【課題】洗浄室内を水分の少ない炭酸ガスに置換することで、ドライアイスによる洗浄時の結露や凍結を防止でき、また、炭酸ガスを有効に利用できるドライアイス洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワーク２を洗浄室１内に投入した状態で、洗浄室１内を真空ポンプ１２により真空引きし、注入ノズル１１から炭酸ガスを注入し、洗浄室１内を炭酸ガスに置換する。洗浄ノズル３から液化炭酸ガスを噴出させ、粉末状のドライアイスによりワーク２の洗浄を行なう。洗浄後、洗浄室１内の炭酸ガスを回収装置１３により回収し、フィルタ１４を通して再液化装置１５により液化し、再液化用ボンベ１６に貯蔵する。再液化用ボンベ１６に貯蔵した液化炭酸ガスを、置換用ガス及び洗浄用に再利用する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法及び装置で、確実に延伸された金属線材の表面の酸化皮膜等を除去することができる金属線材のスケール除去方法と装置を提供。
【解決手段】水等の液体中にあらかじめ研掃剤を入れておき、その液体中に鋼線７等の金属線材を通過させるとともに、高圧の液体を液体中で鋼線７の表面に向けて噴射する。研掃剤は、粒径約１０μｍ〜約８００μｍのジルコン等の球状ジルコニアビーズである。研掃剤が分散した液体中を鋼線７が通過し、高圧の液体が鋼線７の表面に噴射されて、研掃剤により鋼線７表面のスケールが除去される。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面とベベル部への付着異物を除去することのできる基板裏面のドライ洗浄方法とその装置を提供する。
【解決手段】非洗浄対象の基板を容器内に搬送し、前記基板を非接触に吊り下げて保持し、前記基板の裏面に、放出後は気化や揮発によって残留することの無い流体を放出し、前記基板の裏面に付着する異物を前記流体を当てることで除去し、当該除去作業後に前記基板を前記容器から搬出する。
【効果】基板の裏面や端部に付着した異物を、再付着や再汚染を起こすことも無く、また、除去装置からの発塵も無しに、かつ、付着異物の性状に無関係に効率的に除去可能となる。 （もっと読む）

【課題】２種類の洗浄媒体、すなわち、トナーを遊離させる性質を有する洗浄媒体、トナーを吸着する性質を有する洗浄媒体を用いて、洗浄媒体の回収容易性と細部への洗浄能力を向上させるとともに、洗浄作用を持続させて高い洗浄度を実現する粉体の乾式洗浄方法及びこの方法を実施する装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象物１と洗浄媒体１４、１５との相対移動により前記洗浄対象物表面に付着した粉体１６を除去する粉体の乾式洗浄方法において、非帯電性の第１の洗浄媒体１４と前記粉体１６を吸着可能な第２の洗浄媒体１５を同時に用いて前記洗浄対象物１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 熱硬化性樹脂用の成形機用の洗浄剤として好適な洗浄剤樹脂組成物の提供。
【解決手段】
（Ａ）非晶性樹脂１００質量部に対して、（Ｂ）モース硬度が３〜８の無機充填材を２０〜２００質量部、必要に応じて（Ｃ）界面活性剤を１〜１０質量部含有し、比重が１．１５〜２．５である成形機用の洗浄剤樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 低コストで汚染物質を除去でき、しかも、洗浄対象物を損傷しない洗浄ノズル及びそれを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】 断面円形のスロート部１１の下流側に流れ方向に拡径するダイバージェント部１３を備えたノズル本体１８と、ノズル本体１８に供給される圧縮空気１５の流れと同方向に洗浄液２０を吐出する洗浄液供給管２１とを有する洗浄ノズル１０であって、洗浄液供給管２１の吐出口２２が、ノズル本体１８の内側壁面２３から離れたスロート部１１の近傍に配置され、しかも、圧縮気体１５がスロート部１１で音速となっている。 （もっと読む）

当該公表は、８〜１６個の炭素の平均鎖長を有する脂肪族炭化水素成分と、約０．０００１ｗｔ％〜約５０．０ｗｔ％のルイス活性成分とを含む加工流体に向けられている。 （もっと読む）

【課題】 超臨界流体を使用した基体表面の洗浄方法において、その洗浄能力の向上を図る。
【解決手段】 超臨界流体に対して融点が臨界温度以上である副成分を１種類以上含み、副成分が超臨界流体と相分離することで固体微粒子を形成し、超臨界流体中に分散した固体微粒子が被洗浄物の表面に衝突する衝撃力を用いて汚染を除去する。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めることによって洗浄品質と洗浄効率とを高めることができ、複雑な形状の部品であっても傷を付けたり洗浄残しを発生することなく洗浄することが可能な乾式洗浄装置を提供する。
【解決手段】付着物が付着した被洗浄体Ｗ及び被洗浄体Ｗから付着物を除去する洗浄媒体Ｍが入る空間を形成し流入口４ａを介してその内部に気体を導入し吸引口３ａを介してその内部から気体を排出する洗浄槽１０と、洗浄槽１０内に前記気体による気流を形成する気流形成手段３，４とを有し、洗浄媒体Ｍが気流により飛翔することで被洗浄体Ｗに衝突して付着物を除去する乾式洗浄装置において、洗浄槽１０と気流形成手段３，４との間に気体及び付着物の通過を許容し洗浄媒体Ｍの通過を不可とする開口を備えた分離手段２を設け、分離手段２に付着した洗浄媒体Ｍを再飛翔させる構成とした。 （もっと読む）

本発明は、噴射剤ノズルによりトーチの個々の機能部品に吹き付けられる低温の噴射剤によって、アーク溶接トーチまたは切断トーチから汚れを洗浄する装置（１０）および方法に関する。噴射剤ノズル（１２）は、互いに同心的に配置された少なくとも２つの噴射剤の射出領域（２２、２４）を有しており、トーチの洗浄されるべきすべての機能部品に広い面積で同時に、かつ的確に低温の噴射剤を作用させるために、開口角の異なる少なくとも２つの補助ジェットを形成するように構成されている。このことは、洗浄結果を大幅に損なうことなく、噴射剤ノズルの位置に対するトーチヘッド部の位置決めについての広い許容範囲を可能にする。 （もっと読む）

石英基板の表面を処理する方法は、初期粗面度を有する作用面を与えるように基板を準備するステップと、その作用面を超音波で酸性エッチングして、作用面の粗面度を少なくとも約１０％高めるステップとを備えている。一実施形態において、初期表面粗面度は、約１０Ｒａより大きく、また、別の実施形態において、初期表面粗面度は、約２００Ｒａより大きい。更に別の実施形態において、初期表面積は、約２００Ｒａ未満である場合に、約２００Ｒａより大きく増加される。本発明の他の実施形態において、作用面粗面度は、少なくとも約２５％又は少なくとも約５０％増加される。表面積（粗面度で測定する）の増加と同時に、表面欠陥を減少し、基板から粒状汚染物を減少する。 （もっと読む）

【課題】配管内面処理における機材コストおよび材料コストの低減、作業スペースの確保ならびに作業効率の向上を図る。
【解決手段】配管１の上端２から配管１内に可撓性のホース３を挿入する。送風装置１０により、配管１内に位置するホース３の先端４から処理材５を配管１の内面に向けて噴射させるとともに、ホース３を配管１の長手方向に沿って移動させる。それと同時に、ホース３の先端４に対向する側の配管１の端部１１から吸引装置１２によって吸引する。 （もっと読む）

【課題】 バレル研磨とその後の洗浄処理とをまとめて一気に行うことのできる研磨洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】 処理対象物を収容したバレルＢＡ１〜ＢＡ３を、洗浄液に浸漬した状態で回転させて、処理対象物とメディアとを流動させる処理槽１〜３と、洗浄液に接触しない状態でバレルＢＡ１〜ＢＡ３を保持して回転させる空転機構ＲＴ（Ｈ）と、処理槽１〜３に接続された液タンクＴＫ１〜ＴＫ３と、液タンクＴＫ１〜ＴＫ３と各処理槽１〜３との間で洗浄液を循環させる循環機構とを備えている。各バレルＢＡ１〜ＢＡ３には、研磨屑が通過自在な貫通孔ＨＯが設けられているので研磨屑が有効に排出される。排出された研磨屑は、循環機構において捕捉される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置中で使用するためのセラミック部材を洗浄する方法であって、セラミック部材から半導体への金属移行量を大きく低減できるようなセラミック部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】半導体製造装置中で使用するためのセラミック部材を洗浄する方法を提供する。セラミック部材をブラスト処理する工程と、この後にセラミック部材を洗浄する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 ブラスト噴射回収部が床面に非接地状態の際は、気体流や粒体（ビーズ）が飛散することがなく、又、広い範囲の付着物の剥離乃至除去作業を群なく均一に行うことのできる付着物除去装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 噴射装置４から気体流２と粒体３を噴射させて床面や路面の付着物Ｆを剥離乃至除去する付着物除去装置において、該噴射装置４を底面のみ解放形状のブラストボックス５４で覆い、該ブラストボックス５４内で噴射した粒体３及び剥離除去された付着物Ｆを回収するバキューム回収部５を設けるとともに、これら噴射装置４とバキューム回収部５からなるブラスト噴射回収装置Ｂを接地させた作業状態と上昇退避させた退避状態とに一体的に昇降可能に構成し、更に、ブラスト噴射回収装置Ｂの退避状態を検知する検知手段Ｋを設け、該検知手段Ｋの検知時には気体流２及び粒体３を噴射させないよう規制してなる付着物除去装置の構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ブラスト噴射回収装置が床面の歪みや湾曲、凸凹に対して、確実に追従し、床面との間に隙間が形成されず、又、床面との摺動抵抗の少ないコンパクトな付着物除去装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 床面や路面の付着物Ｆを除去する付着物除去装置において、噴射ノズル１から気体流２とともに粒体３を噴射させる噴射装置４と、該噴射ノズル１から噴射した粒体３及び剥離除去された付着物Ｆを回収するバキューム回収部５とからなるブラスト噴射回収装置Ｂを車体６前方に配設し、該ブラスト噴射回収装置Ｂを車体６に対し一体的に上下昇降自在、且つ、左右揺動自在に構成してなる付着物除去装置の構成とする。 （もっと読む）

【課題】 噴射装置が首振りや往復動しても、ホース類が繰り返しの屈曲作用によって破損することがなく、又、ホースが周囲の部材と接触摩耗することのない供給ホースの配索方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 床面や路面の付着物Ｆを除去する付着物除去装置において、噴射ノズル１から気体流２とともに粒体３を噴射させる噴射装置４と、該噴射ノズル１から噴射した粒体３及び剥離除去された付着物Ｆを回収するバキューム回収部５とからなるブラスト噴射回収装置Ｂを車体６前方に配設し、該ブラスト噴射回収装置Ｂを車体６に対し一体的に上下昇降自在、且つ、左右揺動自在に構成してなる付着物除去装置の構成とする。 （もっと読む）

【課題】 環境に負荷を与える合成洗剤、剥離剤を使用しないことにより、廃リンス液、廃剥離剤等の廃液の回収と処理がなく、コスト削減と作業の安全性を確保するフロアメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】 研磨粒子を適宜脱落するように固着した研磨ディスクとし、研磨ディスクに設けた複数の切り欠きを通して研磨かすを吸蔵するインナーパッドとポリッシャーの回転力を伝えるベースパッドを用いる。 （もっと読む）

【課題】 ワークの６面を精度良く洗浄およびバリ取りする６面洗浄・バリ取り装置を提供する。
【解決手段】 メディア（氷粒など）３と、超高圧水４とのうち少なくとも超高圧水４をノズル６から噴射してワークＷの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、ノズル６は、メディア３を噴射させるノズルα６ａと、超高圧水４を噴射させるノズルβ６ｂ、ノズル６の先端近傍において、ノズルα６ａをノズルβ６ｂに合流させたミキサーとを備え、超高圧水４の流速によって生じるミキサー内の負圧によってメディア３を吸引して超高圧水４とメディア３とを混合させた混合体をノズル６から噴射させる。ノズル６は、混合体５を真下に噴射するように、Ｚ軸に平行に配置され、かつ、ワークＷの上方に配置されて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向へ移動され、ワークＷは、Ｙ軸方向へ移動されると共に、Ａ軸方向、およびＢ軸方向へ回転可能とされる。 （もっと読む）

【課題】 氷の微粒子を含む処理液を基板の表面へ供給して基板の処理を行う場合に、処理むらを生じることなく均一な処理が可能であり、基板上に形成された被膜にダメージを与えることもない装置を提供する。
【解決手段】 基板の処理を行う基板処理部１０と、純水中に氷の微粒子を含有させる氷スラリー製造装置１２と、氷スラリー中に気体を溶解させる手段と、氷スラリーを加圧する加圧ポンプ５２および加圧タンク１４と、気体が溶解し加圧された氷スラリーを基板処理部１０へ供給する氷スラリー供給配管５６とを備えて装置を構成した。 （もっと読む）