【課題】ロボットを分解することなく移送でき、容易に設置できる及び生産設備の製造方法を提供する。
【解決手段】台座と、台座に立設され少なくとも上側ブロックと下側ブロックとを有するコラムと、コラムに設けられコラムに沿って移動する移動機構と、移動機構に連結された支持部材と、支持部材に支持され複数の関節を有するアームと、を有する多関節ロボットであって、上側ブロックが横倒し状態にまで揺動可能となるように上側ブロックと下側ブロックとを連結する可動部材と、上側ブロックが横倒し状態となった状態で上側ブロックを固定する固定部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】機能を維持しながらもより小型化することができるようにした、ロボット及び物品搬送システムを提供する。
【解決手段】アーム部材２３と、アーム部材２３を揺動させるアクチュエータ２２と、アーム部材２３の先端に設けられるハンド部材２４と、アーム部材２３とハンド部材２４とを回転可能に連結する関節部材と、アクチュエータ２２を支持し直線駆動するリニアアクチュエータ３と、アクチュエータ２２及びリニアアクチュエータ３を協働させての各ハンド部材を進退方向に直線移動させるコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】指掛かり部が軸心に対して片側に偏った位置に形成された既存の鉗子を位置決めし、且つ、鉗子を開閉させる機構を有し、鉗子開閉時に生じる回転モーメントを吸収することのできる手術用マニピュレータを提供する。
【解決手段】指掛かり部122,124が軸心に対して片側に偏った位置に形成された鉗子120を装着可能な保持手段61を具える支持台60と、前記鉗子の指掛かり部を開閉させる開閉機構70と、該支持台を複数の軸回りに回転可能に保持する回転台50と、該回転台を平面方向及び／又は垂直方向に直線及び／又は回転作動可能に支持するアーム部30と、を有する手術用マニピュレータであって、回転台は、アーム部に対する支持台の各軸回りの回転を固定するロック機構51,55,57を有する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】並進する多関節アームを提供する。
【解決手段】多関節アーム１００は、ベース１０と第１のリンク１１０で連結した第１のアーム１０１と、第１のアーム１０１と中間リンク１３０で連結した第２のアーム１０２と、第２のアーム１０２と第２のリンク１２０で連結したエンドエフェクタ２００とを含む。第１のリンク１１０は、第１のアーム１０１に対して同期して動く第１の駆動歯車１１１と、ベース１０に対して同期して動く第１の伝達歯車１１２とを含む。中間リンク１３０は、第２のアーム１０２に対して同期して動き、第１の伝達歯車１１２とタイミングベルト１３９により接続された中間の駆動歯車１３１と、第１のアーム１０１に対して同期して動く中間の伝達歯車１３２とを含む。第２のリンク１２０は、エンドエフェクタ２００に対して同期して動き、中間の伝達歯車１３２とタイミングベルト１２９により接続された第２の駆動歯車１２１を含む。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物を高い位置精度で搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０００は、ベース部４と、第１アームレバー５と、第２アームレバー６と、保持部７とを有する。第２アームレバー６と保持部７との間の関節部６７には、第２アームレバー６に対して保持部７を３自由度で動かすことが可能なアクチュエータ１００が設けられている。例えば、搬送装置１０００は、アクチュエータ１００を駆動させることにより、基板Ｗを、水平を維持したまま搬送することが可能である。このため、基板Ｗの位置精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】動作速度の高速化などを図ることのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】第１関節軸２を中空のボールねじスプラインシャフト１２から形成すると共に、第１のアーム駆動用モータ８及び第２の作業軸駆動用モータ１１を基台１内の固定ブラケット４１に装着し、第２のアーム駆動用モータ９及び第１の作業軸駆動用モータ１０を基台１内の可動ブラケット４２に装着する。また、第２のアーム駆動用モータ９の回転トルクを第２関節軸４に伝える第１のプーリ軸２７と第１の作業軸駆動用モータ１０の回転トルクを作業軸６に伝える第２のプーリ軸３４をボールねじスプラインシャフト１２の内側に同軸に配置する。 （もっと読む）

【課題】 駆動源となるモータの個数を少なくして装置コストの削減及び全体の軽量化を図ることが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 被処理体Ｗを保持して搬送するための搬送装置において、ベースに回転自在に支持された回転基台２４と、第１アーム部２６Ａ、２８Ａ、第２アーム部２６Ｂ、２８Ｂ及びピック部２６Ｃ、２８Ｃをこの順序で屈伸可能に連結してなる第１及び第２アーム機構２６、２８と、前記第１及び第２アーム機構の各第１アーム部にそれぞれ連結されて前記第１及び第２アーム機構を旋回させる駆動リンク機構３０と、前記回転基台を回転駆動させる第１駆動源３２と、前記駆動リンク機構を駆動する第２駆動源３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】省スペース化と高スループット化を図ったウェーハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】昇降可能な支持台２００と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第１アーム部２０１と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第２アーム部２０２と、第１アーム内に設けられ、第１及び第２アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構２２１，２２２とで構成される水平多関節ロボット２２０と、第２アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された２つの機械式リンクアーム２４１，２４２と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ２０８，２０９とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム２４０とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第２アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成と省スペースを実現できるダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物２，３が載置されるハンド部２３，３３、各々が関節部で回動可能に連結された複数のアーム２１，２２，３１，３２を有し、ハンド部２３，３３がアーム２２，３２の一端に関節部で回動可能に連結される、第１及び第２の多関節アーム１１，１２と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の一端が、基端の関節部によって各々回動可能に連結されるアーム支持部１３と、アーム支持部１３の一端を鉛直方向に移動可能に保持し、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部で回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２における基端の関節部以外の関節部での回動を行わせる第１及び第２の関節回動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動部からの発塵防止のためアーム自身を密閉構造とした多関節ロボットにおいて、密閉用の防塵カバーを固定するボルトの損傷と緩みを防止する。
【解決手段】肩関節部を中心に上腕を回動させる駆動源を備えた支持部材１０に、防塵カバー３１が取り付けられている。防塵カバー３１と支持部材１０とは、ガスケット３６を介してボルト３３で固定されている。防塵カバー３１とガスケット３６には所定の間隔でボルト３３が貫通する穴が設けられ、穴に対向する支持部材１０の面にタップ穴が形成されている。また防塵カバー３１にはザグリ３０が形成されている。防塵カバー３１とボルト３３の間にはカラー３４と高弾性ゴムワッシャ３５を介在させる。外力によって防塵カバーとボルトの間に相対的変位が生じても高弾性ゴムワッシャでこれを吸収し、ボルトの損傷と緩みを防止する。 （もっと読む）

【課題】応答性能や位置決め精度を維持しつつ、その可動範囲を広く確保することのできる水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボットには、基台１１に第１のアーム１３の基端部を回動可能に支持する連結軸１２が設けられ、その軸心Ｃ１を中心に第１のモータＭ１により正逆回転される。第１のアーム１３の先端部には、第２のアーム１５の基端部を支持させる支持軸１４が連結されその軸心Ｃ２を中心に第２のモータＭ２により正逆回転される。第２のアーム１５には先端部に軸心Ｃ３を有する主軸１６が設けられている。第１のアーム１３は軸心Ｃ１と軸心Ｃ２とを結ぶ中心線に対して偏心しており、左側面に右側に凹むかたちの凹部１３ｄが形成され、すなわち右側に湾曲した形状に形成されている。軸心Ｃ２と軸心Ｃ３との距離は、軸心Ｃ１と軸心Ｃ２との距離よりも短いことから主軸１６が凹部１３ｄに入り込ませるかたちに配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下動させる上下駆動機構と、上下駆動機構を制御する制御部８０とを備えている。上下駆動機構は、２台の駆動用モータ２０を備え、制御部８０は、２台の駆動用モータ２０を制御するモータ制御部８１を備えている。モータ制御部８１は、一方の駆動用モータ２０と、他方の駆動用モータ２０とを個別に制御している。 （もっと読む）

【課題】大きな搬送対象物や高価な搬送対象物の搬送に適した産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下動させる上下駆動機構と、上下駆動機構を制御する制御部８０とを備えている。上下駆動機構は、上下駆動機構を停止させるための２個のブレーキ機構２４を備え、制御部８０は、２個のブレーキ機構２４を制御するブレーキ制御部８４を備えている。ブレーキ制御部８４は、２個のブレーキ機構２４を段階的に作動させる。 （もっと読む）

【課題】磁極の固定に起因する雰囲気汚染を回避しながらも、ロボットに必要な剛性を確保でき且つ信頼性の高い，大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータ及びスカラーロボットを提供する。
【解決手段】直列的に連結された３段のブラシレスモータＢＭ１において、ステータ２９と、大気軸受装置３３と、大気側回転子３０と、角度検出器３５，３６と、モータ回転子２１と、真空軸受装置１９のうち少なくとも２つを、モータ軸線方向において互いに少なくとも一部が重合する位置に配置しているので、コンパクトな構成ながら、高い剛性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】コラムに備えられた移動機構の支持部に作用するモーメント荷重を小さくしながら、多関節ロボットが占有するスペースを小さくする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】ハンド部８と、前記ハンド部８と連結され少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え前記ハンド部８が１方向に移動するように旋回しかつ上下方向に並進移動する水平多関節の上アーム２１と、上アーム２１に対向配置され上アーム２１と同様な構造を有する下アーム２２と、各アームを上下に移動させる二つの移動機構１１と、移動機構と各アームを連結する二つの支持部材１０とを有する。上アーム２１の関節部４は、ワーク９の取り出し位置から縮み位置に移動するときコラム１２に近づくように旋回する。また、下アーム２２の関節部４は、ワーク９の取り出し位置から縮み位置に移動するときコラム１２から遠ざかるように旋回する。 （もっと読む）

【課題】専用の冶具を用いることなく、フロッグレッグアームロボットの正確な組立てを可能とする。
【解決手段】本体部１に対して接続されると共に基準平面に沿って対称に揺動される一対のアーム部２と、アーム部２を揺動する駆動部５とを備えるフロッグレッグアームロボットであって、上記アーム部２に、フロッグレッグアームロボットの組立て時において上記アーム部２を上記本体部１に対する基準姿勢とするためのマーク１００が形成されている。 （もっと読む）

【課題】アーム機構部の旋回及び伸縮を可能とする各モータの配線ケーブルに折れ曲がりやねじれなどの変形が生じるのを防止する。
【解決手段】第１及び第２のアームとハンドとを有するアーム機構部１００と、該アーム機構部を昇降させるための昇降機構部２００と、アーム機構部を伸縮動作させるための伸縮機構部３００と、アーム機構部を旋回動作させるための旋回機構部４００と、固定フレーム５００とを有するワーク搬送用ロボットであって、昇降機構部２００は、固定フレーム５００に固定された昇降用モータ２２０を有し、伸縮機構部２００は、固定フレーム５００に固定された伸縮用モータ３１０と、該伸縮用モータの駆動力をアーム機構部１００に伝達する第１スプライン軸３５０とを有し、旋回機構部４００は、固定フレーム５００に固定された旋回用モータ４１０と、該旋回用モータの駆動力をアーム機構部１００に伝達する第２スプライン軸４３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はメンテナンスが容易な多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部８と、前記ハンド部８と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え、前記ハンド部８を１方向に移動するように伸縮し、上下方向に対向するように配置された多関節アーム２１、２２と、上下に移動するようにコラム１２に取り付けられた上下方向に移動する移動機構１１と前記多関節アーム２１、２２とを連結する支持部材１０と、前記コラム１２の下端部に連結され、前記コラム１２に取り付けられた前記多関節アーム２１、２２を旋回する台座１３とからなる多関節ロボットにおいて、前記台座１３を旋回させる減速機３７の出力軸３９の固定面が前記台座１３を支持する前記軸受４２の厚みの略中心に位置するものである。 （もっと読む）

【課題】バラツキが大きくてもクランプすることができるクランプ装置、および台車を提供すること。
【解決手段】クランプ装置１０は、直動するアクチュエータと、アクチュエータの直動方向と直交する方向に伸びるリンク２と、リンク２の両端に回転可動に取り付けられ、被クランプ部８をクランプするツメ部３ａを有するクランプ部３とを有する。アクチュエータが直動すると共にクランプ部３が内側から外側に開くように回転して被クランプ部８をクランプする。 （もっと読む）