【課題】平置きもしくは平積みされたウェブを、把持して位置ずれなく搬送し、水平に置かれた母材の所定位置に、垂直もしくは垂直に近い角度で正確に位置決めすることができ、かつウェブの溶接縁と母材の隙間を皆無又は均一に位置決めできるウェブハンドリング装置および方法を提供する。
【解決手段】３次元的に数値制御されたＮＣ移動台９に固定された本体１２と、本体に取り付けられ水平軸１５を中心に旋回可能な旋回装置１４と、旋回装置に固定され水平に位置するウェブ１を下方から支持する支持面１７を有するフォーク部材１６と、旋回装置に固定されウェブを上方から把持する把持面１９を有する把持部材１８とを備える。ウェブ１の水平な主要部の下面をフォーク部材１６で支持し、把持部材１８を上方から閉じて把持し、その状態で３次元的に搬送し、水平軸１５を中心にウェブ１の溶接縁１ａを下向きに旋回し、水平に置かれた母材の上面に、垂直もしくは垂直に近い角度で位置決めする。 （もっと読む）

【課題】 電動ピンセットの把持部を閉成状態で回転すると共に把持効率を増加すること。
【解決手段】 電動ピンセット１は、スイッチ３３を動作すると、モータ３１を第1方向へ回転してカムフォロワ５５が並進移動してピンセット２０が開放から閉成後、スイッチ３３を動作すると、モータ３１を第1方向と同一方向へ回転して伝達部７０及び回転部８０を回転してピンセット２０を閉成状態で、ピンセット２０を回転させると共に、内側辺と結合部材２４とを回動自在にする第１及び第３回動部７１０，７３０と、第１及び第２固定側部材２６，２７を回動自在にする第２及び第４回動部７２０，７４０とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ウエーハのノッチの位置合せを実行することができ、かつ、径の異なるウエーハを搬送した場合でも、ウエーハ処理装置に対するウエーハの中心位置を位置合せすることができる半導体ウエーハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】容器からウエーハＷを取り出し、ウエーハＷを処理する処理装置に搬送する半導体ウエーハ搬送用ハンド１０であって、ハンド部材本体１２と、ハンド部材本体１２に対して移動可能なハンド部材１４と、ハンド部材１４に対して移動可能な保持部材３６と、ウエーハＷと接触する第１回転部材２４と、第１回転部材２４と共にウエーハＷを回転させる第２回転部材５６と、第１回転部材２４と第２回転部材５６が相互に離間する方向又は相互に接近する方向に沿って同じ距離だけ移動させる移動手段と、ウエーハＷのノッチを検出するノッチ検出手段と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】複数のワークのピン挿入穴が同径の場合に、低コストでワークの種類を判別できる搬送システムを提供することを目的とする。
【解決手段】搬送システムは、把持ツールと、多関節アームと、を備える。把持ツールは、２分割されかつ先端に向かうに従って細くなるテーパ形状の把持ピン３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃを備え、複数種類のワークＷ１，Ｗ２には、基準面Ｎの略垂直方向から把持ピン３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃが挿入されるピン挿入穴ＰＡ，ＰＢ，ＰＣが形成され、このピン挿入穴ＰＡ，ＰＢ，ＰＣは、内径および基準面Ｎの面内方向の位置が共通であるが、基準面Ｎからの高さが互いに異なる。この搬送システムは、２分割された把持ピン３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃをピン挿入穴ＰＡ，ＰＢ，ＰＣの内壁面に当接するまで互いに離間させた際に、把持ピン３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ同士の間隔を測定して、この測定した間隔に基づいて、ワークＷ１，Ｗ２の種類を判別する。 （もっと読む）

【課題】物品を把持したまま任意の角度に回転制御可能とする。
【解決手段】ロボットハンドの指部２ａ、２ｂには把持接触部３１が取り付けられ、把持接触部３１の中央部には突起３２ａが設けられ、突起３２ａの周囲には突起３２ａよりも高さの低い突起３２ｂ〜３２ｎが配置されている。突起３２ａは突起３２ｂ〜３２ｎよりも表面の摩擦係数が低く、突起３２ａの先端のみが物品に接触しているときは、大きな圧力で２点支持しているときと同じ結果となり、物品は並進方向には拘束されるが、支持点を通る軸周りの回転方向には自由となる。指部２ａ、２ｂの把持力を大きくしてゆくと突起３２ａが凹んで高さが低くなり、摩擦係数の大きい突起３２ｂ〜３２ｎでも物品は拘束されるため、物品は並進、回転方向共に拘束される。 （もっと読む）

【課題】物品を把持する把持装置ヘッド構造を改良する。
【解決手段】把持爪機構１は、複数の開合可能な把持爪１１１を有し、該把持爪は、駆動機構１２と接続して該駆動機構の駆動力により開合する。該把持爪機構はさらに自転機構１３に接続し、該自転機構の駆動を受けて回転する。該把持爪機構は、自転機構の駆動によって本体を回転し、把持装置したい物品に対して、自身の回転角度を微調整し、操作上好適な方向に調整して対象とする物品を把持、或いはその重量によりプレスする。 （もっと読む）

【課題】適切な積付作業ができる積付装置を提供する。
【解決手段】積付装置１は、回動部10を有する装置本体４を備える。回動部10にはベース体12を回動可能に設ける。ベース体12には、物品Ｗを両側方から挟持する固定挟持体23および可動挟持体31を設ける。ベース体12には、物品Ｗの下面を支持する下面支持体41を移動可能に設ける。積付作業時には、保持物品Ｗを積付物品Ｗの上方位置に平面視で保持物品Ｗが積付物品Ｗに対して傾斜した状態でかつ保持物品Ｗの一角部と積付物品Ｗの一角部とが平面視で一致した状態になるように位置させる。次いで保持物品Ｗの一部のみを積付物品Ｗ上に載せた後、平面視で保持物品Ｗの積付物品Ｗに対する傾斜をなくし、その後、下面支持体を移動させて保持物品を積付物品上に互いに嵌合した状態に積み付ける。 （もっと読む）

【課題】１個のエンドエフェクタにおいて、ウェハを２枚搬送することができるようにする。
【解決手段】ウェハを把持する把持機構を備えたエンドエフェクタ３において、エンドエフェクタ３の上面に把持機構を備え、上面の裏面にも把持機構を備え、エンドエフェクタの上面及び裏面の両方でウェハを把持可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ搬送用のハンドが１８０°回転する構成のウエハ搬送装置において、ハンドに設けられたウエハ検出用のセンサ部の検出情報を本体側に支障なく伝達することを可能にする。
【解決手段】ウエハ搬送装置１１は、本体１３に対して回動軸２１を介してハンド１４が回動可能に支持され、ハンド１４には第１光ファイバ及び第２光ファイバが、その第１端部が本体１３と対向する位置で、かつ回動軸２１に対して対称位置に配置され、第２端部が載置部１９に載置されたウエハに光を出射及び反射光を受光可能に設けられている。本体１３には、ハンド１４が第１状態又は第２状態に配置された状態において、前記両光ファイバの第１端部の端面と対向する位置に投光部３０及び受光部３１が配置されている。ウエハの検出手段は、受光部３１の受光量に基づいてウエハの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】真空吸着状態が切れても基板の健全性を維持し、検査時に発見した基板の裏面の汚れ等をクリーニングすることを可能にする。
【解決手段】基板Ａの少なくとも裏面の目視検査を行うための基板検査装置１であって、基板Ａの裏面を真空吸着する吸着保持部６と、該吸着保持部６により吸着された状態の基板Ａの外周縁に接触して半径方向に挟む複数の接触部１０を有する押圧保持部８とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造でドアを開くことができるロボットハンドを提供する。
【解決手段】
ロボットハンド１は、ノブ１０１付きのドア１００を開くために用いられる。このロボットハンド１は、ハンド本体と、ハンド本体に回転可能に支持され、外周面がノブ１０１の外周面に当てられる回転体２０と、回転体２０をノブ１０１に当てた状態で回転させることにより、ノブ１０１を、ドア１００のラッチ状態を解除する方向に回転させるモータを備えている。さらにロボットハンド１は、回転体２０の外周面から径方向、外方向に突出するようにしてハンド本体の先端に設けられた係止爪４１を有している。この係止爪４１は、回転体２０が上記ノブ１０１に当たっている状態で、ノブ１０１とドア１００との間に挿入され、ノブ１０１の裏面に係止される。上記ラッチ解除後に、係止爪４１がノブ１０１に係止された状態でロボットハンド１を後退させることにより、ドア１００を開くことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の把持対象物を同一のハンドで把持できるロボットハンドであり、大きさの異なる複数種類の把持対象物を把持する際に、小さい対象物を把持する際も周囲との干渉を防止できるロボットハンドを提供する。
【解決手段】一対の指３，４及び６，７をそれぞれ開閉し、把持対象物を指で把持可能な把持機構１，２を備えると共に、上記把持機構１，２間の相対位置を変更する相対位置変更用駆動機構９を備えたロボットハンドであって、把持機構１，２は、一対の指と上記一対の指を支持する支持部とで形成される平面ＰＢが、把持機構１，２の各開閉方向Ａ、及び相対位置変更用駆動機構９による把持機構１，２の移動方向Ｃに沿った面ＰＡに対し交差するように並んだ構成とする。 （もっと読む）

【課題】円筒度が十分でないワークでも、強固にワークを把持することのできるワーク把持装置を提供すること。
【解決手段】回転する主軸３に供給する流体によって軸方向に移動する押圧部材２２と、該押圧部材２２に連結された作動用リング２０と、該作動用リング２０を軸方向に摺動可能に保持する中空の本体３０と、作動用リング２０の内周面に形成した傾斜溝２０ａに摺接する傾斜突起２１ｂを有するクランプ爪２１とからなり、前記クランプ爪２１を、リング軸Ｍに対して軸直角方向に移動してワークＷを把持するワーク把持機構２を備えたワーク把持装置において、前記押圧部材２２、２２’作動用リング２０、２０’及びクランプ爪２１、２１’を同じリング軸Ｍとなるように複数組並設して、１個のワークＷを長手方向に離間した複数箇所で把持するようにする。 （もっと読む）

【課題】円筒度が十分でないワークでも、強固にワークを把持することのできるワーク把持装置を提供すること。
【解決手段】回転する主軸３に供給する流体によって軸方向に移動する押圧部材２１及び該押圧部材２１連結された押圧体２０とからなる押圧機構２と、前記押圧体２０を軸方向に摺動可能に保持する中空の本体３０と、押圧体２０の内周面に形成した傾斜面２０ａに摺接する外周傾斜面７ｂを有するコレットチャック７とからなり、前記押圧機構２によってコレットチャック７の把持部分７ａを主軸軸芯Ｍに対して軸直角方向に移動させワークＷを把持するようにしたワーク把持装置において、前記押圧機構２を同じ主軸軸芯Ｍとなるように複数組並設して、１個のワークＷを長手方向に離間した複数箇所で発生する押圧力によって把持するようにする。 （もっと読む）

【課題】各処理工程における汚染の発生を防止し、かつ各処理工程におけるより迅速な処理作業が可能な新規なグラビア製版用ロボットを提供する。
【解決手段】基台と、該基台上に回転可能に載置された多軸ロボットアームと、該多軸ロボットアームの先端部に取付けられ、互いの間隔が広狭自在とされた相対向する第一サイドプレート及び第二サイドプレートと、該第一サイドプレート及び第二サイドプレートのそれぞれに取付けられ、かつ前記中央開口部を閉塞するように該中央開口部に挿入されることにより、前記中空シリンダロールを挟持するための第一挟持閉塞部材及び第二挟持閉塞部材と、第一挟持閉塞部材を回転させるための第一駆動手段と、第二挟持閉塞部材を回転させるための第二駆動手段と、を含むようにした。 （もっと読む）

【課題】ロール回転機構の回転角度を容易に認識できるようにする。
【解決手段】マニピュレータ１１０２は、中空のシャフト１０８と、シャフト１０８に設けられたワイヤ５２、５４、５６と、シャフト１０８の一端に設けられ、ワイヤ５２、５４、５６の少なくとも１本によって動作し、先端を指向する軸Ｏｒを中心に回転するロール回転機構を含む先端動作部１１１８を備える作業部１１０６とを有する。ロール回転機構で相対的に回転をする基端側部材の先端側面１１０８ａと先端側部材のカバー１６０のうち、カバー１６０には、先端側面１１０８ａの相対的な回転の程度を示す回転程度認識手段１２０８を有する。先端側面１１０８ａは、カバー１６０の初期の位置を示すアライメントインジケータ１２１０を有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ保持ボートにおける任意の保持板との間で基板のやり取りを可能としつつ，保持板のピッチを従来以上に狭くする。
【解決手段】基板移載装置３００は，旋回及び昇降可能に構成された基台３１０と，基台に進退可能に設けられ，ウエハを載せて搬送するための搬送フォーク部３２２を有する第１アーム３２０と，基台に進退可能に設けられ，起倒可能な基板持ち上げ機構３４０を設けた持ち上げフォーク部３３２を有する第２アーム３３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】作業機構及びマニピュレータの可動範囲、信頼性及び操作性を一層向上させる。
【解決手段】作業部１２ａは、ワイヤ５６が巻き掛けられる筒体１１６よりも前方で、回転軸が筒体１１６と略平行に設けられる歯車体１２６と、歯車体１１４の回転を歯車体１２６に伝達する第１歯車１１８及び第２歯車１３４とを有する。筒体１１６よりも前方でワイヤ５２及びワイヤ５４が巻き掛けられる巻数や被巻回体の主軸部材１２８や歯車体１３０の大きさ等は筒体１１６に対するワイヤ５６の巻回に影響がなく、ワイヤ５６を筒体１１６のより広い領域に巻き掛けられ、歯車体１１４の回転量を大きくすることができる。これにより、歯車体１１４の回転量を大きくすることができるため、歯車体１２６の回転量及び回転トルクを大きく設定できる。 （もっと読む）

【課題】装置構成をシンプルにして低コスト化を図るとともに、コンパクト化を図ることのできるワーク把持装置を提供する。
【解決手段】フィンガー６１を常時閉じ方向に付勢するスプリング６６と、電動式のクランプモータ４５と、このクランプモータ４５の回転駆動力を伝達する動力伝達機構としてのプーリ７６、タイミングベルト７８およびプーリ７７と、この動力伝達機構によって伝達された回転運動を直線運動に変換するねじ機構７２と、このねじ機構７２によって伝達される直線運動により直線移動される可動体７９と、この可動体７９の直線移動をフィンガー６１の回動動作に変換するカム溝機構とを備え、可動体７９の直線移動がスプリング６６の付勢力に抗して行われることによりフィンガー６１が開作動される構成とする。 （もっと読む）

【課題】部品の姿勢変更が必要な場合でも、２つの保持ハンド間で部品を受け渡すことなく、短時間で部品の破損がない、部品保持ハンドを提供する。
【解決手段】部品２を吸着手段７で吸着し、部品２を挿入方向と平行な面で回転させて、部品２を部品保持ハンド４の第１アームと第２アームで把持し、部品の姿勢を変更する。その後、第３アーム６の先端の挿入手段で、基板に部品を挿入する。したがって部品の姿勢を短時間で変更でき、信頼性の高い部品の姿勢変更が可能となる。 （もっと読む）