による光学システムは、基板および前記基板に配置されているレプリカ層を備えている光学システムにおいて、以下のグループから選択された官能基が基板に組み込まれており、そのグループとは、回析格子、ボリューム・ブラッグ回析格子、ホログラフィック、回析、非周期構造、光学フィルタ、ポーラライザ、マイクロレンズおよび屈折率分布型レンズであることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】レーザ耐性に優れたブリュースター窓を提供する。
【解決手段】レーザ光が直線偏光で発振するようにレーザ共振器の内部に配されるブリュースター窓であって、アルカリ土類金属フッ化物単結晶から成り、表面が平坦化された基板１と、その基板の少なくとも一方の面に形成された多結晶又はアモルファス構造であるフッ化物膜２ａ，２ａ’と、を備える。フッ化物膜２ａ，２ａ’は、フッ化ガドリニウム、フッ化マグネシウム、フッ化ランタン、フッ化アルミニウム及びクリオライトの何れかでなる。フッ化物膜２ｂ，２ｂ’のようにフッ化物膜を多層膜としても良い。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーのレーザー光にも耐え得る高強度の反射防止手段を有する回折光学素子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る回折光学素子は、入射光に対して透明な基板(2)と、複数の凸部(3b)及び凹部(3a)を含み、上記基板の一面側に設けられた回折構造部(3)と、上記複数の凸部の各々よりも小さい複数の微小凸部(4a)を含み、上記回折構造部の上面又は上記基板の他面側の少なくとも何れかに設けられたグリッド部(4)と、を含み、上記回折構造部の断面形状が矩形であり、上記グリッド部が誘電体材料からなる、回折光学素子(1)である。 （もっと読む）

【課題】微小凹凸部を有する反射防止構造体を製造する。
【解決手段】本発明の反射防止構造体の製造方法は、（ｉ）所定の波長よりも大きい表面粗さの粗面２７ｐを有し、且つ、炭素を含有する時効性金属材料からなる固溶化熱処理済みの基板２７を準備する工程と、（ii）基板２７の粗面２７ｐと反対側の面２７ｑを冷却しながら、前記基板（ａ）の前記粗面側の温度が、前記時効性金属材料における炭素化合物の析出温度域となるように、基板２７の粗面２７ｐに対してスパッタエッチングを行い、所定の波長以下の平均ピッチを有する複数の微小凹凸部２９を基板２７の粗面２７ｐに形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】微小凹凸部を有する反射防止構造体を製造する。
【解決手段】本発明の製造方法は、所定の波長よりも大きい表面粗さの粗面２７ｐを有する基板２７を準備する工程と、電子ビーム又は陽子ビームを用いたリソグラフィによって、所定の波長以下の平均ピッチを有する複数の微小凹凸部２９を基板２７の粗面２７ｐに形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】耐擦傷性に優れた反射防止物品の実現。
【解決手段】表面に微細凹凸構造を有する反射防止物品１０であって、前記微細凹凸構造の隣り合う凸部１３同士の距離が可視光の波長以下であり、かつ、任意の凸部１３と、該凸部に隣接する凸部との各先端間距離の標準偏差が、２５．０〜４０．０であることを特徴とする反射防止物品１０。 （もっと読む）