【課題】 基板搬送装置及び表示パネルの製造装置のスペース効率を向上させること。
【解決手段】 加工装置３５を設けた搬送路１２に沿って、搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１を加工装置３５に供給し、加工装置３５にて加工の完了した第１の基板３１を搬出する基板搬送装置１０において、第１の基板３１と同じ搬送路１２に沿って搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１と一対をなす第２の基板３２を加工装置３５を通過して搬出可能とするもの。 （もっと読む）

【解決手段】ターンテーブルの回転軸から離れた位置にある軸を中心にして回転させることができるように、ターンテーブル上に軸回転可能に取り付けられているアームを有する、回転させることのできるターンテーブルを含んでいるロボットシステム。アームの回転軸は、ターンテーブルを基部上に支持する軸受よりも、ターンテーブルの回転軸の近くに配置されている。アームは、ターンテーブルの下方に位置する、アームの回転軸を横断する方向に伸張する部分を有している。ターンテーブルは、基部の上に、共通平面に位置する部分を有する単一の軸受によって支持されている。 （もっと読む）

【課題】比較的重量物であるワークに対してもアームを肥大化させることなくコンパクト化を図ることができ、ワークの積み降ろしにかかるサイクルタイムを短縮することができる走行型ロボット装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】複数のリンク機構（第一リンク機構１１・第二リンク機構１２）により水平方向に旋回可能及び伸縮可能に構成されるアーム７と、アーム７の先端部に設けられワークを支持するフォーク９（ワーク支持体）を支持するとともに昇降及び旋回させるロボットアーム２０（昇降旋回手段）とを有するロボット６を、走行台５上に備える走行型ロボット装置１であって、フォーク９と連結され、該フォーク９の、ロボットアーム２０による昇降動作、旋回動作及びアーム７の伸縮による水平方向の移動動作をアシストするアシスト手段３０を設けた。 （もっと読む）

【課題】可動範囲の拡大が図れる産業用ロボットの技術を提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、水平多関節ロボットとして構成されており、ベース部１０に第１関節Ｊ１を介して接続するアーム部１１と、アーム部１１に手首関節部Ｊｈを介して接続するハンド部１２とを備えている。そして、アーム部１１は、第１関節Ｊ１に接続する第１アーム１１１と、第１アーム１１１に第２関節Ｊ２を介して接続する第２アーム１１２とを有している。ここで、第２アーム１１２の長さＬ２は、第１アームの長さＬ１より大きくなっている(例えば約１.５倍)。これにより、アームを第２関節Ｊ２で折り畳んだ状態で第１関節Ｊ１による水平旋回を行う場合、その最小旋回半径の最大リーチ半径に対する比率を低減でき、ロボット１の可動範囲の拡大が図れる。 （もっと読む）

【課題】アーム旋回量に制限のない低コストの産業ロボットを提供する。
【解決手段】本体部側から第１アーム２０、第２アーム３０及びハンドアーム４０の順で連結され、そのハンドアーム４０が一定方向に伸縮するように回動駆動するアーム部１０と、そのアーム部１０の伸縮動作を行う中空回動軸３及びこの中空回動軸３内にあって前記第１アーム１０に連結して前記ハンドアーム４０の伸縮方向を変化させる中実回動軸２を備えた本体部１００とを有し、本体部１００は、中実回動軸２の原点位置を検出する第１センサ４を有する第１センサ機構と、その中実回動軸２に設けられて中実回動軸２と中空回動軸３との相対的な原点位置を検出する第２センサ５を有する第２センサ機構とを有しており、中実回動軸２には、ロータリージョイント６が電気接続され、第２センサ５がこのロータリージョイント６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】製造工程の効率化を図れる基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】処理チャンバ１２にガラス基板Ｂを搬出入する転送ロボット２０は、ベース部２１に対して旋回可能に支持されたアーム部２２と、ガラス基板Ｂを保持するテーブル部２６を備え、アーム部２６に対して回転機構２５を介してテーブル部２６が連結されている。回転機構２５によりテーブル部２６を回転させることにより、テーブル部２６上に載置されるガラス基板Ｂの処理チャンバ１２に対する搬入向きを変えることができる。これにより、特定の処理工程で不良が発生しているか否かを確認したいときに、処理チャンバ１２に搬入されるガラス基板Ｂの向きを容易に変えることができる。したがって、不良発生工程を迅速かつ容易に特定することができ、製造工程の効率化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】減圧雰囲気下で内部から出る粉塵等を少なくすると共に、高さ方向の厚さの増大を抑えたロボットアーム、及びそのロボットアームを備えたロボットを提供する。
【解決手段】ロボット本体の基台２００に第１プーリ２１（第１伝達機構）を介して回動可能に取り付けられた第１アーム２０と、第１アーム２０の先端部に第２プーリ２２（第２伝達機構）を介して回動可能に取り付けられた作業アーム５０と、第１プーリ２１及び第２プーリ２２を連結して動力を伝達する第１ベルト２３（第１連結手段）とを少なくとも備えるロボットアームにおいて、第１ベルト２３をフッ素ゴムからなるものとする。 （もっと読む）

【課題】大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供する。また、作業場所の省スペース化に資する多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】多関節型ロボット１に、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード等する方向とはほぼ直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード等する方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を設け、基台側リンク部４の長さは、アーム部側リンク部５の長さよりも長く形成され、リンク機構３の基台２は、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ロボットの関節部分である回転ジョイントを動作させても、回転軸及び／又は出力軸に巻回された線状物が絡まったり破損することがなく、軽量かつコンパクトな回転ジョイント構造を提供する。
【解決手段】 一方のアーム側の回転軸を中心に回転する他方のアーム側の出力軸５と、前記回転軸及び／又は前記出力軸５に巻回された線状物１５とを有する回転ジョイント構造であって、前記回転軸及び／又は前記出力軸５に前記線状物１５を巻回するための螺旋状ガイド溝７，８が形成された。 （もっと読む）

【課題】駆動モータを中空モータにする必要がなく、容易に内部配線を構成することができ、組み付けが容易となる平行リンク機構及び産業用ロボットを提供することにある。
【解決手段】下端部を固定ベース２に回転可能に連結し、上端部を波動歯車減速機２０の本体カバーＫに連結した第１アーム３と、下端部を波動歯車減速機２０の第２出力軸に、上端部を可動ベース４０に回転可能に連結した第２アーム３０と、を備えている。また、第１アーム３及び第２アーム３０よりも外側（左側）に設けられ、波動歯車減速機２０の第１出力軸に連結された連結ベース５０を備えている。また、第１アーム３の下端部には、駆動モータ１０が、モータ軸の中心軸線Ｍ１を第１連結軸５の中心軸線Ｌ１から上側に偏倚するように固着されている。 （もっと読む）

【課題】組み付けが容易な伝達機構によって２つのアームを回転させることのできる平行リンク機構及び産業用ロボットを提供することにある。
【解決手段】下端部を固定ベース２に回転可能に連結し、上端部を波動歯車減速機付き駆動モータ１０の本体カバーに連結した第１アーム３と、下端部を波動歯車減速機部の第２出力軸２９に、上端部を可動ベース４０に回転可能に連結された第２アーム３０とを備えている。また、第１アーム３及び第２アーム３０よりも外側（左側）に設けられ、波動歯車減速機部の第１出力軸２７に連結された連結ベース５０を備えている。さらに、下端部を固定ベース２の延長フレーム部２ａに、上端部を連結ベース５０の下側延長片５２ａに回転可能に連結された第１補助リンク５５と、下端部を連結ベース５０の上側延長片５２ｂに、上端部を可動ベース４０に回転可能に連結された第２補助リンク５６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 モータの必要台数を減らし、構造を簡単化、小型化、軽量化して、製作コストを低減することを可能にしたダブルアーム列式基板搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】 アーム伸縮機構Ａ、Ｂが左右に２列備えられ、最終段アームとなる第２アーム１０７、１０７’の先端にはハンド１１０、１１０’が結節されて設けられ、第１アーム１０５、１０５’を位相差を持って正逆回転させることにより、ハンド１１０、１１０’が位相差を持って直線運動するように構成されて成るダブルアーム列式基板搬送用ロボット１０１が、アーム駆動手段１６０をさらに備えている。アーム駆動手段１６０は、第１アーム１０５、１０５’に備えられる第１の永久磁石１６７、１６７’に対応させて、第２の永久磁石１６２、１６２’を有し、これが正逆回転することにより、これらの永久磁石の磁気結合を介して第１アーム１０５、１０５’が位相差を持って正逆回転する。 （もっと読む）

【課題】プーリ軸の剛性とプーリの取付強度を高め、アームの動作安定性を格段に向上できるようにした産業用ロボットのアーム機構を提供する。
【解決手段】産業用ロボットのアーム機構２０を支持する固定部２１と、固定部２０に一端部が回動自在に連結された第１のアーム２２と、この第１アーム２２の他端部に回動自在に連結され、第１アームと同一のアーム長を有する第２のアーム２３と、駆動モータの回転を前記第１アームに減速して伝達する減速機２４と、第２アーム２３の先端部が直線上を運動するように第１アーム２２に連動させて第２アーム２３を回動させる倍速伝達機構と、を備えたアーム機構２０において、倍速伝達機構の駆動側の回転伝動要素３０を、固定部２０と一体でかつ減速機２５を内包する中空構造部３３に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】クリーンプロセスにおける真空雰囲気下で熱の影響に耐えうる板状ワークの搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に保持された旋回ベース２と、この旋回ベース２に対して揺動可能に支持されたリンクアーム機構３と、リンクアーム機構３に支持されたハンド４とを備え、旋回ベース２およびリンクアーム機構３の動作に伴いハンド４でワークを水平に保持しながら搬送するものである。旋回ベース２と固定ベース１との間には、気密シール２３Ａが設けられているとともに、固定ベース１および旋回ベース２には、冷媒循環路が設けられており、この冷媒循環路の一部は、気密シール２３Ａの近傍に配置されている一方、冷媒循環路は、固定ベース１と旋回ベース２との境界に形成した環状空間１１０Ａ，２１０Ａを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】
搬送に必要なマニピュレータの動作空間を極小にし、なおかつ大掛かりな設備になることの無い効率的な生産が可能な搬送システムを提供する。
【解決手段】
少なくとも１つ以上の加工機と、７軸以上の関節部を有する多関節マニピュレータ１と、前記多関節マニピュレータ１の第１の旋回軸を含む平面と前記加工機３への位置決め点との間に存在する干渉物と、前記加工機間にて搬送を行う工程間の搬送システムであって、少なくとも１軸を移動させることにより干渉回避姿勢を有する。 （もっと読む）

【課題】対象物を小さな操作力で移動させることができ、かつ対象物が設定された許容範囲を外れた場合でも安定して対象物を許容範囲内へ戻すことができる作業補助装置を提供する。
【解決手段】作業補助装置１０は、対象物３０を取り付ける多関節アーム１１を備える。モータ３６が発生するトルクがワイヤ３２を介してリンク１２ａを鉛直上方に引っ張ることで重力によって多関節アーム１１が鉛直方向に揺動することを抑制する。各関節１４はリンク１２が揺動する際の抵抗力を調整可能に付与する抵抗力付与機構１６を備える。コントローラ２２は対象物が許容範囲５０内のときは抵抗力付与機構１６が各関節に付与する抵抗力を小さくする。対象物が許容範囲５０外のときは抵抗力を大きくする。抵抗力は多関節アーム１１の動かし難さを調整するので各関節に付与する抵抗力を大きくしても対象物が操作力の方向とは反対の方向に移動することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】回転するワークに対して作業者がツールを使用する作業を行う場合に、ツール位置とワーク回転中心との距離に関わらず作業をし易くする作業補助装置を提供する。
【解決手段】コントローラ２２ａは、塗布器具３２（ツール）の位置Ｐからワーク回転器２４の回転軸線Ｃにおろした垂線Ｒの長さを算出する。コントローラ２２ａは垂線Ｒの長さが長くなるほどフロントガラス３０（ワーク）の角速度ωが小さくなるようにモータ２８の角速度を制御する。塗布器具３２がフロントガラス３０の回転軸線Ｃよりも遠く離れた位置にあっても、塗布器具３２とフロントガラス３０との相対速度が大きくなることを抑制することができる。塗布器具３２と回転軸線Ｃと距離が変化しても塗布器具３２とフロントガラス３０との相対速度が大きく変化しないのでフロントガラス３０に対して塗布器具３２を使用する作業をし易く補助することができる。 （もっと読む）

【課題】 フォークが長くても、これを太くすることなく、フォークの先端の垂れ下がりを補正して搬送物を容易、迅速かつ的確に搬送することのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 フォーク１６は、ボルト１７によりハンド１５に取付固定されている。ハンド１５には、フォーク１６の下面に当接してフォーク１６の先端側を押し上げるように偏心駒２１からなるフォーク先端位置調整手段２０が取り付けられている。この偏心駒２１は、ナット２５を緩めて軸２２を回転させることにより回転され、フォーク１６の押し上げ量を変化させる。このフォーク１６の押し上げ量の変化により、フォーク１６の先端が元端とほぼ同じ高さになったところで、ナット２５を締め付けて偏心駒２１を固定し、フォーク先端位置調整を完了する。 （もっと読む）

【課題】 ある教示位置と次の教示位置との間が離れている場合であっても、大きな曲線の移動軌跡を描かずに動作する多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】 出力側端部３２の位置を、直交座標系による座標で算出する位置算出手段９９と、教示動作時に出力側端部３２の教示位置の直交座標系での座標を記憶する第１の記憶手段６９と、各教示位置間の距離を所定間隔毎に分割し、該分割した各分割点の位置を、直交座標系による座標で算出する分割位置算出手段７３と、分割位置算出手段７３によって算出された分割点の座標を記憶しておく第２の記憶手段６９と、出力側端部３２を移動させる際に、教示位置と教示位置との間は、分割位置算出手段７３によって算出された分割点を出力側端部３２が経由して移動させるように制御する移動制御手段７４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 駆動モータを防爆型のモータを必要とせず、しかも、モータ容量を低減化できるようにする。
【解決手段】 塗装ロボットの各軸を駆動するモータをベース部１１に集中配置し、ベース部が設置される空間と、ロボット本体が設置され塗装工程を行う作業空間との間を仕切壁２４で隔絶する。 （もっと読む）