【課題】ベルヌーイチャックで吸引保持した基板を、規制体で所定姿勢に位置保持する基板移載装置において、規制体の規制機能の回復をより少ない手間で簡便に行うことができるようにする。
【解決手段】基板Ｗの表面に平行な方向の滑り移動を規制するガイド５３をガイド取付部材５１に対して着脱自在に構成する。これにより、規制体５０の全体の交換を要することなく、ガイド５３のみを交換するだけで、規制体５０の規制機能を回復することができる。従って、規制体５０の全体を交換する形態に比べて、規制体５０の規制機能の回復に要する費用や手間を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】自重で撓んだ状態の基板を破損させずに基板収容容器から取り出すことができる基板搬送アームを提供する。
【解決手段】基板搬送アーム１は、基板収容容器内に水平に置かれた基板の下側に挿入されて、この基板の裏面を支持しつつ基板を前記収容容器から搬出する。基板搬送アーム１は、基板が搬出されるときに基板の裏面を支持する載置面１２ｓを有する載置部と、当該基板搬送アーム１が基板の下側に挿入されるときに、基板の裏面を少なくとも載置面１２ｓの高さにまで押し上げる押上部１２ｒとを備える。 （もっと読む）

【課題】エア源を使用することなく、部品を組み付けることが可能な部品組み付け装置及び機械部品の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のアーム１２ａの先端部に第１のハンド５１ａを有し、第１のハンド５１ａを用いて第１の部品を保持する第１のロボット１１ａと、第２のアーム１２ｂの先端部に第２のハンド５１ｂを有し、第２のハンド５１ｂを用いて第１の部品に組み付けられる第２の部品を保持する第２のロボット１１ｂと、を備え、第１のハンド５１ｂは、第１の部品又は第２の部品を上方から押さえる押さえ部材７４を有し、第２のハンド５１ｂは、第２の部品に形成された孔に挿入され、第２の部品を保持する支持ピン５５、５６を有する。 （もっと読む）

【課題】薄物のワークの局所変形を抑制しつつ、ワークを取り出す際の撓みを許容できる真空吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面１０ａを有する多孔質体１０と、吸着面１０ａの周囲を気密に閉塞して多孔質体１０を保持するホルダ２０と、吸着面１０ａから吸引を行う吸引装置３０と、ホルダ２０を支持し、吸着面１０ａの水平面に対する傾きを変位自在とするベローズ管４０と、を有する真空吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの表面に対し、接触による問題がない位置にパッドを接触させることができる保持具を低コストで提供することである。
【解決手段】 ベルヌーイの原理を利用して本体に設けた保持面１ａにワークＷを保持する保持具を前提とし、上記本体から外方に突出させた支持部材を設け、この支持部材には、ワークＷに接触して上記保持面１ａとワークＷとの間隔を保持するための複数のパッド１２を設け、上記本体よりも外方に突出するワークＷの内側にはパッド１２が接触しない構成にした。 （もっと読む）

【課題】積層された多数枚の太陽電池セルのうちの最上層の太陽電池セルのみを破損することなく確実に取り出すとともに、寸法精度を確保して移送する。
【解決手段】水平な下面を有するフラットテーブル４を備え、最上層の太陽電池セルを吸着する位置と上方に退避した位置との間を昇降自在で、太陽電池セルの退避位置と移送位置との間を移送自在なベース３と、フラットテーブル４の幅方向中央を貫通してベース３に対して昇降自在な吸着パッド７と、フラットテーブル４の四隅をそれぞれ貫通するとともに、下端面がフラットテーブル４の下面よりも下方に突出して設けられた規正パッド８とから構成される。そして、吸着パッド７を介して太陽電池セルの幅方向中央部を吸着してフラットテーブル４の下面に接触するように持ち上げるとともに、規正パッド８を介して太陽電池セルの四隅を吸着してフラットテーブル４の下面に沿わせる （もっと読む）

【課題】板状部材の一方側の面に凸部および凹部が形成された場合でも適切に保持することができる板状部材の支持装置および支持方法を提供すること。
【解決手段】ウェハＷの外縁に沿った環状の枠体５を備えて保持手段３が構成され、凸部ＷＢ表面に対向する吸引口７から空気を吸入することによって、ウェハＷの凹部ＷＣに吸引力を作用させることなくウェハＷを吸引保持することができ、ウェハＷに作用するストレスを低減させつつウェハＷを適切に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗの搬送中に、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させて、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に複数の吸着パッド１９が設けられ、ハンド本体１１に複数のロッド状の支持脚２１が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、各支持脚２１は先端側に被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部２１ｆを有し、各支持脚２１は、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、コイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】搬送中の板状部材において、支持手段により支持される面と反対側の面に接触しないようにしつつ、板状部材が支持手段に対して移動することを防止できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２と、支持手段１１に支持されたウエハＷの他方の面側から離れて位置し、支持手段１１の吸引支持を補助可能に設けられた補助手段１３とを備えて構成されている。補助手段１３は、ウエハＷに気体を噴出することでウエハＷを支持手段１１側に付勢可能に設けられ、支持手段１１による吸引力を一定としても、ウエハＷの支持力を増大できる。 （もっと読む）

【課題】基板吸着時の基板振動が抑制され、安定して基板を吸着保持することができる基板吸着装置の提供。
【解決手段】基板吸着装置は、高速流体を流出口Ｅから流出してベルヌーイ効果により吸着対象基板７を吸引する吸着部１と、流出口Ｅから吸着対象基板方向に所定距離を空けて流出口Ｅを囲むように配置され、吸着部１により吸引された吸着対象基板７に当接するパッド４とを備える。パッド４が流出口Ｅを囲むように配置されているので、吸着対象基板７がパッド４の当接したときの振動の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの重量、ロボットハンド１の加減速が大きくなっても、基板Ｗに傷が発生することを十分に抑えつつ、基板Ｗを移送すること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面当接可能な複数の当接ピン１３が設けられ、ハンド本体７における各当接ピン１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２１が形成され、各吸込孔２１が空気を吸い込む送風器１９に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】ワークの横ズレや傾きによる位置ズレの発生がなく、確実にワークを保持、固定でき、また多種多様な形状、大きさのワークに対応でき、さらにワークの保持位置の自由度が高く、汎用性に優れたロボットハンドを提供する
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられ、ワーク６を保持するためのロボットハンド１であって、ワーク面の形状に追従可能なベローズ式吸着パッド２と、ベローズ式吸着パッドの内側に配置され、ベローズ式吸着パッドとともにワークを保持、固定するための高硬度吸着パッド３と、ベローズ式吸着パッドの外側に配置され、ワークの傾きを固定するための固定ロッド４とからなる。固定ロッドはシャフト４ａとシャフトの先端に取り付けられたワーク押さえ部４ｂとからなり、固定ロッドの先端に位置決めピン７が取り付けられていてもよい。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドによって吸着したシート材の変形や歪みにより、２枚目以降のシート材まで同時に吸着してしまったり、シート材が破損してしまったりすることがある。
【解決手段】吸着パッド１０は、パッド基部１１と、外側に円錐状に拡がったパッド先端部１２とからなり、吸着パッド１０の中央内部には吸着口１６へ向かって突出する分離ロッド１３を設ける。そして、吸着パッド１０がシート材４０を吸着する場合は、真空ポンプ機構から通気孔１５を介して空気の吸引を行う。 （もっと読む）

【課題】部品をハンドリングした状態で位置合せ可能なハンドリング装置を提供する。
【解決手段】ハンドリング装置の真空吸着部１１は部品２を真空吸着して保持する。真空吸着部１１に配設された吸着力調整部材１５は、部品２と真空吸着部１１の吸着面１２との間にクリアランスを形成し、真空吸着力を減少させた状態で部品２を保持する。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易で、搬送時に搬送対象とする基板に、他の基板が張り付かないような構造の搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、基板３１を真空吸着する吸着パッド、基板３１を押圧する押し棒７、押し棒７を駆動するエアシリンダ１７、エアシリンダ１７および吸着パッドに接続された真空発生器１５を有している。
搬送装置１を用いて基板３１ａを搬送する場合は、まず、吸着パッドを、基板３１ａの上面に接触させる。
次に、真空発生器１５にエアを供給して負圧を発生させ、発生した負圧により、吸着パッドが基板３１ａを真空吸着する。
吸着パッドが基板３１ａを真空吸着すると、基板３１ａを持ち上げつつ、真空発生器１５より排気されたエアを用いて、エアシリンダ１７により押し棒７を移動させて基板３１を押圧、変形させ、基板３１ａと接触していた基板を剥離する。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに吸着したワークから吸着パッドを引き離す際に、ワークがその載置
位置からずれることのない吸着搬送方法及び吸着装置を提供すること。
【解決手段】吸着パッド１０でワーク１００を吸着した後、所定の載置位置Ａ２まで搬送
してこの載置位置Ａ２に載置する工程と、載置したワーク１００をピン６１によって載置
位置Ａ２に押え付けた後、前記ワーク１００の押さえつけを継続しつつ吸着パッド１０に
よる吸着を解除する工程と、ピン６１による押え付けを継続しつつ吸着パッド１０をワー
ク１００から引き離す工程と、ピン６１による押え付けを解除する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】パレット上に既に載置された他のワークに影響を与えずに、小型軽量のワークをパレット上に正しく載置するワーク吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】ワーク吸着ヘッド２３は、内管３１、外管３２、飛散防止カバー３３などからなる多重構造となっており、内管３１と外管３２との間に形作られる隙間４１と、外管３２の側面に設けられたエアー排出路４３が構成される。飛散防止カバー３３は、吸着したレンズ１１をパレット１２ｂに載置するときにバネ３４によってパレット１２ｂに押し当てられ、吸着されたレンズ１１をノズル部２７から離脱するときに吸着口３９から吐出されるエアー４８を閉じ込める。飛散防止カバー３３によって閉じ込められたエアー４８は、パレット１２ｂに既に載置された他のレンズ１１に影響を与えないようにエアー排出路４３を通して排出される。 （もっと読む）

【課題】
軽量で、コンパクトで、経済性が優れ、若干の移送対象物のそりなどの変形を容易に吸収でき、短時間に吸着を完了し、移送タクトタイムを大幅に短縮可能な移送装置を提供する。
【解決手段】
（１）支持板２と、（２）支持板２の下面に設けられ、移送対象物７に当接され、略平行して延びている２つの封止部材３と、（３）２つの封止部材の間に設けられている吸引孔と、（４）支持板２と２つの封止部材３と移送対象物７とによって囲まれる空間内を吸引する吸引手段（図示せず）と、を備える移送装置。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）