【課題】半導体移送装備を提供すること。
【解決手段】半導体移送装備において、ウエハ移送ロボット１０００は、フレーム内に装着され、所定の昇降軸に沿って上下移動する昇降部材を含むロボットボディー１００と、駆動リンクと複数の被動リンクとからなり、駆動リンクは昇降部材に装着され、被動リンクの末端部はロードポートが装着されたフレーム面に沿って水平方向に線形移動する関節アーム２００と、被動リンクの末端部に装着され、垂直の回転軸を中心に回転するスイングユニット３００と、スイングユニットに装着されるベース、ベースに装着されて水平方向に直線往復運動する複数のスライディングユニット、およびウエハカセットからウエハを引き出し、収納するウエハハンドを含む直交アーム４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】把持部材の作動タイミングの同期を図ることなく、重量物を回転させることができ、かつ重量物を把持していない把持部材の空回転等を防止し、重量物を安定した状態で回転させる回転装置を提供する。
【解決手段】装置本体に対向配置されて互いに接離自在に設けられた一対の把持アーム２ａ、２ｂと、これらの把持アームを接離方向に向けて移動させる駆動手段２１ａ、２１ｂと、把持アームの対向部にそれぞれ設けられ、互いに接近した際に重量物ｗを把持するとともに、把持アームの移動方向回りに回転自在に設けられた一対の把持部材３１ａ、３１ｂと、一方の把持アームに設けられて、一方の把持部材を回転駆動させる回転駆動手段４とを有する回転装置とした。他方の把持アーム２ｂには、一対の把持部材による重量物の把持が解かれた際に、他方の把持部材の移動方向回りの回転を阻止する回転阻止機構を設けた。 （もっと読む）

【課題】 人間が使用するペンチ等工具をひとつのハンドで利用できる開閉型工具用自動開閉構造を提供すること。
【解決手段】 開閉型工具用自動開閉構造１は、開閉型工具８のグリップ９の把持のためにグリップ９一本あたり一本以上の指２１を用いて運動Ｍ２が可能なように構成されるグリップ把持機構２Ｌ、２Ｒと、両グリップ９、９間の開閉のために二組のグリップ把持機構２Ｌ、２Ｒの相対位置を運動Ｍ３のように変化させることのできるグリップ開閉機構と、グリップ把持機構２Ｌ、２Ｒにおける指２１の運動から両グリップ９、９間の開閉動作を円滑にする受動回転手段４とを備えてなる構成を基本とする。 （もっと読む）

【課題】 人間が使用するペンチ等工具をひとつのハンドで利用できる開閉型工具用自動開閉構造を提供すること。
【解決手段】 開閉型工具用自動開閉構造１は、開閉型工具８のグリップ９の把持のためにグリップ９一本あたり一本以上の指２１を用いて運動Ｍ２が可能なように構成されるグリップ把持機構２Ｌ、２Ｒと、両グリップ９、９間の開閉のために二組のグリップ把持機構２Ｌ、２Ｒの相対位置を運動Ｍ３のように変化させることのできるグリップ開閉機構と、グリップ把持機構２Ｌ、２Ｒにおける指２１の運動から両グリップ９、９間の開閉動作を円滑にする受動回転手段４とを備えてなる構成を基本とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、自動旋盤の回転を停止させずにワークの供給・排出を行う把持装置において、耐久性が高く、高速回転においても焼き付きをおこさない把持装置を提供する事を目的とする。
【解決手段】 複数のクランプ部材を駆動源により開閉する把持装置において、クランプ部材に円柱状のシャフトと、円筒状の外輪を配置し、円柱状のシャフトには円筒状の外輪と勘合する箇所に複数の穴を構成し、複数の穴からエアーを排出するとともに、円筒状外輪がワークを把持する把持装置を構成する。 （もっと読む）

１つ以上の加工物、例えば、半導体ウエハを操作するための加工物移送アセンブリは、加工物の外径に対応する１つ以上の弓状部分を含む。この弓状部分は、加工物の外端に係合する加工物係合表面を有する；少なくとも１つの協働アームが、加工物の係合表面から加工物の外端部上に加わる圧力に応じて、加工物から離れる方向に加工物係合表面の変形を可能にするたわみアセンブリを含む。
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【課題】キャリヤ及び間隔が隔てられた少なくとも三つのクランプ手段を含む移動プラットホームを提供する。
【解決手段】クランプ手段の各々は、キャリヤを、接触点のところで、及びキャリヤの少なくとも一つのグローブ状接触面のところでクランプし、少なくとも一つのクランプ手段には、キャリヤを少なくとも二つの仮想軸線を中心として回転できるように、接触点を、少なくとも夫々の接触面及び／又は少なくとも夫々のクランプ手段に対して変位するための少なくとも一つの変位エレメントが設けられており、クランプ手段によってキャリヤに加えられる法線力は、ほぼ平行な平面内にあり、これらの平行な平面は、夫々の接触点でのグローブ状表面の接線方向平面に対してほぼ垂直である。 （もっと読む）

【課題】駆動源を必要とせず、単純な構成でシリコンウェハ等の基板を適切に把持する基板把持機構の提供。
【解決手段】開放端部において把持部材１１のそれぞれを支持するアーム部２１を有し、把持部材１１を基板１００の中心軸回りに一体的に回転させる回転機構２０と、基板１００の中心軸を中心とする環状を呈するリング８と、アーム部２１にリング８をフローティングマウントするフローティングマウント機構３１１と、一端部にリング押え３１１ｂを支持し、アーム部２１の開放端部に揺動自在に支持された揺動部材３１２を有し、リング８に発生する慣性力を、把持部材１１の回転を開始又は停止する際に揺動部材３１２の他端部を基板１００の端縁から中心軸に向かう方向に揺動させる揺動力に変換する伝達機構３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】進行波により対象物を搬送する上で、十分な搬送性能を実現することができ、構造が簡単であり、かつ小型化に適したアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ基板１１上にフレキシブル基板１４を重ね合わせて固定し、フレキシブル基板１４上に複数の伸縮駆動素子１２を並設して固定し、各伸縮駆動素子１２の上端にシート状の弾性部材１３を載せて係止し、制御駆動部１５をフレキシブル基板１４を通じて各伸縮駆動素子１２に接続している。制御駆動部１５は、フレキシブル基板１４を通じて各伸縮駆動素子１２に電圧を順次印加し、各伸縮駆動素子１２をＺ方向に順次伸縮させて、弾性部材１３を変形させて波打たせ、弾性部材１３に進行方向がＸ方向の進行波を形成する。この弾性部材１３に対象物を載置すると、この弾性部材１３の進行波により対象物がＸ方向とは逆方向に搬送される。 （もっと読む）

【課題】 任意の位置で回転体を高精度に停止させてロックさせることのできる軸受け機構を提供する。
【解決手段】 円盤形状の回転体１と、軸受け２を介して前記回転体１を回転自在にガイドするガイド部材３と、前記回転体１に設けられ、エアーの導入によりブレーキ部材１４をスライドさせて前記ガイド部材３に形成されたブレーキ当接面１２に押し付け、前記回転体１の回転をロックする回転ロック手段４とを備える。回転体１をロックするには、エアーを導入してブレーキ部材１４をブレーキ当接面１２に押し付け、回転体１をアンロックするには、エアーの導入を停止してブレーキ部材１４をブレーキ当接面１２から離す。 （もっと読む）

【課題】 基板洗浄装置の工程流れ方向に対するコンパクト化を図りつつ、基板の支持を確実化させると共に、基板のエッジ部分の異物残存を回避し、製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】 基板２を移送しつつ、スクラビング洗浄工程、リンス洗浄工程、および乾燥工程を順次実行する基板洗浄装置１において、スクラビング洗浄工程を実行する第一の槽４と、リンス洗浄工程および乾燥工程を実行する第二の槽５とを備える。そして、第二の槽５に、基板２を垂直姿勢に保持してスピンリンス洗浄およびスピン乾燥を行うための単一のスピン部５８を配備する。 （もっと読む）