【課題】 経済的で、効率的な液晶用の配向膜樹脂のクリーニング方法、特に大型基板にも充分対応できる配向膜印刷版のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 印刷版に付着した配向膜樹脂のクリーニング方法であって、該印刷版表面に多孔質シートを配設する工程と、該シートに配向膜樹脂の溶媒を含浸、静置する工程と、該溶媒含浸シートを印刷版から剥離する工程とを有する配向膜印刷版クリーニング方法。 （もっと読む）

【課題】処理対象とされるワークにプラズマ化したガスであるプルームを照射して所定の処理を施与するワーク処理装置において、さまざまな形状のワークのさまざまな面に対してプルームを照射することができるようにする。
【解決手段】導波管１０は、マイクロ波発生装置２０（マイクロ波発生手段）から発生されるマイクロ波が入力される入力部１１Ａを有する基体導波部１１と、この基体導波部１１に一端が接続され、マイクロ波の伝搬経路を分岐させる複数の分岐導波部１２を備え、プラズマ発生ノズル３１は、複数の分岐導波部１２の間に配置されたワークＷに対してプルームＰを照射可能なように、ワークＷの周囲においてそれぞれ相対向するようにそれぞれの分岐導波部１２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】安定したプラズマを長時間出力する。
【解決手段】ＰＷＭ制御部９０１は、光量センサ３９により測定されたプラズマ発生ノズル３１から放出されるプルームＰの光量が目標光量範囲を保つように、マイクロ波発生装置２０を制御するためのＰＷＭ信号のデューティー比を調整して、マイクロ波のパワーを調整する。バイアス電流調整部９０３は、熱電対３８により測定されたプルームＰの温度が目標温度範囲を保つように、マイクロ波発生装置２０を制御するためのバイアス電流を調整して、マイクロ波のパワーを調整する。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板に設けられる有機物層のスパッタリングを抑え、導電部からの有機物の除去を効率的に行なうことのできるプラズマ洗浄方法を提供する。
【解決手段】 プリント配線基板１７の配線１９にプラズマ１８を照射して洗浄するとき、洗浄すべき配線１９にプラズマを集中させるようにプリント配線基板１７にプラズマ集中処理を施し、配線１９に臨む領域でプラズマ１８を発生させ、発生させたプラズマ１８を配線１９に照射する。たとえば、プリント配線基板１７を下部電極１６に載置してスルーホール２１を介して下部電極１６と配線１９とを短絡させ、上部電極１５と下部電極１６との間に電圧を印加してプラズマ１８を発生させる。これによって、照射するプラズマ１８と逆極性の電位を配線１９に与え、配線１９およびその周囲にプラズマ１８を集中して照射することができる。 （もっと読む）

【課題】フィルム基板表面を洗浄するに際して、新たな塵埃、微粒子の発生を防止すると共に、表面洗浄作業の静粛性を向上させようとする。
【解決手段】フィルム基板表面洗浄装置（１）において、動力であるモーター（Ｍ）と各粘着ラバーロール（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）との間において、回転軸（ＲＡ）（ＲＢ）（ＲＣ）（ＲＤ）等に軸着された非接触回転体（Ａ１…）（Ｂ１…）（Ｃ１…）（Ｄ１…）を組み合わせて構成される非接触回転伝達機構（Ｘ）により回転を伝達させることで、回転を伝達させる部品の接触がなく、フィルム基板の表面洗浄に際して新たな塵埃、微粒子等を発生させず、フィルム基板を破損させることもなく、しかも作業における静粛性を向上させるので、クリーンルーム内等の閉鎖空間内でのフィルム基板の製造に適するものとなる。 （もっと読む）

【課題】効率良くしかも連続してパネルのクリーニング作業が行なえるパネル用クリーニング装置を提供する。
【解決手段】搬送経路中には、回転駆動によりパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構３と、クリーニングローラ機構にパネルを搬入するためのパネル搬入部４と、パネル搬出部５とが備えられ、パネル搬入部及びパネル搬出部には、パネルを挟持して搬送するためのニップローラ対４１，４２が備えられており、クリーニングローラ機構が、パネルの両面を同時にクリーニングするための一対のクリーニングローラ３ａ，３ｂから構成されるとともに、帯状のクリーニングテープ３１をローラ本体のローラ面に螺旋状に巻き付けて構成し、またクリーニングローラ機構の近傍には、洗浄液をパネルに吹きつけるための洗浄液噴射部６が設けられた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板に連続して表面処理を行った場合であっても、均一な状態に基板の表面を処理することが可能な表面処理方法、およびその表面処理方法に用いられる表面処理用装置を提供することを主目的としている。
【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、基材、および前記基材上に形成され、少なくとも光触媒を含有する光触媒含有層を有する光触媒含有層側基板の前記光触媒含有層と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により表面が処理される被表面処理面を有する処理用基板の前記被表面処理面とを対向させて配置し、前記光触媒含有層にエネルギーを照射することにより、前記被表面処理面の処理を行う表面処理工程を複数回行って、複数の前記処理用基板の表面を処理する表面処理方法であって、
前記複数回行う表面処理工程の間に、前記光触媒含有層に付着した付着物を除去する付着物除去工程を行うことを特徴とする表面処理方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
基板の先端が除塵ユニットに導入される際の撓みや振動が生じないようにするとともに、ベンチュリ効果のバランスを調整して下側への吸引力を増加するようにして、薄く柔軟性を有する基板であっても安定した搬送や、塵埃等の吸引の増加を実現するような基板用搬送除塵装置の使用方法、および、基板用搬送除塵装置を提供する。
【解決手段】
下側除塵ユニット２１０のエア吸引室２１１，２１３の吸引スリットの長手方向が基板搬送方向ａに対して略直角となるように配置するとともに、基板Ｇの一辺方向が基板搬送方向ａの略垂直方向に対して所定の交差角αで傾斜した状態であって基板Ｇの突端が先頭となるように下側除塵ユニット２１０に搬送されつつ除塵を受けるような基板用搬送除塵装置およびその使用方法とした。 （もっと読む）

【課題】 乾燥後に残渣物が残らず、乾燥後に冷却工程を必要とせず、省電力、省スペースで基板等の乾燥を行える乾燥装置を提供する。
【解決手段】 被処理基板等Ｗの搬送方向の上流側に第１のリアクタＡを設けるとともに、その下流側に第２のリアクタＢを設ける。各リアクタＡ，Ｂは、反応ガスをプラズマ化して被処理基板等Ｗに供給する表面処理装置で構成され、上記第１のリアクタＡにはプラズマ化されることによって被処理基板等Ｗの表面改質を行う反応ガスを供給し、第２のリアクタＢにはプラズマ化されることによって水分子および有機物を解離可能な成分を含んだ反応ガスを供給する。これにより、第１のリアクタＡで被処理基板等Ｗの表面に付着した水分を改質して水滴の表面張力を弱め、第２のリアクタＢで水滴表面の水分子を解離させるとともに、有機物を分解して基板等を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】被処理物に与えるダメージを抑制することができるとともに洗浄能力が高いプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】大気圧近傍の圧力下の放電プラズマにより被処理物を処理する方法であって、互いに向き合って配置されている第１電極と第２電極との間にヘリウムガスおよびアルゴンガスの少なくとも一方を含むガスを導入する工程と、第１電極と第２電極との間に周波数が１ＭＨｚ以上５０ＭＨｚ以下の高周波電圧を印加することによって放電プラズマを発生させる工程と、放電プラズマを被処理物に接触させることによって被処理物を処理する工程と、を含む、プラズマ処理方法である。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＣが隙間内に落ち込むことを防ぎ、ＦＰＣ機構の表面に押し痕が発生することを避けることができるＦＰＣクリーニングマシンのクリーニングローラ機構を提供する。
【解決手段】 ケーシング２は、両側に対応する送入口２１及び送出口２２が設けられている。クリーニングローラ機構は、ケーシング２内に設けられ、複数個のクリーニングローラ組が含まれている。各クリーニングローラ組にはそれぞれ上クリーニング主動ローラ２３及び下クリーニング主動ローラ２４が設けられ、各対応する上クリーニング主動ローラ２３と下クリーニング主動ローラ２４は平行に排列して互いに接触している。送入口２１から送入されたＦＰＣは各クリーニングローラ組にクリーニングされると、送出口２２から送り出される。 （もっと読む）

【課題】 プラズマを簡便な機構にて安定化できるようにすること。
【解決手段】 放電を発生させるための対を成す電極１１，１３が配置された放電空間２０と、前記電極間１１，１３に電圧を印加する電圧印加手段２と、前記放電空間に不活性ガス或いは不活性ガスと反応ガスの混合気体から成る作動ガスを供給する作動ガス供給手段４とを有し、前記電圧印加手段２にて電圧を印加することにより前記電極間１１，１３に発生する放電にて前記放電空間２０に供給した前記作動ガスを励起して放電プラズマを発生させ、該発生した放電プラズマを用いて被処理体を処理するプラズマ処理装置において、前記ガス供給手段４により前記放電空間に供給される前記作動ガスの流量もしくは流速、あるいは圧力の少なくともいずれか１つを周期的に変動させる周期変動付与手段７を備える。 （もっと読む）

【構成】 本発明は、マット洗浄後に真空吸入手段を設けることで洗浄後に残留する水分などを真空吸収して直ちに乾燥させることを可能とするマット真空洗浄機を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 本発明は、マット洗浄機２の後端に真空吸入手段３６を設置し、洗浄した後にマット６上に残留する洗浄水と異物質および各種のバイ菌などを真空で吸入・除去して直ちに使用できるように素早く乾燥させ、かつ真空吸入手段３６の周辺には電熱手段１８を設置し、３０℃〜６０℃の常温で暖めることによって洗浄や乾燥の過程でのマット６の変形を直す構成とする。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂からなる薄型の板を洗浄する場合に、洗浄物が薄くても、皺になったり、折れ曲がったりして破損させることがない洗浄器を提供する。
【解決手段】モーター1の駆動力をカムに伝え、一辺を回転自在に固定した受板８を回転自在に固定して相対する他辺の下部に前記カムを設けて前記受板８の他辺を上下動可能にし、前記受板８の他辺の上方にはモーター１の駆動力で回転する送りローラー９を設けて、前記受板８が上方に位置した際に洗浄物を洗浄部へ送り込んで洗浄部の下方に洗浄液を配して洗浄物を洗浄する洗浄器において、上下洗浄ローラー２のどちらか一方に摩擦が変化すると周速変化するトルクリミッターを設ける。 （もっと読む）

【課題】 例えば銀イオン生成器を備えた自動車用フロアマットの洗浄装置に好適で、銀イオン水による殺菌効果を確実かつ能率良く得られるとともに、銀イオン水の消費を節減し、使用コストの低減を図る一方、雑菌の繁殖やカビの発生並びに異臭の発生を防止し、洗浄後のマットを速やかに乾燥し、その速やかな利用を図れるマット洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 筐体２内にマット１２を移動可能なマット通路５０を設ける。
前記マット通路５０に沿って少なくとも送りロ−ラ１４と絞りロ−ラ１６とを配置する
前記マット通路５０に向けて洗浄液を噴出可能な散水管３６を配置する。
前記洗浄液の供給導管２３に、金属イオンを生成可能な金属イオン生成器２４を介挿する。
前記金属イオンを洗浄液に添加し、かつこれを前記散水管３６に供給可能にしたマット洗浄装置であること。
前記金属イオン生成器２４と散水管３６との間の洗浄液供給導管２３に開閉弁２８を介挿する。
前記開閉弁２８を前記送りロ−ラ１４と絞りロ−ラ１６の駆動前は閉弁可能にする。 （もっと読む）