【課題】本発明は、噴射される洗浄液の運動エネルギーをシート体の洗浄作用に効率よく寄与させることができるシート体洗浄装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】布帛洗浄装置１は、布帛Ｆを洗浄するための洗浄部１１、１２及び１３を備えている。洗浄部１１は、支持ロール１１ａの周面に布帛Ｆを隙間なく密着した状態で支持するようにガイドロール１１ｂ及び１１ｃ並びにテンションローラ１１ｄ及び１１ｅが設けられている。支持ロール１１ａの下方には、複数の噴射ノズルを備える噴射部２１が配設されており、ウォーターカーテン状に洗浄液が噴射されて支持ロール１１ａの支持表面に当てられるようになっている。布帛Ｆが支持表面に密着した状態で洗浄液が噴射されるので、布帛Ｆが振動することがなく効率よく洗浄処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面の洗浄性能が高く、耐久寿命が長いガラス基板用洗浄工具を提供する。
【解決手段】洗浄工具１０の砥石片１６は、マトリクスとしての母体樹脂２４と、その母体樹脂２４よりも硬く且つガラス基板４２よりも低強度のフィラー( 薄片状シリカ、マイカ）２２とを含むことから、洗浄に際して砥石片１６によりガラス基板４２を傷つけることなく、ガラス基板４２の表面に付着した封止樹脂が好適に削除されるとともに、ガラス基板４２の表面に付着したガラスカレットが好適に弾き飛ばされるので、ガラス基板４２の表面における高い洗浄性能と長い耐久寿命とが得られる。 （もっと読む）

【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】障害物がある複雑な形状のダクト内清掃を簡便効率よく清掃できる清掃装置、清掃方法を提供する。
【解決手段】ダクトの内壁に向けて圧縮空気噴出で駆動するはたき作用による堆積塵埃をはたき落とすはたき部分と可撓性のホース空気吸引部分の先端部に位置するはたき落とされた塵埃を吸引除去する塵埃吸引部分とを備え、前記塵埃吸引部分とはたき部分とが、隣接された状態で挿入され作動するダクト内清掃装置と清掃方法。 （もっと読む）

【課題】 長期にわたり安定的に、走行中のシート状物表面に付着した異物を除去し、かつ再付着を防止する付着異物除去装置、付着異物除去方法、シート状物を提供する。
【解決手段】 シート状物の少なくとも一方の表面に対して設置され、前記シート状物に対してエアーを吹き付け可能なエアー吹き付け手段と、前記エアー吹き付け手段から吹き付けられたエアーがシート状物表面で反射する方向を覆うように配置された吸引手段を有する付着異物除去装置であって、前記吸引手段の吸引フード内部に、開口断面を覆うフィルターを具備することを特徴とする付着異物除去装置。 （もっと読む）

【課題】車両に付着した粉塵をガレージにおいて除去する。
【解決手段】本発明のガレージ１０は、ガレージ１０に入庫された車両又はガレージ１０に入庫途中の車両に向けて気体を噴出する噴出ノズル１６と、ガレージ１０内の空気を吸引する排出ユニット１８と、噴出ノズル１６から噴出される気体の車両に対する吹付位置を調整するためのアクチュエータ５２とを備える。この構成によれば、噴出ノズル１６から噴出された気体によって車両から粉塵を吹き飛ばして除去することができる。しかも、このときには、アクチュエータ５２によって噴出ノズル１６のスライド位置及び取付角度が変更されるので、粉塵をより一層効果的に車両から吹き飛ばして除去することができる。また、排出ユニット１８によってガレージ１０内の粉塵を外部に排出することで、車両から吹き飛ばされた粉塵が再びガレージ１０内において車両に付着することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置。
【解決手段】プラズマ発生装置１１０は、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）を原料とする焼結体から成る筐体部１１を有する。筐体部１１は、スリット状のガス導入口１１ｉ及び複数個の円筒状のガス噴出口１１ｏを有する。ガス導入口１１ｉからプラズマ化領域Ｐの直上までは、スリット幅（２．Ａの前後方向、図２．Ｂの左右方向）を１ｍｍとし、内径１〜２ｍｍのガス噴出口１１ｏはプラズマ化領域Ｐの長手方向に一直線状に形成されている。プラズマ化領域Ｐの断面は一辺２〜５ｍｍの正方形とした。電極２ａ及び２ｂは各々向き合った表面に凹部（ホロー）を有する。商用交流電圧である、６０Ｈｚ、１００Ｖを用いて約９ｋＶに昇圧し、２０ｍＡで電極２ａ、２ｂ間に印加し、アルゴンをガス導入口１１ｉから導入すると、電極２ａ及び２ｂ間を４ｃｍ迄離間しても、プラズマ化が確認された。 （もっと読む）

【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】この発明は処理される基板を侍従による撓みが生じないように搬送することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を処理する処理装置において、
固定ステーション８と、この固定ステーションの側面に設けられ上記基板を立位状態で搬送する搬送手段１０と、上記固定ステーションの側面を上記搬送手段によって立位状態で搬送される上記基板に所定の処理を行う処理手段１７，１８，１９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】微細気泡を利用したシャワー及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】気体が溶解された溶解水を生成し、溶解水に微細気泡を発生させて洗浄効率が高く、且つ人体に無害なシャワー用水を提供するシャワーが開示される。シャワーは、圧力タンクと、先端部が給水管に直結され、末端部が前記圧力タンクの上端に連結され、用水を前記圧力タンクの内部に噴射させる用水供給管と、前記圧力タンクの内部に配置され、前記用水供給管により噴射される前記用水に前記圧力タンクの内部の気体を混合して前記用水に前記気体の溶解された溶解水を生成する溶解槽と、先端部が前記圧力タンクの下端に連結され、前記圧力タンクに貯留された前記溶解水の排出経路を提供する溶解水供給管と、前記溶解水供給管の末端部に結合されるシャワーヘッドと、を含む。 （もっと読む）

【課題】管にケーブルを挿通したままであっても、ケーブルを損傷することなく高圧洗浄流体により管内に付着する異物を除去することができる洗浄技術の提供。
【解決手段】洗浄装置６はケーブル２を挿通させて保持した状態とし、この状態で洗浄装置６の外周面に設けた多数の噴射口２３から高圧洗浄水を噴射してケーブル管１の内周面に噴き付ける。このため高圧洗浄流体が線状体に直接噴きかからず、高圧洗浄水によってケーブル２を損傷することが無い。したがって高圧洗浄水の昇圧限界を高めることができ、ケーブル２を挿通したままであってもケーブル管１の管内に付着する異物を強力に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄面に強固に付着した汚れを除去し、洗い残しの発生のない優れた洗浄性能を長期間に亘り発揮すると共に、凍結が防止される洗車機用洗浄ブラシ、及びその洗車機用洗浄ブラシを搭載した洗車機を提供する。
【解決手段】洗車機用洗浄ブラシ１は、ブラシ部２及び軸体３を有し、前記ブラシ部２は前記軸体３の外周部に形成されてあると共に、前記被洗浄面に当接するブラシ片４及び前記軸体３に前記ブラシ片４を固定する固定手段５を有し、前記ブラシ片４は少なくとも片面に凹部８及び／又は凸部９が形成された布帛６、及び合成樹脂発泡体７を有すると共に、前記合成樹脂発泡体７の少なくとも片面に前記布帛６が接合されてあり、前記布帛６に形成された凹部８及び／又は凸部９が前記被洗浄面に当接するよう形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】作業効率を向上させることができ、作業スペースの省スペース化を図ることが可能な塗布装置及び塗布装置のクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布する塗布部とを備えた塗布装置であって、前記基板搬送部に複数設けられ、気体の噴出及び吸引が可能な孔部と、前記複数の孔部から気体を噴出する噴出モードと前記複数の孔部から吸引する吸引モードとを切り替えて行わせる制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハをスポンジブラシによって所定の洗浄度合に洗浄できるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】回転テーブル１１に保持された半導体ウエハ２２を回転駆動されるスポンジブラシ３８によって洗浄するブラシ洗浄装置において、上記回転テーブルを回転駆動するモータ１６と、上記洗浄ブラシを回転駆動するモータ３４と、上記スポンジブラシを上記被洗浄物の径方向に沿って揺動させる揺動機構３２と、上記スポンジブラシを半導体ウエハの径方向中心部から外方へ揺動させたときに上記スポンジブラシの上記半導体ウエハに接触する端面と上記半導体ウエハの上記端面が接触する部分との相対速度が所定値以上になるよう上記角モータを制御する制御装置６４とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】事務機器のリサイクルに際し、ユニットや部品に付着している微粒子粉体であるトナーを除去するのに従来の湿式の洗浄方法では、種々の問題があるため、乾式の洗浄方法が用いられている。弾性変形可能な接触部材を用いて攪拌する例では、接触部材と洗浄対象部材の接触力が不十分である。粒状固体を用いたブラスト法はワークを傷めてしまう。洗浄媒体を加速するエアノズルを用いる方法は有効であるが、気流がまだ弱い。
【解決手段】洗浄媒体加速ノズル２によって生ずる気流Ｆ２は洗浄槽１内を循環する途中、補助加速ノズル３の近傍では、補助加速ノズル２によって生ずる気流Ｆ３とほぼ同方向になり、且つ、同気流Ｆ３は洗浄媒体加速ノズル２の近傍に至ったとき、気流Ｆ３とほぼ同方向になるよう構成されているので、それぞれのノズル近傍では常に互いに気流を強め合う方向に働くため、圧縮空気のエネルギが有効に利用できる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の搬送方向に対し斜めに１本設けられたエアナイフであっても、ガラス基板の進行方向の末端部での液残りが発生しないガラス基板洗浄機のエアナイフを提供する。
【解決手段】１）エアナイフ１は、ガラス基板２０Ｂの搬送路上方にて、その片端部ｅは円弧状の揺動が可能なように、他端部ｆが揺動機構３０に取り付けられており、２）揺動機構は、ａ）洗浄液の取り除き開始から終了までの間、エアナイフをガラス基板の搬送方向に揺動して、エアナイフの角度を開始時の角度Ａから終了時の角度Ｂまで等速度で変え、ｂ）取り除き終了後はエアナイフの角度を開始時の角度Ａまで戻す。角度Ａが２０度で、角度Ｂが６０度であること。 （もっと読む）

【課題】 従来の電気装置における粉塵除去のやり方は、筐体のカバーを固定しているネジ等を外し、粉塵の除去終了後は筐体のカバーを固定しているネジ等を取り付けるといった分解と組立の作業が必要であり、また、作業スペースの確保も必要なため、粉塵除去の効率が非常に悪かった。
【解決手段】 筐体と、前記筐体内に設けられた部品と、少なくとも一部が前記筐体内にあり内部に流体を通すものであって前記部品に対して前記流体を噴き出す孔を有する管を備えることにより、電気装置内の部品等の粉塵を容易でかつ効率的に除去する。 （もっと読む）

【課題】 壁面に付着した花粉、ハウスダスト等の微細アレルゲンを効率よく除去することが出来る壁面浄化装置を提供する。
【解決手段】 壁面浄化装置の装置本体１０の下部には連結管２０を介して枠体３０が連結されている。装置本体１０内には集塵フィルター１３と送風手段及び吸引手段としてのモータ１４及びファン１５が設けられている。枠体３０には、壁面に空気を吹き付ける吹出し部５０と、枠体３０内の空気を吸引する吸引部６０とが形成されている。吹出し部５０は、多数の吹出しノズル５１を集合させた状態で形成されている。枠体３０の周縁端部３１は、柔軟な材質で形成されており、この周縁端部３１が壁面に略密着状態で当接できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく基板搬送部材に付着した異物を完全に除去することができる基板搬送部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０が備える基板搬送装置としてのトランスファモジュール１１は、チャンバ４１と、該チャンバ４１内に配置された基板搬送ユニット２９と、フォーク３１の斜め上方に配置された洗浄剤噴出ノズル４３とを備え、洗浄剤噴出ノズル４３は、フォーク３１の表面、特にテーパパッド３２の切頭円錐状部に向けて液相及び気相の２つの相状態を呈する洗浄物質、例えば、純水と、不活性ガス、例えば、窒素ガスとが混合された洗浄剤を噴出する。 （もっと読む）

【課題】リモートプラズマ処理方法を用いる洗浄装置及び方法において、エッチングレートを向上させ、これによって洗浄時間の短縮化を図る。
【解決手段】成膜装置の処理雰囲気に設置された成膜装置の構成部材１３０の表面から付着物を除去するための洗浄装置であって、上記構成部材１３０が載置される載置領域を有するチャンバ２と、フッ素を含む反応ガスをプラズマによって分解することによって活性ガスＧを生成し、活性ガスＧを上記チャンバ２内に供給する活性ガス供給部３と、上記チャンバ内に気化した水Ｗを供給する水供給部４とを備える。 （もっと読む）