【課題】加工装置による加工精度を向上する。
【解決手段】被加工物としてのワークを凍結固定して加工を行う加工装置１０において、所定の方向に移動可能なベッド１ａ，１ｂと、ベッド１ｂに固定され、ワークを載置するベース２と、ベース２を冷却する温度制御手段２０と、ベッド１ａ，１ｂに対する位置を変動可能に制御され、ワーク２を加工する工具５と、を備え、温度制御手段２０は、ベース２を冷却することにより、ワークを該ワークの材質、および／または該ワークの加工条件に応じた所定の温度に制御する。 （もっと読む）

【課題】 コンベアに対するブラシ部材の相対高さの調整を自動で行え、調整のばらつきを抑え、かつ調整作業が容易なバリ取り装置を提供する。
【解決手段】 バリが上面に形成されたワークＷを水平に搬送するコンベア１と、コンベア１の上方に配置されたバリ取りヘッド２と、コンベア１に対するバリ取りヘッド２の相対高さを調整する相対高さ調整機構３とを備える。バリ取りヘッド２は、ブラシ軸心Ｏ１回りに回転自在なロール状のブラシ部材２０と、ブラシ部材２０を旋回軸心Ｏ２回りに旋回自在に支持する旋回支持部材２６とを有する。相対高さ調整機構３は、昇降駆動源５０によりコンベア１またはバリ取りヘッド２を昇降させる。ブラシ部材２０の下端を検出可能な投受光式のブラシ下端検出手段５０と、ブラシ部材２０の下端の検出に基づき昇降駆動源５０を制御する昇降制御手段６１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】研磨ヘッドの高さ方向の位置を安定して高精度に調整可能な研磨ヘッドの高さ方向の位置の調整方法を提供し、研磨するワークの平坦度を向上し、ワーク間の平坦度のばらつきを抑制することを目的とする。
【解決手段】ワークが保持されていない研磨ヘッドを研磨布と接触しない高さ方向の位置に位置決めした後、研磨ヘッドと定盤の少なくとも一方を回転させる工程と、高さ調整機構によって研磨ヘッドを研磨布に接触させるまで近づけながら、回転させた研磨ヘッドと定盤の少なくとも一方の負荷トルク電流をトルク測定機構によって測定し、該測定した負荷トルク電流の変化量が所定の閾値を超えた時点の研磨ヘッドの高さ方向の位置を基準位置として設定する工程と、設定した基準位置からの距離に基づいて、研磨ヘッドの高さ方向の位置を所定位置に調整する工程とを有する研磨ヘッドの高さ方向の位置の調整方法。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハのダイシング中にチッピングを発生することなく良好な切断面を有する半導体素子を作製することができる半導体製造装置を提供することにある。
【解決手段】ダイシングブレード３４がダイシングシート１１に切り込むように半導体ウェハ１２のダイシングを行うと共に、その切り込み量Ｄがダイシングブレード３４の円弧状の刃先先端部の半径ｒに対して（（ｒ×１／５）≦Ｄ≦ｒの範囲となるようにした。 （もっと読む）

【課題】砥石車の砥石基準点の位置に対する実際の旋回中心点の位置を高精度に測定することができる砥石旋回中心測定方法および砥石旋回中心測定装置を提供する。
【解決手段】砥石車４２を第１〜第４旋回角度位置に位置決めし、４つのプレート基準点Ｐ０と制御上の旋回中心点Ｃｃとの位置関係を求める。そして、４つの位置関係およびマスタプレート２４の既知の寸法等から、幾何学的に砥石車４２の砥石基準点Ｐｇと実際の旋回中心点Ｃｒとの位置関係を演算する。この方法によれば、砥石台４０を旋回させて砥石車４２のＲ形状を成形するツルーイングの砥石形状精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】ブレードの位置検出を精度良く行いブレードの摩耗状態を正しく把握するとともに、装置の小型化を図る。
【解決手段】ワークに対して相対的にＹ方向にインデックス送りとＺ方向に切り込み送りとがされる回転ブレードと、前記ワークを載置して前記回転ブレードに対し相対的にＸ方向の切削送りがされるワーク加工テーブルを有し、前記回転ブレードにより前記ワークの切削加工を行うダイシング装置において、前記ワーク加工テーブルに関して前記回転ブレードとは反対側で、前記ワーク加工テーブルが駆動しても干渉しない位置にその検出部が位置するように、前記回転ブレードを保持するスピンドルと同じ支持部材に取り付けられた、前記回転ブレードの先端位置を検出するブレード位置検出器を備えたことを特徴とするダイシング装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】シンプルな構成で経年劣化の早期進行を抑え、安価な手段で、精度よく砥石寸法を検出する。
【解決手段】砥石８を回転させるホイールヘッド２３を備える。第１，２移動装置は、ワーク及び砥石８を互いに接近させる第１方向と、該第１方向と交差する第２方向とに相対的に移動させる。ドレッサー４は砥石８外面をドレスする。第１，２移動装置により砥石８を第２方向に移動させ、砥石８外面が接触することにより砥石８の位置を検出するブロック片５を備える。制御装置７は、記憶する砥石８の基準位置と、砥石８外面のブロック片５への接触により検出した砥石８の検出位置とを比較して実際の砥石径を算出し、第１，２移動装置を制御してワークＷ及び砥石８の相対位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】設備コストがかからない簡単な構成で熱変位補正を可能とする。
【解決手段】Ｓ１で暖機運転を行い（第１の暖機運転ステップ）、Ｓ３で各基準点の座標値を測定する（第２の基準点測定ステップ）。Ｓ５で、測定された座標値と前日の座標値とを比較して両者の差を算出し、Ｓ６で算出した差が許容値内にあるか否かを判別する（第１の判別ステップ）。ここで差が許容値内になければ、Ｎ回に達するまで暖機運転を繰り返し（第２の暖機運転ステップ）。暖機運転がＮ回に達すると、Ｓ３で再び各基準点の座標値を測定して（第３の基準点測定ステップ）、Ｓ５，６で前日の座標値との差が許容値内にあるか否かを判別する（第２の判別ステップ）。ここで許容値内になければ、暖機運転をＮ回繰り返しても座標値の差が許容値内にならなかったとして、Ｓ１１で、差に基づいてワーク座標原点を補正し（補正ステップ）、補正したＮＣプログラムで加工を行う。 （もっと読む）

【課題】移動基台に装着された研削手段の原点位置を検出する際に、原点位置検出センサーの脱落等に起因して移動基台に装着された研削手段が暴走するのを防止する。
【解決手段】研削手段の原点位置を検出する際には、研削送り手段のサーボモータを逆転駆動し研削手段が装着された移動基台を離反規制位置検出手段に達するまで上昇移動して離反規制位置に位置付けた後、サーボモータを正転駆動して移動基台を離反規制位置から下降移動し、原点位置検出センサーが遮光信号を出力した場合には原点位置調整工程を実施し、移動基台の下降移動時において移動量検出手段からの検出信号に基づいて移動基台の移動量が離反規制位置から原点位置までの距離に達しているにも拘わらず原点位置検出センサーが遮光信号を出力しない場合には表示手段に異常表示するとともに、研削送り手段の該サーボモータを停止する。 （もっと読む）

【課題】研磨体の研磨面が消耗しても、研磨面が設定したワーク研磨位置に移動するように制御されて安定した研磨作業が行われる研磨装置を提供すること。
【解決手段】昇降機構４を介して研磨体２を支持部１に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体２下端の研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出する基準位置検出手段５と、基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１に位置した研磨体２の研磨面３を検出した際に、この基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように昇降機構４を駆動制御する制御部を備えた研磨装置。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で切削ブレードの基準位置を検出可能な切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するスピンドルを有する切削手段と、該切削ブレードの下端部の高さ位置を検出するブレード検出手段とを備えた切削装置であって、該ブレード検出手段は、回転する該切削ブレード周囲の気流によって発生する風圧を検出し、風圧に応じて電圧を出力する圧力センサーを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転ブラシの磨耗の程度を良好に検出して、回転ブラシとワークとの間隔を良好に自動的に調整し、表面処理作業の効率化を図る。
【解決手段】回転ブラシ１０，２０の回転によって空気流が発生すると、流速計１００で空気流の流速Ｖが検出される。演算部２１０は、外部メモリ２５０の流速−ブラシ径データ２５４を参照し、検出した流速Ｖに対応するブラシ直径Ｄを得る。演算部２１０では、得られたブラシ直径Ｄと、ブラシ初期位置Ｐと、ワーク厚さＷＴとから、ブラシ位置調整量ΔＰを演算する。このブラシ位置調整量ΔＰの値に基づいて、昇降機構１２，２２によって回転ブラシ１０，２０の位置調整が行なわれる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、携帯電話などの携帯端末の表示画面に用いられる薄板ガラスの端面研削を行う際に、カメラの撮影データを利用して研削加工を行うことで、精度よく加工しつつも、薄板ガラスの表面に目印等を設けずに、研削加工を行うことができる研削装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｓ４で、基準ピンの位置から加工ステージの機械原点を算出する。Ｓ５で、実ワークのデータから、実ワークの外形の重心位置と、穴部の重心位置とを算出する。その後、Ｓ６で、実ワークの重心位置（外形の重心位置と穴部の重心位置）とモデルの重心位置（外形の重心位置と穴部の重心位置）とを一致させる。そして、Ｓ７で、加工ステージの機械原点と実ワークの重心位置とを比較して、機械原点とのズレ量（横方向のズレ量Ｘ、縦方向のズレ量Ｙ、回転方向のズレ量θ）を演算する。また、実ワークＷｉとモデルＷｍとを比較して、外形差により削り込み量Δｗも演算する。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの正確な最下点端部位置でセットアップを行うことが可能な切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法を提供する。
【解決手段】光学センサー５０をＸ方向（水平方向）及びＺ方向に移動してＸ方向の少なくとも異なる３点で該切削ブレード５０の外周端部を検出する複数端部検出工程と、検出された複数の外周端部のＸ，Ｚ座標から該切削ブレード５０の回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）５５を算出する中心算出工程と、該切削ブレード５０の回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）と該切削ブレード５０の複数の外周端部のうち少なくとも一つの外周端部のＸ，Ｚ座標に基づいて、該切削ブレード５０の半径を算出する半径算出工程と、該中心算出工程と該半径算出工程とを遂行して、前回割り出された該切削ブレード５０の半径と比較し、該切削ブレード５０の消耗量を算出する消耗量算出工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの正確な最下点端部位置でセットアップを行うことが可能な切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法を提供する。
【解決手段】光学センサー６５をＸ方向（水平方向）及びＺ方向に移動してＸ方向の少なくとも異なる３点で切削ブレード５０の外周端部を検出する複数端部検出工程と、検出された複数の外周端部のＸ，Ｚ座標から該切削ブレード５０の回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）５５を算出する中心算出工程と、回転中心座標（Ｘ_０、Ｚ_０）のＸ座標と合致する位置Ｘ_０に該光学センサーを位置付け、該切削ブレードをＺ方向に移動させて、該切削ブレード５０の最下点となる端部の位置を検出する最下点端部検出工程と、該中心算出工程と該最下点端部検出工程とを遂行して、前回割り出された該切削ブレード５０の最下点端部の位置と比較し、該切削ブレード５０の消耗量を算出する消耗量算出工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カメラによる撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置において、複数の加工ステージを備えてワークの生産効率を高めつつも、装置の大型化を防ぎ、コスト増大を防ぎ、さらに、カメラへの研削用冷却水の付着を防止することができる研削装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの研削加工を行う複数の加工ステージ３０…と、ワークＷの投入及び取出を行う投入取出ステージ４と、各加工ステージ３０…と投入取出ステージ４と間で、各々ワークＷを搬送する搬送ロボット２と、搬送ロボット２に設けられたカメラ２３と、を備え、このカメラ２３で、各加工ステージ３０…を撮影して、各加工ステージ３０…で用いる画像データを取り込むもの。 （もっと読む）

【課題】レジンブレード等の切削ブレードの基準高さ検出時に切削ブレードに金属が固着したり、切削ブレードが局所的に損傷されることのない切削装置、及び切削ブレードの鉛直方向位置の基準高さの検出方法を提供する。
【解決手段】切削装置は液体収容手段２８と検出手段４２とを配設する。液体収容手段２８は、上面が開放された液体収容凹部３０を有し、ここに導電性液体３４を供給し、その液面の高さを基準値に設定して基準液面３６とする。基準液面３６に向けて切削ブレード２２を下降し切削ブレード２２が基準液面３６に電気的に接触したことを、検出手段４２で検出する。かかる検出時の切削ブレード２２の鉛直方向位置を基準高さとする。 （もっと読む）

【課題】厚み計測機構が正常に作動しているか否かを確認することができる研削装置のチャックテーブルの基準位置確認方法を提供する。
【解決手段】計測ロッドをチャックテーブルの上方である第１の計測位置に位置付けた後に移動レール作動手段を作動して移動レールを退避位置から自重で下降せしめた状態において位置検出手段が出力する第１の位置信号と、計測ロッドをチャックテーブルから離隔した第２の計測位置に位置付けた後に移動レール作動手段を作動して移動レールを退避位置から自重で下降せしめた状態において位置検出手段が出力する第２の位置信号とに基づいて、第１の位置と第２の位置の差が所定値以上の場合は第１の位置をチャックテーブルの基準位置と判定し、第１の位置と第２の位置の差が所定値未満の場合には故障と判定し、判定結果を表示手段に表示する。 （もっと読む）

【課題】切削装置が設置された室内の温度が変化しても、所望の切り込み深さでウエーハを切削可能な切削ブレードの管理方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、ウエーハを切削する切削手段と、切削水供給手段５６と、切削水の温度を制御する温度コントローラ１０４と、該切削ブレードの切刃の磨耗を検出するブレード検出手段と、該切削ブレードの基準位置を検出する基準位置検出手段とを備えた切削装置の管理方法であって、切削水の温度１０２と室内の温度１００を検出する温度検出工程と、該切削ブレードの切刃の基準位置を検出する基準位置検出工程と、切刃の磨耗量を検出し、切刃の基準位置との差を求め、切刃の基準位置を補正する基準位置補正工程と、切削水温度及び室温を検出する前記温度を実施し、該基準位置検出工程を実施した際の室温と異なる室温を検出した際に、該温度コントローラが切削水の温度を制御する温度制御工程と、を具備する。 （もっと読む）