【課題】基板の裏面の汚染に起因するパターン不良を防止できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４およびインターフェースブロック１５を備える。インターフェースブロック１５に隣接するように露光装置１６が配置される。インターフェースブロック１５は、裏面洗浄処理ユニットＲＳＷを含む。裏面洗浄処理ユニットＲＳＷにおいて、露光処理前に基板Ｗの裏面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】断熱膨張によって生成される基板洗浄用の固体粒子の粒径を基板の表面状態などに応じて制御できるようにした洗浄処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を洗浄処理するための洗浄処理装置であって、
基板が供給されるチャンバ１６と、断熱膨張させることで固体粒子を生成する流体をチャンバ内の基板に向けて供給するノズル体２８と、ノズル体によって供給される固体粒子の粒径を制御する湿度制御手段３６及び温度制御手段３７を具備する。 （もっと読む）

【課題】レチクルに付着した異物を確実に除去する。
【解決手段】レチクルに付着した異物を確実に除去するレチクルクリーニング装置は、クリーニング室２２内においてレチクル姿勢変更装置５０によって垂直状態に保持されたレチクル１に窒素ガスを噴射する複数個の噴射ノズル７６と、レチクル１に噴射した窒素ガスを異物と共に吸引して排気する排気ダクト７８とを備えており、クリーニングに際して、噴射ノズル７６群と排気ダクト７８とは往復水平移動しながら下降する。垂直状態に保持されたレチクルに窒素ガスを噴射するとともに、レチクルに噴射した窒素ガスを異物と共に吸引するので、レチクルに付着した異物の飛散を防止しつつ確実に除去できる。噴射ノズル群と排気ダクトがレチクルの全面をスキャニングするので、レチクルの全面の異物を確実に除去できる。 （もっと読む）

【課題】箱形コンテナを簡易且つコンパクトな装置で洗浄することを可能となして個々の農家における使用に特に適するものとなす。
【解決手段】横向き姿勢となされた箱形コンテナの周壁部を支持するもので前後向き線回りの回転可能となされた第一ロール状ブラシ４、４を左右方向へ並設してなるコンテナ支持部４Ａと、箱形コンテナの周壁部の内面を押し下げてこの周壁部を第一ロール状ブラシ４、４に圧接させるもので先端部が箱形コンテナの底面の内面に圧接される単一の第二ロール状ブラシ７と、第一ロール状ブラシ４及び第二ロール状ブラシ７を正逆任意な方向へ回転させる駆動手段３８と、箱形コンテナの底面の外面に当接されブラシ毛３８ａによる摺擦作用を付与するものとしたブラシ摺摩手段３８とを備えるほか、第一ロール状ブラシ４、第二ロール状ブラシ７及びブラシ摺擦手段３８による箱形コンテナの摺擦箇所に水を供給する水供給手段４０を設けた。 （もっと読む）

【技術課題】 微細な固形物を排出する性能に優れ、ウェッジワイヤスクリーン面に固形物が付着して残らず、目詰りを効率的に防ぐことができると共に汚泥の濃縮装置に用いると特に有効な固液分離装置を提供する。
【解決手段】 スクレーパー１３の駆動チェン９、９ａは、スクレーパー１３が上昇する走行領域においてのみ、走行ガイド１８、１８ａ内を走行する。また、回転ブラシ２５は、回転ブラシ駆動チェン２３、２３ａ間に回転自在に保持されていると共に、回転ブラシ２５のブラシ軸２５ａには駆動ギャー２６、２６ａが取り付けられていて、この駆動ギャー２６、２６ａは、回転ブラシ２５が上昇又は下降するとき、ラック２７、２７ａの作用で回転し、スクリーン３をその背面側からブラッシングして目詰り物を除去する。また、スクレーパー１３のブレード１２がスクリーン２に圧接する力は調整自在とする。 （もっと読む）

【課題】 フレキシブルプリント基板の高精細化されたリード端子に損傷を与えることなく、また効率のよい洗浄をすることができる、フレキシブルプリント基板のリード端子に付着する表面付着物を除去する基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 上下方向に移動可能な押圧子と、前記押圧子の押圧面に沿って移動可能なワイピングクロスと、前記ワイピングクロスに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、洗浄されるフレキシブルプリント基板を固定し得る、少なくとも、水平方向に移動可能である基板テーブルとを備える基板洗浄装置であって、前記押圧子の移動により前記ワイピングクロスを前記基板テーブル上に固定されている前記フレキシブルプリント基板に所定の圧力で当接させ、前記フレキシブルプリント基板を洗浄するに際し、前記押圧子と基板テーブルとが相対的に前記フレキシブルプリント基板のリード端子が延びる方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが少なくてすむばかりか、基板の供給と搬出とを同じ箇所で行なうことができる処理装置を提供することにある。
【解決手段】装置本体１と、装置本体に設けられ基板を所定の角度で傾斜させて搬送する搬送ローラと、搬送ローラによって搬送される基板を処理する処理部３と、装置本体の上部に設けられ基板を水平な状態で、傾斜させて搬送する搬送方向と逆方向に搬送する上部搬送部４と、装置本体の少なくとも一端に設けられ上部搬送部によって水平に搬送された基板を受けると、この基板を下降させると同時に所定の角度に傾斜させて搬送ローラに受け渡す傾斜受け渡しユニット６１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの６面を精度良く洗浄およびバリ取りする６面洗浄・バリ取り装置を提供する。
【解決手段】 メディア（氷粒など）３と、超高圧水４とのうち少なくとも超高圧水４をノズル６から噴射してワークＷの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、ノズル６は、メディア３を噴射させるノズルα６ａと、超高圧水４を噴射させるノズルβ６ｂ、ノズル６の先端近傍において、ノズルα６ａをノズルβ６ｂに合流させたミキサーとを備え、超高圧水４の流速によって生じるミキサー内の負圧によってメディア３を吸引して超高圧水４とメディア３とを混合させた混合体をノズル６から噴射させる。ノズル６は、混合体５を真下に噴射するように、Ｚ軸に平行に配置され、かつ、ワークＷの上方に配置されて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向へ移動され、ワークＷは、Ｙ軸方向へ移動されると共に、Ａ軸方向、およびＢ軸方向へ回転可能とされる。 （もっと読む）

【課題】 超臨界流体を洗浄媒体として用いたときに、パーティクルの除去効率が向上する洗浄方法を提供するものである。
【解決手段】 被洗浄物を配置したチャンバー内に洗浄媒体を供給し、洗浄媒体に対して、１相状態の超臨界状態（ｃ点）と気液２相状態（ｄ点）を行き来させて、被洗浄物の表面に付着したパーティクルを除去する。 （もっと読む）

【課題】液中及び液外において電子部品を搬送できる、簡易な構成の電子部品移動装置及び電子部品移動方法を提供する。
【解決手段】電子部品１０３を保持するための電子部品収容凹部１３９を備えるトレイ１０９を用いて、電子部品１０３を液中及び液外において移動するための電子部品移動装置１０１であって、トレイ１０９が取り外し可能に装着されるトレイ保持部材１１１と、トレイ保持部材１１１を移動する移動手段１３５と、を備え、トレイ１０９の電子部品収容凹部１３９に収容されている電子部品１０３が液面１４７上及び液面１４７近傍に位置する際、液面１４７と、液面１４７と交差する電子部品１０３の面と、が所定の傾斜角度αを形成する。 （もっと読む）

【課題】 焼き肉店や焼き鳥店などの焼き網に付着した焼き焦げなどを洗剤を使用することなく前処理して、短時間で効率よく焼き焦げを除去するための前処理装置の提供。
【解決手段】 洗浄水を入れる水槽部２を形成し、該水槽部２の側壁４の際に水槽部２内を照射する紫外線ランプ５を配設し、水槽部２の側壁４の際の紫外線ランプ５の内側領域に焼き網１６を配設して前処理するための前処理領域とし、この前処理領域の下部にオゾンを噴出するオゾン噴出器具６を配設し、水槽部２外の側部にオゾン発生装置２０を付設し、このオゾン発生装置２０からオゾン噴出器具６にオゾン含有の空気を供給する供給管７を配設した焼き網１６の焼き焦げ除去及び洗浄前処理装置１である。 （もっと読む）

【課題】 被処理物に付着した塵埃の除電除塵操作を短時間で効率的に行うことができ、かつ取り除いた塵埃の漏出による作業環境の汚染を防止できる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】 この除電除塵装置は、空気流入口１６が設けられた基台ボックス１１と、基台ボックス１１に支持コラム２１を介して取り付けられる処理ヘッド２３とを有しており、空気流入口１６と処理ヘッド２３との間には処理空間２４が形成される。装置の正面開口部２９と左右の側面開口部２８には、空気噴出パイプ３３の噴出口からの空気により処理空間２４を外部から遮断するエアーカーテンが形成される。処理空間２４内には、イオン発生器４２により生成されたイオン化空気が噴出されて、処理空間２４内に配置される被処理物にはイオン化空気が吹き付けられて被処理物の塵埃が除去される。 （もっと読む）