【課題】 氷の微粒子を含む処理液を基板の表面へ供給して基板の処理を行う場合に、基板上に形成された被膜にダメージを与えることがなく、基板の一連の洗浄処理において有機物汚染の除去工程を省略することも可能である装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｗを支持する手段と、基板Ｗの主面へ処理液を供給するノズル１２と、ノズル１２に接続されノズル１２へ過酸化水素を含有する氷の微粒子を含む処理液を送給する配管１６とを備えて装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】 氷の微粒子を含む処理液を基板の表面へ供給して基板の処理を行う場合に、基板上に形成された被膜にダメージを与えることがなく、静電気によって基板上の微細なパターンやデバイスを破壊することもない装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｗを支持する手段と、基板Ｗの主面へ処理液を供給するノズル１２と、ノズル１２に接続されノズル１２へ二酸化炭素が溶解し氷の微粒子を含む処理液を送給する配管１６とを備えて装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】 磁性研磨スラリーを用いた局所研磨を基板に施しても、磁性研磨スラリーの残留による凸欠陥や、次工程への磁性研磨スラリーの持込みによる凹欠陥の発生を防止する。
【解決手段】 鉄を含む磁性流体２１中に研磨砥粒を含有させた磁性研磨スラリー２を用いて、マスクブランクス用基板１の表面を研磨した後、塩酸を含む洗浄液６を用いて、マスクブランクス用基板１の表面を洗浄する方法としてある。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、従来のドライアイス製造時に排出されるＣＯ₂ガスを有効利用し、少ない動力でドライアイスを製造するシステム、およびかかるシステムを応用してドライアイスを有効に再利用することができるドライアイスブラスト洗浄システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 ＣＯ₂を含むガスから、水分を除去する除湿器２と、水分を除去したＣＯ₂を含むガスを冷却する空気冷媒冷凍機３と、ＣＯ₂が冷却されてできたドライアイスを分離する分離装置４とを備えるドライアイス製造システム１、およびこれを用いたドライアイス製造方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ＣＯ２スノー及び圧縮空気を所定の方向に噴出するためのノズル１に関する。
【解決手段】
該ノズル１の中央領域５には、ＣＯ２スノーからなるコアジェット２を超音速で生成できる第１排出口６が備えられる。中央領域５は、該第１排出口６の周りに配置された複数個の第２排出口８を備えた周辺領域７によって取り囲まれ、該第２排出口８は、空気、好ましくは圧縮空気からなり、コアジェット２を取り囲むマントルジェット３を、コアジェット２の流れより低速で生成するように構成される。マントルジェット３はコアジェット２と同じ方向に移動する。本発明はまた、コーティングすべき部品をＣＯ２スノーで処理、特に、洗浄する方法に関する。該方法においては、コアジェット２が、２００ｍ／ｓより速い速度で、マントルジェット３とともに、部品上に所定の方向で噴出される。マントルジェット３は、コアジェット２より遅い速度で移動する。 （もっと読む）

【課題】トナー補給容器（粉体容器）の形状に関わりなく洗浄媒体を該トナー補給容器の隅々まで行き渡らせて、その内面に固着している汚れを確実に洗浄し得るように、また連続的に洗浄することにより短時間で多数のトナー補給容器を洗浄し得るように、トナー補給容器の形状や構造、その洗浄方法および洗浄装置を工夫すること。
【解決手段】第一の開口部１１と、これに対向する少なくとも１つ以上の第二の開口部１２を前後に有する紛体容器１０内に、紛体を吸着する性質を持つ粒体の洗浄媒体１を投入して、該紛体容器１０の内部に付着した残留紛体に接触させて除去する紛体容器１０の洗浄方法を前提として、
上記紛体容器１０の第一の開口部１１よりも高所から、上記洗浄媒体１を該第一の開口部１１に向けて流下させて、該紛体容器１０の内部を洗浄することである。 （もっと読む）

本発明は、重炭酸ナトリウム、その混合物または類似した手段を使用し、かつ、単一のブロックのプラスチック・サンドブラスト・ブース（Ｃ）を備えた新規な洗浄設備である。ブースは、支持体（Ｓ）、洗浄材料供給装置（Ａ）のための室、および、濾過装置（Ｆ）のための室からなる単一のブロック・プラスチックＬ字状の要素に配置される。サンドブラスト・ブース（Ｃ）は、ホッパ状に形成される底部（Ｃｔ）、アクセスを許容するように設計されたヒンジ結合された開口側壁（Ｃｏ）、透明なガラスを備えた点検ウインドウ（Ｃｆ）、および、長手袋の挿入のために並んで配置された２つの孔（Ｃｍ）を有する。
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【課題】 環境に与える影響が小さく凹凸面の凹部に付着した汚れを低コストで除去することができる洗浄装置、洗浄方法及び鉄道車両用洗浄粒子を提供する。
【解決手段】 噴射装置７のノズル部７ｄから噴射水Ｆが噴射すると、この噴射水Ｆ中の洗浄粒子Ｃが車両２の外板３の凹凸面３ａに衝突する。このとき、洗浄粒子Ｃが凹凸面３ａの凹部に進入可能であり、かつ、凹部の表面と衝突可能であるため、噴射水Ｆの噴射圧が低圧であっても凹凸面３ａの凹部に簡単に進入して凹部の表面と衝突する。凹凸面３ａの凹部には鉄酸化物などの汚れＤが付着しているときには、この汚れＤに洗浄粒子Ｃが衝突してこの汚れＤにせん断力などの物理力が作用し汚れＤが凹部から除去される。その結果、洗浄粒子Ｃを外板３に高圧で噴射する必要がなくなり、車両２の隙間から車内や機器類に水が浸入するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学ローパスフィルターと言った圧電材料、及びこれらが組み込まれた基板などの洗浄装置を提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為に本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、炭酸ガス源と連接されて炭酸ガススノーを被洗浄物に噴射する炭酸ガス噴射ノズルと、被洗浄物が洗浄装置内において軟エックス線を照射される軟エックス線照射装置をもつことを特徴とし、また、洗浄装置の内部底面の上面に粘着マットを載置する構造を有することを特徴とし、また、被洗浄物への軟エックス線の照射が搬入装置を除いた洗浄装置と排出装置の内部において行われる構造を有することを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】配管系を構成する配管の内壁面を損傷することが無く、しかも、下水道処理場等から排出される有機性汚泥を有効利用することを可能ならしめる様な配管内清浄方法及びそれに用いられる清浄システムの提供。
【解決手段】有機性汚泥を焼成して多数の粒体（１）を生成する工程と、生成された粒体（１）を清浄化するべき配管（２）に供給する工程と、供給された粒体（１）を清浄化するべき配管（２）に流過させる工程、とを有する。 （もっと読む）

【課題】 濾別部材の清掃作業を容易化し得る洗浄体分別装置を提供する。
【解決手段】 流体を流通させる流体流路１における洗浄対象部の設置箇所よりも下流側に設けられる筒状本体３１と、その筒状本体３１内に組み付けられて、その筒状本体３１内に流入した流体から洗浄体を濾別する濾別部材３２とが設けられ、筒状本体３１に、濾別部材３２にて濾別された洗浄体を分岐路３に導く導入部３１ｈが開口されて、流体流路１において流体と共に流通する洗浄体を分岐路３に分別するように構成された洗浄体分別装置であって、筒状本体３１に、濾別部材３２を挿脱自在な挿脱用開口部３１ａが、流体流路１に接続するための一対の接続部３１ｂ，３１ｃ同士の間に位置させて設けられ、濾別部材３２が、挿脱用開口部３１ａを通じて挿脱自在な状態で、筒状本体３１内に組み付けられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能および作業安定性が良く、被洗浄物へ悪影響を与える恐れが少なく、特にＩＣ及びＬＳＩ等の半導体素子や液晶パネル素子の製造に有用な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 凝固した弗素系溶剤からなる粒子を被洗浄物表面に噴射して固体噴射洗浄することを特徴とする固体噴射洗浄方法を提供する。なお、弗素系溶剤が、炭素数４〜６の環状ハイドロフルオロカーボンであることが好ましく、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタンであることが特に好ましい。 （もっと読む）

【課題】家庭、業務用の調理、厨房回り器具、廃包装容器、廃物、食材、家庭用品、室内空気浄化等の清浄化機器を備え防疫、アレルギー、家屋安全対策可能な厨房システム
【解決手段】ミニプラントとして混合ゴミを最小に抑制する資源化、加熱乾燥減容、乾燥剤再生利用、臭気排気処理等の組合せからなる。温度測定制御警報系を兼用、或は時間分割利用した正確制御、可動吸引口による過大換気抑制、排気浄化、熱気利用、圧縮装置設置、下水からの汚染防止、出し入れ可能なゴミ、空気浄化機、同再生機能等の組み込みで厨房の汚れを防止し精密機器、ディスプレイ設置、共通モーター設置等を可能にし、温室度素子で居室の温湿度、防災管理もできる。機器収容部設置で逐次追加も容易。 （もっと読む）

【課題】被焼成物（ガラス基板）の焼成（熱処理）工程で発生する熱処理用治具（セッター）の不具合を研磨加工することなく改善できるとともに、低コストで、且つ熱処理用治具（セッター）の長寿命化に寄与することができる熱処理用治具の洗浄方法を提供する。
【解決手段】表面に所定の機能を生じる膜が形成されたガラス基板の熱処理に用いる熱処理用治具の洗浄方法である。熱処理時に熱処理用治具の表面に付着したガラス基板に起因する異物を除去するにあたり、熱処理用治具を酸性溶液及びアルカリ性溶液で交互に少なくとも１回以上浸漬する。 （もっと読む）

従来技術（酸剥離）による部品の層範囲の除去方法では不均質な切除が行われるため、粗悪な結果を招く。それらの公知方法はまた、時間を要するものである。部品の層範囲を除去する本発明方法は、除去すべき層範囲をまず塩浴で、次いで酸浴で処理し、その部品を中間又は最終工程中に錯体生成物で処理する。塩浴に超音波を加えたり、酸供与体を添加したり、酸浴での処理後サンドブラストや流体研磨を行うことで、一層良好な結果を得ることができる。
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【課題】 多数の筒状ワークの内面を自動的かつ連続的に研掃できる技術を提供する。
【解決手段】 十字形筒状反転器２を、水平なＹ軸周りに９０度間欠的に回動させて、ワーク（長いワーク３ｌでも短いワーク３ｓでも良い）を該十字形筒状反転器に差し込む。
ワークはａ位置に搬入され、十字形筒状反転器と一緒に回動してｂ位置になる。このとき、「ノズル管６に装着されたノズル５」がｂ位置のワーク内に上昇して該ワークの内面を研掃する。研掃済みのワークはｃ位置に回動し、十字形筒状反転器２から抜き取られる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、流体流路１において流体Ｆと共に流通する洗浄体ＳＢを下流側分岐路３に分別する洗浄体分別装置３０において、濾別した洗浄体ＳＢを良好に導入口３３ａに流入させることができ、更に、分別部濾別部材３２を簡単に筒状本体３１内に組み付け可能な洗浄体分別装置３０を提供する点にある。
【解決手段】 前記導入口３３ａが、前記筒状本体３１内において上流側に向けて開口し、前記分別部濾別部材３２が、上流側に向けて拡径する錐状に形成されていると共に、前記錐状の頂部に前記導入口３３ａに連通する連通部３２ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、洗浄体ＳＢを洗浄対象部２０と循環路４との間で循環させて洗浄対象部２０を洗浄する循環運転を実行可能な運転制御手段５０を備えた洗浄装置において、洗浄体ＳＢの磨耗を抑制し簡単に洗浄体ＳＢを回収可能とする点にある。
【解決手段】 上流側回収送出路６と下流側回収送出路７との間に流体Ｆから洗浄体ＳＢを濾別する収容部濾別部材４３を備えた収容部４０を備え、下流側分岐路２と上流側分岐路３との接続状態を、循環路４を介して接続される循環状態と収容部４０を介して接続される回収送出状態とに切り換え可能な切換手段１０を備え、運転制御手段５０が、循環運転実行前にポンプ９非作動状態で切換手段１０を回収送出状態とする送出運転を実行し、循環運転実行時にポンプ９作動状態で切換手段１０を循環状態とし、循環運転実行後にポンプ９作動状態で切換手段１０を回収送出状態とする回収運転を実行する。 （もっと読む）

軌道と平行な帯電した電気接点レールの下に装着された電気絶縁碍子を洗浄する装置及び方法であって、軌道上を移動する車両に取り付けられた位置決めアームと、固定又は可動フィンガを持つ洗浄ステーションを含む装置及び方法である。フィンガは洗浄具を取り付けられ、車両が絶縁碍子のそばを通過するときに、絶縁碍子に係合し、作用し、周囲を部分的に回転し、離れる。洗浄ステーションは、電気接点レール上に載ることもでき、絶縁碍子の周囲の一部の周りを回転するＬ字形洗浄具ホルダーに取り付けられた洗浄具を持つ可動垂直部材を有している。洗浄具は、動力式回転、往復動、震動、振動、及び／又は線状ブラシ、巻き付け洗浄ベルト、音響ホーン、超音波震動ガン、レーザー、蒸気、水道水もしくは純水を使用する、固定、回転又は振動スプレーバー及び回転ヘッド上の加圧洗浄及び／又はウォータジェット・ノズル、並びに空気式研磨ノズルを含む。 （もっと読む）

本発明のボール・トラップ２は、パイプラインに接続される構成され、パイプライン内の流体の主流体通路は、ボール・トラップを通り抜ける。本発明のボール・トラップは、安全解放シーブ・ゲート２２を具備するシーブ導管を有する。本発明シーブ・ゲート２２は、閉鎖位置と開放位置との間を移動する。閉鎖位置においては、洗浄用ボールはボール・トラップに捕獲される。開放位置においては、パイプライン内を流れる流体のインピーダンス（抵抗）は低下している。このシステムのゲートは、通常閉鎖位置にあり、洗浄目的あるいはシステムの安全上のニーズ（例えば、シーブ導管の上流側と下流側との間の所定の差圧差）に応じて、開放位置に移動する。これにより、緊急の圧力解放特徴を具備する。
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