【課題】各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】基台部１００側からアーム部２及びハンド部３の順で連結され、そのハンド部３を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットであって、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材１３Ａ，１３Ｂとを備えるように構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度を向上するとともに、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 第１および第２アーム部３６，３７は、互いに相対的に旋回可能に設けられる。第１および第２アーム部３６，３７間の関節には、第２旋回駆動手段４２が設けられる。第２旋回駆動手段４２は、第２モータ７６と、第２動力伝達部７７とを有する。第２モータ７６は、第１アーム部３６に固定される固定部７８と、固定部７８に対して、第１アーム部３６の延在方向に略平行な回転軸線Ｌ２２まわりに回転する回転部７９とを有する。第２動力伝達部７７は、第２モータ７６と第２アーム部３７との間に介在し、第２モータ７６の動力を、第２モータ７６の回転部７９から第２アーム部３７に伝達する。このような第２旋回駆動手段４２によって、第１および第２アーム部３６，３７が互いに相対的に旋回駆動される。 （もっと読む）

【課題】死点脱出が可能な離間二軸（フロッグレッグタイプ）の基板搬送装置を提供する。
【解決手段】離間二軸（フロッグレッグタイプ）の基板搬送装置１０では、回動軸１，２に設けられた第１アーム１１，１２の長さと、第１アームと基板支持体の間に設けられた第２アーム２１，２２の長さが異なる場合があるが、本発明の基板搬送装置１０では、死点脱出機構１５の回転力の伝達は、死点位置では解除されるため、長さが異なる場合であっても動作不能になることはない。 （もっと読む）

【課題】小型で装置環境を汚染しない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１、２は、死点脱出機構５０が簡単な構造で厚みが薄い。また、ハンド部２０の連結部が薄くできるため、ハンド部２０を挿入するゲートバルブの開口を小さくすることができる。その結果、搬送室内のダストが処理室に侵入しにくくなる。第一、第二の回転軸１１、１２が、同心状に配置されているため、装置の設置面積が小さく、また、旋回半径が小さいので、この搬送装置１、２を配置する搬送室を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】アイドラプーリを使用せずに簡単な構成でベルトのテンションを調整することができ、テンション調整部の省スペース化や軽量化を実現できるベルト伝動装置を提供する。
【解決手段】１対の回転軸に第１プーリ、第２プーリを配置し、第１の有端ベルトの一端を調整ブロックを介して第１プーリの外周上側に、他端を第２プーリの外周上側に取り付ける。第２の有端ベルトの一端は第１プーリの外周下側に、他端は第１のベルトの巻き掛け方向と逆にして第２プーリの外周下側に取り付ける。第１プーリには調整ブロックの取り付け部に案内部とネジ穴を設ける。ネジ穴へ挿入できるテーパ部を有するテンション調整ネジをねじ込むことによって、調整ブロックを案内部に沿って位置を調整し、第１と第２ベルトの両方のテンションを調整する。調整後はテンション調整ネジを取り外す。 （もっと読む）

【課題】自重及びワーク質量による撓みを減少させ、アームの全長が長く設定されていても、ワークの長距離の搬送を精度良く行う。
【解決手段】多関節ロボット１０は、水平に回動する第１アーム５０と、第１アーム５０の回動中心に対して同軸の扇形の支持板１８と、第１アーム５０と平行なサブアーム５８と、第１アーム５０及びサブアーム５８の各先端に接続された連結部材５２とを有する。支持板１８には円弧レール４０が設けられている。第１アーム５０、サブアーム５８及び連結部材５２は平行リンクを構成する。円弧レール４０は、第１アーム５０の上面に設けられた係合部１００と係合する。連結部材５２には第２アーム５４が回動自在に設けられ、該第２アーム５４の先端には第３アーム５６が回動自在に設けられいている。第３アーム５６の先端には、ワークＷを吸着するエンドエフェクタ５９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の保持対象物の往復運動方向の位置精度を高めることができる保持アームを提供する。
【解決手段】 第１の腕要素(20)が、第１の回転中心(10)を中心として、回転可能に支持され、先端に第２の回転中心(11)を画定する。第２の腕要素(60)が、第２の回転中心を中心として、第１の腕要素に対して回転可能に支持され、先端に第３の回転中心(12)を画定する。伸縮用駆動力発生機構(57)が、第１の腕要素に対して第２の腕要素を回転させる。伸縮用駆動力発生機構によって、第２の腕要素が第１の角度だけ回転したとき、第１の腕要素が、第２の腕要素の回転方向とは反対方向に、第１の角度の１／２の角度だけ回転する。保持部材(80)が、第３の回転中心を中心として、第２の腕要素に対して回転可能に支持される。第１及び第２の腕要素の姿勢を変化させたとき、保持部材が並進移動する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ＸＹ軸とＺ軸の操作が干渉しない五節リンク型ハプティックデバイスを提供する。
【解決手段】五節リンク機構２を有する五節リンク型ハプティックデバイスにおいて、五節リンク機構２の所定位置に設けられ五節リンク機構２を操作する操作部３と、Ｚ軸方向を指示する回転型指示機構４とを備え、操作部３の姿勢を五節リンク機構２の姿勢によらず一定にするための平行リンク機構５とを備えた構成とすることで、ＸＹ軸とＺ軸の操作が干渉しないようにする。。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】
第１及び第２の各平行リンク機構の連結部に設けられたベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力調整を容易にすることである。
【解決手段】
第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ₁ ，ＬＤ₂ が中間リンク台Ｅで連結されて、当該中間リンク台Ｅを構成する上下一対の中間リンク板５が左右一対の中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bで連結されて、当該中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bに支持された左右一対の各プーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ に互いに逆方向の第１及び第２の各ベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ が部分巻回されて、中間リンク台Ｅにおいて第１平行リンク機構ＬＤ₁ の正逆両方向の回動力を第２平行リンク機構ＬＤ₂ に伝達させる構成の物品の直線搬送装置において、前記一対のプーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体Ｐ₁a, Ｐ₁bに対して前記一対のベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ の一端部をそれぞれ固定した構成とする。 （もっと読む）

本発明は、部品をハンドリングするため、例えば、プレス・ラインに部品をローディング及びアンローディングするために、使用される改善された部品ハンドラ装置に係る。この部品ハンドラは、二つの産業用ハンドラまたはロボット（Ｒ１，Ｒ２）の内の第一に、取り付けられて設けられ、且つ前記産業用ハンドラのベースと、前記産業用ハンドラのグリッパ（Ｇ）手段を有するエンド・エレメントとの間の、動力学的なチェインを形成する。この部品ハンドラは、前記産業用ハンドラ（Ｒ１，Ｒ２）のアームのエンド・エレメントに接続されるようにデザインされたリジッドなアーム、及び、前記産業用ハンドラのエンド・エレメントに対する、前記リジッドなアームの径方向の動きのための、少なくとも一つのスイベル手段（２）を、更に有している。 （もっと読む）

【課題】アームの動作速度と動作精度を高めることができるアーム駆動装置を提供する。
【解決手段】関節部により連結された複数のアームを伸縮動作させることができるアーム駆動装置１において、基台９上の第１関節部２に回転可能に連結された第１アーム５と、第１アーム５の先端側に位置する第２関節部３に回転可能に連結された第２アーム６と、第２アーム６の先端側に位置する第３関節部４に連結された第３アーム１０と、第１アーム５の第１関節部２側に設けられた第１タイミングプーリ１１と、第１アーム５の第２関節部３側に設けられた第２タイミングプーリ１２と、第１タイミングプーリ１１と第２タイミングプーリ１２との間に掛け渡され、第１アーム５が回転したときの第２アーム６の回転量を規制する第１タイミングベルト１５と、第１関節部２及び第２関節部３の一方又は両方に、第１アーム５及び第２アーム６それぞれに回転力を伝達する合計２以上の駆動源７，２５とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ワークストック等の搬送元、搬送先の装置の出し入れが狭い環境であっても、迅速、確実にワークを搬送する半導体製造用搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動部を格納する本体部２と、回動中心３０、４０、５０を中心として水平方向に回動自在に取り付けられた第１アーム３、第２アーム４、第３アーム５と、ワークを吸引する吸引口６４，６５を設けた爪６２、６３を有するハンド部６と、開口部５１内にハンド部後端６１を支持するスライド部とを備え、ワークストックの棚に差し込んだワークを出し入れする。また、ワーク検出センサ５２を備え、ハンド部６が第３アーム５へ後進したときにワークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】機構を複雑化させることなく制御上の特異点を通過する。
【解決手段】アーム部２が現在の姿勢から上記駆動モータ５の駆動により、所望の姿勢を含む複数の姿勢に移行可能な姿勢である特異点姿勢を通過する際に、ハンド部３を減速させる制御手段４を備える。 （もっと読む）

【課題】 塵埃の飛散を抑えるとともに、ウェハ移載装置内での干渉を防ぐことができ、構造および制御が簡単な基板搬送方法を提供する。
【解決手段】 ロボットアーム４１の最小回転半径Ｒが、（Ｂ／２＜Ｒ≦Ｂ−Ｌ０−Ｅ）に設定される。これによってロボットアーム４１が正面壁１１０と干渉することを防いで、ロボットアーム４１のリンク体４１ａ〜４１ｃのリンク長さを大きくし、ロボットを左右方向に走行駆動させる直動駆動機構をなくして、塵埃の発生を抑え、ロボットの構造を簡単化してロボット制御を容易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】手動誘導運転の際、ハンドを容易に移動させて微調整することができ、またハンドが誤って周囲の物と衝突するのを防止することができるロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、ロボット本体１１とこのロボット本体１１を制御する制御部２０とを備えている。このうちロボット本体１１は、第１のハンド１２と、第１のハンド１２を第１のハンド１２の基端１２ａから先端１２ｂに向う一定方向に沿って移動させるＪ１軸と、Ｊ１軸を水平面上で回転させるＪ４軸と、Ｊ４軸を垂直方向へ移動させるＪ３軸と、Ｊ３軸を水平面上で一定方向に移動させるＪ５軸とを有している。Ｊ１軸とＪ３軸とＪ４軸とＪ５軸とを制御部２０により同期して駆動し、第１のハンド１２を第１のハンド１２の中心を基準とするツール座標系のＸ軸、Ｙ軸、およびＣ軸上で移動できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 従来の上下軸を有する産業用ロボットに在った搬送時にマスが大きく成るという問題を解決する上下軸を有する産業用ロボットを提供することにある。
【解決手段】 上下軸を有する産業用ロボットにおいて、この上下軸には移動部にピニオンギアを駆動するモータを有し、前記移動部の移動を案内するガイドを設けた固定部には前記ピニオンギアと噛合うラックをからなる駆動手段を有するとともに、この上下軸には少なくとも１箇所上下に分断可能な分断部を有することを特徴とする上下軸を有する産業用ロボットとした
。 （もっと読む）

【課題】吸着力を保持しながら基板の変形に追従するとともに、外力が開放されたとき（基板開放時）に元の位置に戻る復元力を有し、安定的な基板吸着装置およびこれを用いた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッド１４と、この吸着パッド１４を弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材１５と、エア吸着力を発生する基板吸着部１４１とを備えた基板吸着装置１３において、
摩擦低減機構を有するマニホールド１６と、前記吸着パッド１４と前記マニホールド１６との間に弾性体１８を備えたものである。 （もっと読む）