【課題】有機溶剤を含んだ二酸化炭素を超臨界状態の洗浄剤として、この洗浄剤を洗浄チャンバー内に配された被洗浄物に接触させることにより、前記被洗浄物の洗浄を行う洗浄方法及び洗浄装置において、洗浄時間の短縮化を図ること。
【解決手段】界面活性剤と有機溶剤と超臨界状態の二酸化炭素を混合し、混合流体を被洗浄物に接触させて洗浄する洗浄方法において、前記混合を管内混合手段で行い、該管内混合手段の直後に被洗浄物を配置するとともに、前記混合流体においての重量割合は、二酸化炭素に占める有機溶剤の重量割合を２０％以下とし、かつ界面活性剤の重量比率を有機溶剤と略同重量としたことを特徴とする洗浄方法及び洗浄装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】円筒状の基材の外周面を容易に且つ精度良く処理することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ処理装置は、真空容器５内に立設された円柱状のカソード電極７とこの外周面と内周面とが対向するように配置された円筒状の防着部材１４とを有している。電極７の外周部には処理対象物である円筒状の基材１１が配置される。基材１１の内径寸法は電極７の外径寸法と略同じに設定されており、基材１１の内周面と電極７の外周面とはほぼ密着する。真空容器５内にエッチングガスを導入し、電極７に高周波電力を供給すると電極７と防着部材１４との間にプラズマが形成される。これにより、マスクパターンに覆われていない基材１１の表面が垂直にエッチングされて基材１１自身の表面全体に凹凸パターンが均一に形成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で実施可能であり、微細パターンが形成されている基板をその微細パターンに悪影響を与えることなく短時間で洗浄するための基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが表面に形成された基板としてのウエハＷの洗浄処理を、ウエハＷの表面に所定の加工を施す処理チャンバからウエハＷの洗浄を行う洗浄チャンバへ搬送する搬送ステップと、洗浄チャンバ内においてウエハＷを所定温度に冷却する冷却ステップと、超流動体としての超流動ヘリウムをウエハＷの表面に供給し、ウエハＷの表面から超流動ヘリウムを流し出すことによって微細パターン内の汚染成分を押し流す超流動洗浄ステップにより行う。 （もっと読む）

本発明は、高圧処理器に関し、本発明による高圧処理器は、高圧の二酸化炭素が内側に供給され、該高圧の二酸化炭素でウェーハを洗浄することができる収納空間部と、該収納空間部の前段で該収納空間部の高さよりさらに高い空間である開閉空間部とを備える本体と；前記本体の収納空間部に固定設置されて前記ウェーハを実装し、前記流入された高圧の二酸化炭素を前記ウェーハの表面に沿って流れるようにして洗浄するウェーハ支持部と；前記本体の開閉空間部の一側を密閉し、且つ、前記ウェーハのローディング及びアンローディングが可能な開口部が設けられたドアカバーと；前記開閉空間部内で上下移動が可能であり、前記ドアカバー側に前後移動が可能なドアと；前記ドアを上下方向に駆動させるドア駆動部と；を含む。このような構成の本発明は、気密部分が高圧の二酸化炭素に露出することを最小化し、気密部の寿命を延長させることができるという効果があり、ドアを上下及び前後に移動させることができるようにして、気密性を向上させると共に、上下駆動時に周辺との摩擦を最小化し、摩耗量を低減し、高圧処理器の寿命を延長させることができ、異物の発生を防止することができるという効果がある。 （もっと読む）

付着チャンバをｉｎ−ｓｉｔｕプラズマ洗浄する方法および装置が提供される。一実施形態では、真空を中絶させることなく付着チャンバをプラズマ洗浄する方法が提供される。この方法は、付着チャンバ内に配置されたサセプタであり、電気的浮動状態にある付着リングによって周囲を取り囲まれたサセプタ上に基板を配置すること、付着チャンバ内の基板上および付着リング上に金属膜を付着させること、付着リング上に付着した金属膜を、真空を中絶させることなく接地すること、ならびに付着チャンバ内に形成されたプラズマによって、付着リング上の接地された金属膜を再スパッタすることなく、かつ真空を中絶させることなしに、付着チャンバから汚染物質を除去することを含む。 （もっと読む）

【課題】従来の洗浄装置は、超音波振動子などによるキャビテーションを用いて洗浄していたが、洗浄効果が得られないと共に、洗浄時間が長いという課題を有していた。
【解決手段】被洗浄物を収容するための洗浄室１１と、前記洗浄室内１１に設けた２つの電極にパルスパワーを印加しストリーマ放電を発生させる放電手段１６とを設けて、被洗浄物１１を洗浄することを特徴とした洗浄装置である。特に、パルスパワーを印加しストリーマ放電を発生させることで、高い圧力範囲の衝撃波を発生させることができるので、被洗浄物１１に付着した汚れ成分や細菌やウィルスなどを除去する。さらに、水中にストリーマ放電を生成することによってオゾンを生成することができるので、殺菌性能を向上することができるとともに、洗浄水を浄化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】異物を除去するためのレーザ光照射装置及び受光装置を利用して基板の位置合わせを行い、基板に対して適正な後処理を施すことができる異物除去方法を提供する。
【解決手段】異物除去装置に設けられた異物を除去するためのレーザ光照射部３４からステージ３３に載置されて回転するウエハＷの端部にずれ測定用のレーザ光を照射し、照射したレーザ光のうちウエハＷの端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光をパワーメータ３５で受光してレーザ光の出力を検出し、回転するウエハＷの回転角を検出し、検出したレーザ光の出力データと回転角データとに基づいてウエハＷのずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいてウエハＷのずれを補正し、その後、ウエハＷの端部にレーザ光照射部３４から洗浄用のレーザ光を照射すると共に異物と反応する処理ガスを噴射してウエハＷに付着した異物を分解、除去する。 （もっと読む）

（ａ）洗浄すべき対象物を、変動圧力耐性容器内に設置する工程、
（ｂ）前記対象物に対して、少なくとも１種の発泡剤と少なくとも１種の酵素と溶存ガスとを含む泡状組成物を適用する工程、
（ｃ）前記容器に対して変動圧力を加え、前記対象物を前記泡状組成物で洗浄する工程、及び
（ｄ）前記対象物をリンスする工程
を含む、対象物の洗浄方法。
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【課題】外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射する除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、複数の噴射手段と、外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、を備える。各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射するので、あるグループからは気体が噴射され、別のグループからは気体が噴射されないという期間が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。 （もっと読む）

【課題】除塵能力の高い除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に気体を吹き付けて除塵する除塵装置１であって、気体を噴射する噴射手段（イオナイザ１６ａ、１６ｂ）と、噴射手段から噴射される気体を対象物８７の同一箇所に複数の方向から吹き付ける吹き付け手段（噴射ノズル１９ａ、１９ｂ）と、を備える。対象物８７の同一箇所に向けて複数の方向から気体を吹き付けるので、１方向からのみ気体を吹き付ける場合に比べて塵埃が飛散し易い。よって、対象物に付着した塵埃を除塵する能力が高い。 （もっと読む）

【課題】手作業による作業効率の低いインキ装置の清掃作業を、生産性、作業効率の向上と溶剤、ウエスの資材の消費を抑え、洗浄によるコスト削減の自動洗浄装置を提供する。
【解決手段】インキドクターブレード自動洗浄装置１においては、インキドクターブレード３に固着したインキ汚れを洗浄するためにエアーと共に微少量の溶剤を噴射、また回転式エアーノズルにてインキを掻き取る作用を利用しております。このエアーノズルを可変速にて移動させることにより、インキドクターブレード３全体において、汚れの度合いに応じて自動洗浄致します。また、ドクターブレード本体３を任意角度にて揺動させることによりインキドクターブレード３の複雑な形状の自動洗浄に対応しております。これにより、手作業での洗浄に比較し、洗浄時間の短縮、洗浄コストの削減、洗浄効果の向上を提供致します。 （もっと読む）

本発明は、密封された筐体内に用意されたオブジェクトの洗浄および／または殺菌方法に関し、筐体の内部容積と周囲との間に気圧差をもたらし、オブジェクトの前記洗浄および／または殺菌方法のための筐体内部のみにプラズマを発生させる。また、本発明は、これを可能にする装置に関する。装置１０は、真空ポンプ２を使って空気が抜かれる真空チャンバ１と、筐体８内に適切なガスのプラズマを発生させるように構成されたプラズマ源３とを備え、筐体８は、真空チャンバの周囲に対して略密封して閉じられる。筐体８は、可塑性タイプでも、剛性材料から製造されてもよい。筐体が剛性のときの場合、筐体内部の気圧は、外の気圧より低くてもよい。
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【課題】分注ノズルの洗浄を確実に行うとともに、洗浄時間の短縮を可能とするノズル洗浄方法およびノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】液体の吸引および吐出を行う分注ノズル５０を洗浄するノズル洗浄方法において、分注終了後、洗浄液Ｌ２をオーバーフローさせた貯留槽６２上部において、分注ノズル５０の内壁面を予圧用液Ｌ１の吐出により洗浄する第一洗浄ステップと、洗浄液Ｌ２をオーバーフローさせた貯留槽６２に、分注ノズル５０を下降浸漬させることにより、少なくとも外壁面を洗浄する第二洗浄ステップと、を含むことを特徴とするノズル洗浄方法を使用することにより、分注ノズル５０の単一の貯留槽での洗浄を可能として洗浄時間の延長を防止するとともに、貯留槽への検体の持込みを低減して効率的な洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の表面に付着硬化した付着物質を、きわめて効率良く、洗浄物を傷付けることなく、高い洗浄能力をもって剥離除去する洗浄技術を提供する。
【解決手段】
洗浄液体Ｌに無数の微小洗浄粒体Ｇ、Ｇ、…を混合してなる洗浄液剤ＣＬに機械構成部品等の被洗浄物Ｗを浸漬して、これら洗浄液剤ＣＬと被洗浄物Ｗに相対的な運動を与え、これにより、被洗浄物Ｗ表面に対する洗浄液剤ＣＬの擦れ合い作用および衝突作用を利用して、被洗浄物Ｗ表面に付着硬化したプラスチック等の付着物質Ｏを磨耗粉砕して剥離除去する。この結果、被洗浄物Ｗ表面に付着硬化した付着物質Ｏが、きわめて効率良く、しかも被洗浄物Ｗ表面を傷付けることもなく、高い洗浄能力をもって剥離除去される。 （もっと読む）

【課題】お弁当などに使用した醤油、カラシなどの小分け調味料の袋を捨てる前に中の汚れを簡単に洗浄し、又、手を汚したり水浸しにならない小分け調味料袋洗浄機を課題とする。
【解決手段】本体容器（１）の上部に押し出し棒（４）と刃（５）の付いた蓋（３）を設け、本体容器（１）の下部には押しあて台（２）を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、且つ排気機構が不要な除塵装置を提供する。
【解決手段】クリーンルームに設置される除塵装置１であって、除塵対象物Ｔをセットするセットケース４と、セットケース４に設けられ、除塵対象物Ｔに向かってエアーを吹き付けるブローノズル３２と、ブローノズル３２にエアーを供給するブロワー６と、ブロワー６の吐出側４６とブローノズル３２とを連通する給気流路７と、セットケース４とブロワー６の吸込側４５とを連通する還気流路８と、給気流路７および還気流路８の少なくとも一方に介設した除塵フィルタ５と、を気密に構成したキャビネット３に収容する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造装置を収容するキャビネット内に、集塵装置の主要構成要素を別個独立に構成するとともに、各々をスペースに余裕のある所望の位置に配置して構成し、これにより集塵を行いながらレーザー加工を行うレーザー加工方法及びこれに用いる集塵装置を提供することを目的とする。
【解決手段】アライナ６０と、レーザーヘッド５０とを有する加工用のキャビネット９０内に、集塵口１０と、集塵部２０と、排気ファン３０とを設け、
前記アライナ６０により半導体装置のアライメントを行い、
前記アライメントが行われた前記半導体装置に前記レーザーヘッド５０からレーザーを照射して加工を行うとともに、
前記集塵口１０は、前記排気ファンの吸引力によって、前記加工の際に生じる塵埃を含む空気を吸入し、
次いで、前記集塵部２０は、吸入された前記空気から前記塵埃を集塵して除去し、
次いで、前記排気ファン３０は、前記塵埃が除去された空気を前記キャビネット９０外に排気することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
洗浄効率を向上させかつブラシの交換のメンテナンスが容易なディスク洗浄ブラシ、ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、孔の外形よりも大きい外形を有する所定の長さの多孔質のブラシ部材を各孔に弾性変形により縮小させて挿着して回転ブラシとしている。いずれかの多孔質のブラシ部材が摩耗して接触圧が均一でない部分が発生したときには、多孔質のブラシ部材単位でそれを取り外して摩耗していない新しい多孔質のブラシ部材を取り付ければそれでメンテナンスが済む。 （もっと読む）

【課題】異常放電を起こさないようにすると共に、前記オフセット直流電圧値の低下を極力抑え、プラズマの安定性を図り、極力洗浄能力を低下させないプラズマ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】扉体９裏面に設けられたアルミニウム製の収納トレイ８上面に絶縁物であるアルミナセラミックス板７を貼付して、プリント基板６を前記アルミナセラミックス板７を介して積載した前記収納トレイ８を下部電極３の上方に所定間隔を存するように、真空チャンバー１内に扉体９を介して出し入れ可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 塗布ノズルの先端に付着した不要なペースト材を圧縮エアーで効率よく吹き落とす塗布ノズル清掃装置の提供。
【解決手段】 ポット部材２０とカバー部材３０を組み合わせた清掃装置で、塗布ノズル１の逆円錐状先端部１ａが隙間Ｇ１を開けて挿脱自在に挿入される上下開口の逆円錐状凹部１１と、凹部１１の下端開口から真下に延在して凹部１１に挿入されたノズル先端部１ａの下端部分１ｂが隙間Ｇ２を開けて挿入される筒状清掃穴１２と、凹部１１と清掃穴１２の間に開口させた吹出口１４を有するエアー供給流路１３と、清掃穴１２から下方および側方に延在するエアー吸引流路１５を備える。 （もっと読む）