【課題】旋回動作を伴わずにワークカセットとワークステージとの間におけるワークの搬送を効率的に行うことが可能な搬送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送ロボット１０は、本体１２、第１のアーム１８、第２のアーム１６を備える。第１のアーム１８は、ウェハカセットと本体１２の上方位置との間で往復移動可能に構成される。第１のアーム１８は、ウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第１のハンド１８２を備える。第２のアーム１６は、本体１２の上方位置とウェハステージとの間で往復移動可能に構成される。第２のアーム１６は、第１のハンド１８２とは異なる角度からウェハを把持するように構成された複数の把持部を有する第２のハンド１６２を備える。第１のハンド１８２における把持部と第２のハンド１６２における把持部とは、互いに同じ高さに配置されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】アームが、駆動部１からの回転動作を伝達する伝達機構と、伝達機構を収容するアームケース２０１と、伝達機構を覆うようにアームケース２０１の上面に装着されるアームカバー２１４と、によって構成された水平多関節ロボットにおいて、アームカバー２１４が、アームケース２０１が延在する方向に複数分割された複数のアームカバーからなるよう構成し、さらに複数のアームカバー２１４が互いに折り重なる部分を形成した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により搬送ロボットに対して搬送対象ポイントまでのハンドの移動経路を自動的に教示することが可能な自動教示システムを提供する。
【解決手段】 自動教示システムは、第１の光学センサ７２、第２の光学センサ７４、記録手段および算出手段を実現するＣＰＵ５０を備える。第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４は、搬送対象ポイントに対する相対位置が予め定められるように配置される。第１の光学センサ７２は、ハンド２０の水平方向の一端部を検出可能に構成される。第２の光学センサ７４は、ハンド２０の水平方向の他端部を検出可能に構成される。ＣＰＵ５０は、第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４によってハンド２０の端部が検出された時におけるロボット座標系における座標値を記録するとともに、その座標値に基づいてロボット座標系における搬送対象ポイントの座標値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。関節機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】収納体から被搬送物を搬出入して交換する時間を短縮させると共にロボットの動作の調整作業を容易にすることができるロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、前進動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８を所定のカセット２４に向かって前進するように直進動作させる。同時に、回避動作手段により、前進動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０をＷ２軸２９を中心に反時計方向回りに回動させる。次に、第１ハンド部材２８にカセット２４内の半導体ウェハ２３を保持させる。次に、後退動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８をカセット２４から後退するように直進動作させる。同時に、復帰動作手段により、後退動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０を時計方向回りに回動させる。 （もっと読む）

【課題】開始点から目標点まで特異点を通過させてロボットを動作させ、搬送速度を向上させると共に装置の立上げ時間を短縮させたロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、差分算出手段により、駆動軸の各々の差分θを算出する。時間算出手段により、予め設定可能な駆動軸の各々の速度条件と、上記差分θとから、駆動軸の各々の動作時間Ｔを算出する。比率算出手段により、上記算出された動作時間Ｔが最も長いＢ軸１９を基準軸として、その基準軸の動作量に対する他のＡ軸１７及びＷ軸２１の動作量の動作比率を算出する。算出される動作比率は、Ｂ軸１９を１として、Ａ軸１７は（−θ_ＡＳ／θ_ＢＳ）、Ｗ軸２１は（θ_ＷＳ／θ_ＢＳ）となる。動作手段により、上記算出された動作比率でＡ軸１７、Ｂ軸１９及びＷ軸２１の駆動軸の各々駆動させることにより、ロボット１１を開始点Ｓの姿勢から特異点Ｏの姿勢まで動作させる。 （もっと読む）

【課題】ロボットの防塵防水性を高めるとともに、ロボットのアームに作業性能を低下させない緩衝機構を有する水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節型ロボットは、基台に回動可能な回転軸に固着された水平方向に延びる第１のアームと、そのアーム先端の支持軸に回動可能に連結された第２のアーム１５と、該アーム１５先端の主軸筒１５Ａに上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転する主軸とを備える。第２のアーム１５は、剛性を有し電気回路等を配設される筐体２０と、該筐体２０を上方から側面まで覆うカバー２１を有する。カバー２１には、筐体２０が旋回して移動する方向に向いている外側面２０Ａを覆うスカート部２５が形成されている。スカート部２５は、筐体２０が物と接触する際には緩衝材となるともに、その下端から筐体２０上面の天板まで長い距離があるため防水性や対塵性も確保できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ワーク搬送ロボットを大型化することなく、高速搬送を可能とするハンドリングロボットを提供するものである。
【解決手段】水平に回転可能な第１アーム１０と、前記第１アーム１０の先端に前記第1アーム１０の回転軸と平行な軸に回転支持された回転可能な第２アーム１７と、前記第２アーム１７の先端部に前記第２アーム１７の回転軸と平行な軸に回転可能なフランジ２１と、前記フランジ２１にワーク把持部２５とを備えたワーク搬送ロボットにおいて、前記第１アーム１０の回転軸と平行な前記軸に少なくとも２つの出力軸を備えた減速機構１６，２０を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送する間や基板の位置合わせを行う間にその基板の温度調整を行うこと。
【解決手段】基板の裏面に対向する基板保持面を備えた基板保持部と、各々基板の裏面を支持し、基板との摩擦力によって当該基板の前記基板保持面に対する横滑りを防止する凸部と、前記基板保持面に開口し、基板の裏面に向けてガスを吐出するガス吐出口と、その一端が前記ガス吐出口に接続されたガス流路を流通するガスを温度調整する温度調整部と、を備え、基板の裏面に吐出された前記ガスは基板保持面と基板との隙間を流れ、その隙間の圧力が低下するベルヌーイ効果により、当該基板が基板保持部へ向けて吸引されることにより基板を保持するように基板保持装置を構成する。この基板保持装置は基板搬送手段や基板位置合わせ手段にも適用することができる。 （もっと読む）

【課題】非放射状の直線動作と三次元動作が可能なロボットアーム構造の提供。
【解決手段】ロボットアーム構造（１０）は、少なくともリンク１、リンク２を備える。θ動作は最基端のリンク１の基端部分の第１軸（ｚ１）のまわりに与えられる。Ｒ動作は第１軸から半径方向に前進し、それによって最末端のリンク３の末端部分は半径方向に延びる直線に沿って動ける。エンドエフェクタ（１８）は第１軸と平行なエンドエフェクタ軸のまわりに最末端のリンク３の末端部分に対して回転できるように回動可能に取付けられる。構造（１０）は、アームの手首をそれぞれの軸のまわりに回転させるヨー、ピッチ及びロールモータ３のうち１又は複数を付加することにより改良される。センサアレイは、ｒ、θ、ｚとヨー、ピッチ及びロール動作の１又は複数とを検出し、コンピュータはｒ、θ、ｚ及びヨー、ピッチ及びロール動作の１又は複数を監視及び制御する。 （もっと読む）

【課題】狭い作業領域で効率よくワークを搬送できるハンドリング装置を提供する。
【解決手段】水平方向に伸長するガイドレール１１、ガイドレールに沿って移動する可動キャリッジ２０、可動キャリッジに設けられてワークを取り扱うハンドリングロボットＲを備え、ハンドリングロボットＲは、可動キャリッジに対して上下方向に伸縮自在に設けられたテレスコアーム３０、テレスコアームに保持されると共に水平面内で旋回して伸縮又は屈曲動作を行うべく互いに連結された複数の旋回アーム４０，５０、複数の旋回アームの最も先端側に設けられたハンドユニット６０を含む。これによれば、複数の旋回アームが水平面内で二次元的に移動するものであるため、上下方向の剛性が高く、質量の大きいワークでも停止時に振動やブレ等の発生を防止でき、狭い作動範囲において、安定したハンドリング操作を行える。 （もっと読む）

【課題】ワークを組み付けるサイクルタイムを短縮し、ワークの組み付け精度を高められるスカラロボットを提供する。
【解決手段】第一回転軸１１を中心に回動する第一アーム２１と、この第一アーム２１の先端部２３に設けられる第二回転軸３１と、この第二回転軸３１を中心に回動する第二アーム４１とを備え、この第二アーム４１の先端部４３ハンドリング部５１が設けられ、第一アーム２１と第二アーム４１とをそれぞれ回動させることによってこのハンドリング部５１を少なくとも２次元方向に移動するスカラロボット１であって、第二アーム４１の長さＬ２を第一アーム２１の長さＬ１より短くし、第一アーム２１に凹状に窪むハンドリング凹部３５を形成し、第二アーム４１が一方に回動することによりハンドリング部５１がこのハンドリング凹部３５に収まる構成とした。 （もっと読む）

【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】２つのハンドを備えた搬送装置において、ハンドの動作にともなう振動の発生やアームのダレなどの不都合を低減する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に対し、旋回軸Ｏｓを挟んで旋回軸Ｏｓから等距離にある回動軸Ｏ１，Ｏ２周りに回動可能に支持されたアーム４Ａ，４Ｂと、アーム４Ａ，４Ｂのそれぞれに固定状に支持され、ワークＷを保持しうるハンド６Ａ，６Ｂと、旋回ベース２を回動させる旋回駆動手段と、アーム４Ａ，４Ｂを回動させるアーム駆動手段と、を備え、各ハンド６Ａ，６Ｂは、これに保持させるワークＷの中心が位置するべき基準点Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ有し、上記旋回駆動手段と上記アーム駆動手段が連動して、ハンド６Ａ，６Ｂのいずれか一方を、基準点Ｓ１または基準点Ｓ２が旋回軸Ｏｓを通る水平直線上の移動行程ＧＬを移動するように所定位置間を移動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する第２アーム６を有する多関節アーム部４とを備えている。ハンド３は、ウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材とを備え、第２アーム６は、ハンド３の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ２の搬出開始前に把持部２８に当接して把持部２８をウエハ２から退避させる偏心部材３１を備えている。偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、把持部２８がウエハ２を把持する方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する。 （もっと読む）

【課題】先端側を薄型化したアーム装置を提供する。
【解決手段】アーム装置１００は、回転軸１１１を中心に回転する駆動アーム部１１０と、駆動アーム部１１０の回転に従って駆動アーム部１１０に対して回転する従動アーム部１３０と、互いに回転可能に連結された複数のリンクを有し駆動アーム部１１０及び従動アーム部１３０の回転をリンクによって同期させる同期リンク部１５０とを備え、回転軸１１１が延在する矢印１１１ａの方向で、同期リンク部１５０の少なくとも一部のリンクが駆動アーム部１１０に対して従動アーム部１３０側とは反対側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 高い剛性を持ち、かつ旋回半径の小さい2アーム方式のロボット装置を提供すること。
【解決手段】 ロボット装置1は、円盤状の据付台2と、筐体3と、2本のアーム部10、20およびアーム部10、20の先端に設置されたハンド部材100、200とからなる。ハンド部材100、200は、2股に分かれたフォーク状の平板であり、液晶ガラス基板をこの2股に分かれた部分に載置可能である。大気雰囲気側となる円筒筐体3には制御基板が格納されている。
アーム部10、20は、同軸に配置されたハブ4、5、6上に設置されている。ハブ4、5、6は、同軸のインハブ型のモータが3段に連なった構成となっており、制御基板により旋回制御される。アーム部20は、アーム部10が前後進する際に、後退したままアーム部10に対して垂直方向に旋回する。 （もっと読む）

【課題】アタッチメントの作業範囲での迅速な動作とゆっくりとした動作とを両立するとともに、位置センサや位置検出スイッチなどを用いることなく、動作速度の切換に高い信頼性を有するマニピュレータ装置を提供する。
【解決手段】このコンクリート吹付機（マニピュレータ装置）１は、第一の腕部３の先端側に油圧シリンダ２によって回動可能に第二の腕部４が連結されている。そして、そのアーム先端側に噴射ヘッド装置１０（アタッチメント）が装着される。そして、前記油圧シリンダ２は、一のシリンダチューブ９にその軸方向に伸縮可能な第一および第二シリンダロッド２４、２７を二組備えた複合油圧シリンダであり、この油圧シリンダ２を駆動させる油圧回路は、第一および第二シリンダロッド２４、２７それぞれを、別個に速度制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】スカラ型ロボット１０は、基台１１に回動可能な回転軸１２に固着された水平方向に延びる第１のアーム１３を備え、そのアーム１３の先端部である支持部１４には第２のアーム１５が回動可能に連結され、該アーム１５の先端部には上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転可能な主軸１６が主軸筒に支持されている。主軸１６には、上端部に上部連結部材２１が、下端部に下部連結部材２２が各々回動可能に備えられている。両連結部材２１，２２は、主軸１６に平行な２本の補助軸２３にて接続されて、該アーム１５の先端下面に設けられた回転防止部材２４の嵌合溝２４ａに嵌合されている。この構造により、主軸１６の先端部の振動は好適に抑制される。 （もっと読む）