【課題】ベルヌーイチャックで吸引保持した基板を、規制体で所定姿勢に位置保持する基板移載装置において、規制体の規制機能の回復をより少ない手間で簡便に行うことができるようにする。
【解決手段】基板Ｗの表面に平行な方向の滑り移動を規制するガイド５３をガイド取付部材５１に対して着脱自在に構成する。これにより、規制体５０の全体の交換を要することなく、ガイド５３のみを交換するだけで、規制体５０の規制機能を回復することができる。従って、規制体５０の全体を交換する形態に比べて、規制体５０の規制機能の回復に要する費用や手間を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】シートのバタつきを抑制し、吸着の安定化を図ることができるシート吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面２に形成された溝１０に沿って空気を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートＳを吸着面２に吸着するシート吸着装置１であって、溝１０における上記空気の流通経路の終端部１０ｂにおいて、上記空気を回収する回収部３０を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】吸引時の配線基板の姿勢を安定させることにより、配線基板への吸引部の接触を確実に防止することができる配線基板搬送用治具を提供すること。
【解決手段】本発明の配線基板搬送用治具１１は吸引部２０を備える。吸引部２０には、凹部の内周面にて開口するエア吹出穴が設けられる。また、配線基板搬送用治具１１には、エア吹出穴にエアを供給するエア流路２２１が設けられ、エア流路２２１上には、作業者によって操作されるスイッチ部５１が設けられる。スイッチ部５１には、エア流路２２１が延びる方向とは直交する方向に長い断面形状を有する貫通孔６１が設けられる。なお、貫通孔６１がエア流路２２１と連通しない操作位置であれば、エア流路２２１を閉鎖する閉鎖状態となり、貫通孔６１がエア流路２２１と連通する操作位置であれば、エア流路２２１を開放する開放状態となる。 （もっと読む）

【課題】集塵穴から異物を効率良く回収することにより、異物の周囲への拡散をより確実に抑えることができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部を備える。吸引部の吸引面３０１の外周部には、吸引面３０１を包囲するように突設された環状の凸部３０２が形成される。また、配線基板の基板主面上の異物を回収する集塵穴３０６が、吸引面３０１における凹部の外側領域かつ凸部３０２の内側領域に配設される。 （もっと読む）

【課題】強力に吸着できると同時に、騒音の低減を図ったノンコンタクト搬送パッドを提供する。
【解決手段】圧縮気体を噴出して板状部品を吸着保持する搬送パッドであって、上記搬送パッドの中心部に設けた導入口２からほぼ垂直に流路４を設け、流路の上記搬送パッド中央部分から底面にかけほぼ円錐状の内周凹面を設け、上記内周凹面に対抗してほぼ円錐状のスタッド８を配置して流路を形成し、上記搬送パッドの底面が外周部の方にかけて滑らかな平面状に構成され、圧縮気体が、上記導入口から流路を通り、上記スタッドの先端部分から噴出口６にかけて流路の断面積が小さくなるように狭め、流路を経て上記噴出口から噴出させ、上記噴出口から上記底面に沿って導出することにより板状部品を吸着保持するノンコンタクト搬送パッドにおいて、上記搬送パッドの底面外周部の端面が全周にわたってテーパー状に切欠かれたディフューザ１４を設けた。 （もっと読む）

【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ＯＮ・ＯＦＦ状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口Ｃ３を有するエンドエフェクタＣによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Ｘとして、アーム１の内部に設けたエア管４を介して吸着用エア供給口Ｃ３に接続され、吸着用エア供給口Ｃ３に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口Ｃ３への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット３を備え、この吸着切替ユニット３を、アーム１のうちアーム長１Ｌの半分１Ｃよりもシータ軸Ｊ３に近い位置に設けた。 （もっと読む）

【課題】ワークの変形を抑制してワークを安定して保持することが可能なワーク保持装置を提供する。
【解決手段】シート状のワークＷを保持するワーク保持装置１であって、ワークＷの一端を固定する固定手段１０と、ワークＷの一端を除いた端部に配置されるとともに、ワークＷの面に平行かつワークＷに対して外向きの張力を発生させる張力発生手段２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面状部材を安定且つ位置ずれの少ない状態で非接触吸着して面状部材へのストレスを低減できると共に簡易な構成で安価に実現できる非接触吸着装置を提供する。
【解決手段】基体１から噴出する流体による負圧により面状部材４を非接触吸着する非接触吸着装置であって、基体１の一側は凹部５が設けられ、凹部５には前記流体を噴出する第一流体噴出部６が設けられ、凹部５の周囲には面状部材４を非接触吸着する非接触吸着部２が設けられ、凹部５内にして第一流体噴出部６にはガイド体７が対設され、第一流体噴出部６から噴出した流体が前記ガイド体７により外方向に案内され、非接触吸着部２を通過することで生ずる負圧により面状部材４が非接触吸着部２に非接触吸着されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ワークの表面に対し、接触による問題がない位置にパッドを接触させることができる保持具を低コストで提供することである。
【解決手段】 ベルヌーイの原理を利用して本体に設けた保持面１ａにワークＷを保持する保持具を前提とし、上記本体から外方に突出させた支持部材を設け、この支持部材には、ワークＷに接触して上記保持面１ａとワークＷとの間隔を保持するための複数のパッド１２を設け、上記本体よりも外方に突出するワークＷの内側にはパッド１２が接触しない構成にした。 （もっと読む）

【課題】 様々な大きさのワークに適応可能な保持具を、低コストで提供することである。
【解決手段】 ベルヌーイの原理を利用して本体に設けた保持面１ａにワークＷを保持する保持具を前提とし、上記保持面１ａの外形より突出する風よけ部材８を備え、この風よけ部材８の全部あるいは一部が、保持面１ａに保持されたワークＷと対向する位置関係を保つ構成にし、ワークＷを保持搬送する際に、ワークＷが脱落する方向ｘ２の風圧を風よけ部材８がさえぎるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ベルヌーイの原理を利用してワークを保持する保持装置において、製造コストを抑えながら装置全体の厚みを薄くできる保持装置を提供すること。
【解決手段】 ノズル本体内６に、ノズル１１に連通するとともに圧力流体源に接続した中継室７を備えるとともに、上記中継室７の周囲には流体誘導面８，１０を設け、上記圧力流体源からの流体を上記中継室７を経由して上記ノズル１１から噴出させ、ベルヌーイの原理を用いてワークを保持して搬送する保持装置において、上記ノズル本体６の側面を通過して上記中継室に連通する供給パイプ１６と、上記ノズル本体６の側面に連接した支持部１５とを備え、上記供給パイプ１６を上記支持部１５に沿わせた。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド７７を先端のＵ形の保持アーム３４に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド７７から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム３４の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド７７で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 （もっと読む）

【課題】イオンエアを基板主面全体に拡散させることにより、異物の除去や除電を確実にかつ均一に行うことができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部を備える。吸引部は、吸引面に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口する６個のエア吹出穴８１が設けられる。また、凹部７３の中心部には、基板主面１２０に向けてイオンエアを吹き付けるためのイオンエア吹出穴８２が設けられる。各エア吹出穴８１は、仮想円Ｃ２上においてイオンエア吹出穴８２を取り囲むように設けられ、中心軸Ｃ１を基準として等角度間隔で配置されるとともに、仮想円Ｃ２の接線Ｌ１に対して同じ角度θ１だけ傾斜した状態で開口する。 （もっと読む）

【課題】ワークの浮上量を所望の値に設定するための部材点数を抑えることができる非接触保持装置を提供する。
【解決手段】非接触保持装置１０は、ワークＷに対向する保持面３１を有して内部に圧縮空気が導入される保持体１２と、保持面３１に開口を有して保持体１２に導入された圧縮空気を開口から流出する旋回流発生室３４を備え、旋回流発生室３４に流入した圧縮空気の旋回流によって負圧を形成し、保持面３１に設けられた開口から流出する圧縮空気によって保持面３１とワークＷとの間に正圧を形成することによって、保持面３１に接触しない位置にワークＷを保持する。そして、保持体１２には、旋回流発生室３４と保持体１２の外側の領域である外側領域Ｓとを連通させることによって、旋回流発生室３４内に流入した圧縮空気を保持体１２の外側領域Ｓへ漏出させる連通路３６を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークが保持される状態において、ワークの姿勢の安定性を高めつつワークと他の部材との接触を防止するチャック装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに対向する保持面３２に開口する旋回室３３を有した保持部材１２を備え、旋回室３３に流入した圧縮空気の旋回流によって旋回室３３とワークＷとの間に負圧を形成するとともに、旋回室３３から流出した圧縮空気によって保持面３２とワークＷとの間に正圧を形成することによって、支持台４０に支持されたワークＷを浮上させて保持部材１２から保持距離ＨＤだけ離れた保持位置でワークＷを保持するチャック装置１０において、ワークＷの浮上方向において保持面３２から保持位置よりも保持部材１２の領域である規制領域に配置されるとともに、ワークＷとの接触によって浮上方向におけるワークＷの進路を規制領域の支持台４０側に規制する浮上規制部材４５を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持するために装置が必要とする空間を、保持面が移動する方向において縮小する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】非接触搬送装置１０は、ワークＷを保持する保持部材１２と保持部材１２が装着される装着プレート１１とを有している。保持部材１２は、ワークＷに臨む流出面１２ａと、流出面１２ａに開口する旋回室と、旋回室に圧縮空気を導入する導入孔とを有している。一方、装着プレート１１は、相対向する装着面１５ａと裏面１５ｂとを繋ぐ外側面１５ｃを有するプレート本体１５と、気体供給源１３からの圧縮空気が流れる気体流路と、気体流路の経路上に設けられ装着面１５ａに開口し、該気体流路と保持部材１２の導入孔とが連通するかたちに保持部材１２が嵌入される嵌入孔とを有している。装着プレート１１の気体流路には、プレート本体１５の外側面１５ｃに設けられた供給ポート１９を介して圧縮空気が供給される。 （もっと読む）

【課題】 ベルヌーイの定理を利用して負圧を発生させて被保持体を保持する保持具を提供することである。
【解決手段】 板状面１ａを備えた本体１と、この本体１の板状面１１ａに沿って流体を噴出させる噴出部１４とを備え、この噴出部１４から噴出した流体を板状面１１ａに沿って導き、ベルヌーイの原理によって板状面１１ａに負圧を生じさせ、この負圧を利用して被保持体１６を保持する保持具において、上記本体１の板状面１１ａには、被保持体１６を接触させてその位置を保持するストッパー１５を設けるとともに、本体１の板状面１１ａと対向する仮想面に発生する圧力の合計が最大負圧になる仮想面位置もしくはほぼ最大負圧になる仮想面位置に、上記ストッパー１５の先端を対応させた。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の脆弱性を帯びた板状部材を搬送対象とした場合の当該板状部材にストレスを与え難くするとともに、ウエハの割れ原因を効果的に回避可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷの下面側に位置してこれを支持する支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に支持する移動手段１２とを備えて搬送装置１０が構成されている。支持手段１１は、第１アーム形成部材２４と第２アーム形成部材２５とにより一部開放可能な閉ループを形成可能な支持アーム２０と、この支持アーム２０に設けられた吸引手段２１とを含む。第２アーム形成部材２５の先端２５Ｂ側は、接離可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】縦置きのワークを取り出して搬送することができるベルヌーイチャックを提供する。
【解決手段】本発明に係るベルヌーイチャック１は、ワークＷを非接触状態で吸着保持するもので、流路部材１１の流路を開閉する開閉弁１３と、吸着保持板３１の先端側の前記吸着面３１ｄに対して出没可能に設けられて突出状態において前記ワークＷの移動を規制する可動ストッパ３６と、前記開閉弁１３の開閉および可動ストッパ３６の出没を切り替えるスイッチ機構５とを備える。スイッチ機構５は、開閉弁１３を閉じ、且つ可動ストッパ３６を埋没させる第１切替状態と、開閉弁１３を開き、且つ可動ストッパ３６を埋没させる第２切替状態と、前記開閉弁１３を開き、且つ可動ストッパ３６を突出させる第３切替状態とを切り替える。 （もっと読む）