【課題】ディスクカッタに噴射される水の使用量を抑制する。
【解決手段】この携帯用切断機１０は、エンジン等の駆動源によりディスクカッタ２８を駆動して被削材の切断作業を行うために使用される。ディスクカッタ２８にはノズル３７から水が噴射され、ディスクカッタ２８が冷却されるとともに粉塵の発生が抑制される。ディスクカッタ２８が被削材に接触すると、歪みゲージ５３ａ，５３ｂからの信号により接触状態が判定されてノズル３７から水が噴射され、接触しなくなるとノズル３７に対する水の供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】研削手段に対して供給される研削水の使用量の削減を図ることができる研削装置を提供する。
【解決手段】研削装置１０は、回転可能なチャックテーブル１と、回動可能なターンテーブル６と、板状ワークを研削する第１の研削手段３０及び第２の研削手段４０と、第１の研削手段３０及び第２の研削手段４０で研削する際に研削水を供給する研削水供給手段７と、を少なくとも備え、第１の研削手段３０及び第２の研削手段４０は、待機状態Ａと、研削準備状態Ｂと、研削状態Ｃと、待機復帰状態Ｄと、に分けられており、研削水供給手段７は、待機状態Ａ、研削準備状態Ｂ及び待機復帰状態Ｄにおいて研削水を供給せず、第１の研削手段３０及び第２の研削手段４０のうちで少なくとも１つが研削状態Ｃのときに研削水を供給するため、研削水を削減でき、板状ワーク４の研削仕上げ厚み精度を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】ダブルの供給系を設けることなく、ダブルの供給系と同様にスラリーの供給エンジンがダウンしても、処理中のウエハを完全に処理することができ、初期投資のコストを低減したまま、処理中のウエハの損害を出すことなく処理できるスラリー供給装置及び方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも一つのスラリー供給タンクと、スラリーをＣＭＰ装置に供給する供給エンジンと、供給タンク内のスラリーをＣＭＰ装置に供給し供給タンクに循環する循環ラインと、循環ライン内のスラリーをＣＭＰ装置に供給する分岐ラインと、分岐ラインに設けたバルブと、ＣＭＰ装置内にセットされているウエハを処理するのに充分な量のスラリーを保持できる容量を有する分岐ラインに接続したバッファー部材と、供給エンジンが停止したときバッファー部材内の残留スラリーを加圧し、ＣＭＰ装置に供給する加圧部材とよりなるスラリー供給装置及びスラリー供給方法。 （もっと読む）

【課題】切削液を用いる加工機の加工性能及び洗浄性能の低下を抑え、さらに、その洗浄性能を向上させる。
【解決手段】切削液供給装置１は、切削液を貯留するタンク２と、不活性ガスを供給する不活性ガス供給部３と、供給された不活性ガスを用いてタンク２内の切削液中に微小気泡を発生させる第１のバブル発生器４と、タンク２と切削液を使用する加工機１１とを接続しタンク２内の切削液を加工機１１に供給するための液供給流路５ａと、加工機１１とタンク２とを接続し加工機１１からタンク２に切削液を戻すための排液流路５ｂと、液供給流路５ａの途中に設けられタンク２内の切削液を液供給流路５ａに流す循環ポンプ６と、酸化性ガスを供給する酸化性ガス供給部７と、供給された酸化性ガスを用いて、液供給流路５ａを流れる切削液中に微小気泡を発生させる第２のバブル発生器８とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡便且つ確実に、所定量の研磨液を回転バフに供給することができる研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】ロッドレンズアレイのロッドレンズが露出する端面を研磨する端面研磨装置６の回転バフ１２に研磨液を供給する研磨液供給装置３０であって、前記研磨液を収容する研磨液容器３４と、前記研磨液を前記回転バフに向けて吐出する吐出部３６と、前記研磨液容器と前記吐出部とを流体連通させるチューブ３８と、前記研磨液容器から前記吐出部まで前記チューブを通して前記研磨液を搬送するポンプ４４とを備え、前記ポンプが、所定インターバルで、前記研磨液を前記吐出部から吐出させるように作動され、前記ポンプの作動中は、前記回転バフの回転速度が低下する。 （もっと読む）

【課題】薄板状の被加工物の端面を的確且つ安全に研削加工を行うことができる研削装置を提供する。
【解決手段】外周に被加工物Ｗの端面を研削可能な研削面を有し回転する砥石６１と、この研削面で被加工物Ｗの端面を研削するよう砥石６１及び被加工物Ｗを相対的に移動する移動手段と、砥石６１の周囲に略等角度間隔に配設され研削面に液体を微粒子化して噴射する複数の噴射ノズル１１２と、被加工物Ｗに接触する砥石６１の研削加工位置を基準として砥石６１の回転方向後方に液体が噴射されるよう複数の噴射ノズル１１２の噴射を制御する制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】表層酸化物を効率よく除去する高張力鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】質量％で、Ｓｉ及びＭｎをそれぞれ０．５％以上含有する高張力鋼板を連続焼鈍した後に鋼板表面粗さＲａを測定し、該鋼板に対して、酸洗処理を行い、続いて、表面研削し、表面研削後の鋼板表面粗さＲａを測定し、その測定値が前記連続焼鈍後の鋼板表面粗さＲａよりも小さくなるように、前記表面研削時に供給されるクーラントの流量を調整することを特徴とする化成処理性に優れた高張力鋼板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】設置時の水平出しが不十分であったり設置場所の傾きが変化する場合にも、研磨液の分配の偏りを低減することができる研磨液分配装置及びこれを備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨液分配装置１０は、供給された研磨液を蓄える液受皿１２２が形成されるとともに、液受皿１２２の側面に放射状に接続され該接続の位置よりも低い位置に研磨液を供給する供出口１２３を有する複数の流路１２１が形成された円錐状の分岐体１２と、分岐体１２を支持する支持部１１と、分岐体１２の重心よりも高い位置で支持部１１を介して分岐体１２を支持する自在継手機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素の供給量を一定とすることにより供給作業を容易にすると共に、経済性に優れた過酸化水素の添加装置を提供する。
【解決手段】本発明の添加装置１は、スラリーを貯蔵するタンク２と、上記スラリーに含まれる過酸化水素濃度を、予め定められた時間の間隔で測定する濃度計４と、測定された上記過酸化水素濃度が予め定められた目標濃度よりも低い場合に、上記スラリーに一定量の過酸化水素を供給する過酸化水素導入バルブ６とを備え、上記一定量は、上記過酸化水素濃度が上記スラリーに過酸化水素を加えなかった場合に上記目標濃度から予め定められた下限濃度まで推移する推移時間、上記測定手段の測定間隔、及び、上記目標濃度と上記下限濃度との差の関係から求められる理論値だけ上記過酸化水素の濃度を上昇させる量以上、上記目標濃度と上記下限濃度との差の値だけ上記過酸化水素の濃度を上昇させる量以下の範囲から選ばれる量である。 （もっと読む）

【課題】研磨液を研磨工具と被加工面の間に介在させて研磨加工を施す研磨装置において、研磨工具が研磨液に水没して浮力を発生するのを防ぐ。
【解決手段】研磨工具３は回転しながら被加工物５の被加工面５ａに圧接され、被加工面５ａの研磨加工を行う。研磨液は、研磨液供給手段１９によって研磨工具３の加工部３ａに供給され、研磨液排出手段２０によって排出される。研磨液供給手段１９及び研磨液排出手段２０は、回転ステージ１７ａ及び上下ステージ１７ｂによって研磨工具３に対する相対位置を変化させ、常時、研磨工具３の下側から研磨液を排出することで、研磨工具３が研磨液に水没するのを防ぐ。 （もっと読む）

本発明は平坦なワークピースを両面加工する装置に関し、この装置は、上部作業ディスクと下部作業ディスクとを備え、両作業ディスクは、互いに向き合うそれらの作業表面の間に、ワークピースを加工するための作業空隙を形成し、また作業ディスクの少なくとも一方は、液状作業媒体を作業空隙へと供給するため作業表面まで貫通する複数の穴を有し、穴はいくつかの群にまとめられ、各穴群は作業媒体のための個別の加圧供給ラインに接続され、また供給ライン内の作業媒体の圧力を互いに個別に調節することを可能とする少なくとも１つの圧力制御装置が配備される。 （もっと読む）

【課題】 ＱＦＮ基板の電極枠を切削ブレードで切断して電極端子をデバイス毎に分離しても、隣接する電極端子同士が延性によって短絡することのない切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円形の切削ブレードがフランジに支持されてスピンドルに装着された切削手段とを備えた切削装置であって、該切削手段は、該切削ブレードの切刃の第１の側面をカバーする第１カバーと、該切刃の第２の側面をカバーする第２カバーとから構成されるブレードカバーを含み、該第１カバー及び該第２カバーには、前記フランジの外周から突出する該切削ブレードの切刃の根元部分に切削水を噴射する切削水噴射孔が切刃の円周に沿って複数形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被処理液体の濾過処理とフィルタの洗浄処理を効果的に行って、濾過流量の増大と濾過能力の向上を同時に達成し得る、磁気フィルタ装置を提供する。
【解決手段】使用済みのクーラントＣ´中に混在する研削金属粉を濾過する磁性フィルタ部１０と、磁性フィルタ部１０に磁場を印加する磁場印加部１１と、磁性フィルタ部１０にクーラントＣ´を導入・排出する液体処理部１２とを備えてなり、使用済みクーラントＣ´の濾過処理工程において、磁場印加部１１により磁性フィルタ部１０に磁場を印加する一方、磁性フィルタ部１０の洗浄工程において、磁場印加部１１により磁性フィルタ部１０の磁場を印加解除する構成とされている。これにより、使用済みクーラントＣ´の濾過処理とフィルタの洗浄処理をそれぞれ効果的に行い、濾過流量の増大と濾過能力の向上を同時に達成する。 （もっと読む）

【課題】比較的高い研磨レートを維持したまま、研磨液の消費量をより削減することができるようにする。
【解決手段】研磨面５２ａを有する研磨テーブル２２と、研磨対象物Ｗを保持し該研磨対象物Ｗを研磨面５２ａに押圧するトップリング２４と、研磨液供給ライン７２に接続されて研磨面５２ａに研磨液Ｑを供給する研磨液供給ノズル２６と、研磨面５２ａ上の研磨液量を研磨中に監視する研磨液量監視手段６０と、研磨液量監視手段６０の出力に応じて研磨液供給ノズル２６から研磨面５２ａに供給する研磨液Ｑの液量を調整する液量調整部７４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードに切削水がバランスよく供給されているか否かを確認可能な切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削ブレードを２８支持したスピンドル２６を有する切削手段２４と、該切削ブレード２８に切削水を供給する切削水供給手段とを備えた切削装置であって、該切削手段２４は、スピンドルハウジング２５と、該スピンドル２６と該スピンドルハウジング２５との間に形成されエアを介して支持するラジアルエアベアリング８２と、スピンドル２６と一体的に形成された環状スラストプレート７６と、該環状スラストプレート７６をエアを介して支持するスラストエアベアリング８４とを含み、該スラストエアベアリング８４は該環状スラストプレート７６と該スピンドルハウジング２５との間の軸方向の距離を計測する計測センサー８６，８８を備えている。 （もっと読む）

【課題】流量を制御するデバイスを調整する手段とフィードバックループでさらに組み合わせることで、スラリーリザーバの異なる部分内のスラリー濃度を調整してパッド上のスラリー分布を改善する。
【解決手段】インジェクタ１０は、凹状の後縁１２を有し、底面が研磨パッドに面し、軽荷重下で該パッドに載り、スラリーが、インジェクタ１０の上部にある１つ又は複数の開口を通して導入されてチャネル２２又はリザーバを通って底部まで進み、複数の開口から出て薄膜状に広がり、ウェハ１４と研磨パッドとの間に導入されるのに十分なほど少ない量でウェハ１４の前縁に沿って研磨パッドの表面とウェハ１４との境目に導入される。流体を導入するための複数の入口２０を利用し、該入口２０に流体の流量制御手段１９を装着し、ウェハ１４の表面へのスラリー送出を調整してウェハ１４の表面における除去率の均一性を改善するように流量制御手段１９の調整を行う、方法。 （もっと読む）

【課題】振動濾過方法において、濾過性能を自動的に回復させ長期間安定した濾過を可能にする。
【解決手段】振動させたフィルタに被濾過液３を供給しクロスフローによりフィルタ７上に浮遊粒子層を形成させて濾液１４と粒子が濃縮されたオーバーフロー液１６とに分離する振動濾過方法であって、オーバーフロー液１６の流出を絞ってフィルタ７における圧力差を調節することにより浮遊粒子層を安定形成して濾過を行い、フィルタ７の濾過性能が低下したときは、オーバーフロー液１６の流出を開放して浮遊粒子層を洗い流すようにする。 （もっと読む）

本明細書において説明する実施形態は、基板プロセシングシステム内での流体の配送のための応用例を提供する。より詳しくは、本明細書において説明する実施形態は、基板プロセシングシステム内でのプロセシング化学薬品の配送のための応用例を提供する。一実施形態では、流体配送システムを提供する。流体配送システムは、流体を供給するための大容量流体源と、大容量流体源から流れ出る流体の比率を制御し監視するための流体配送モジュールと、流体配送モジュールから下流に設置された第１のストリーム配管と、第１のストリーム配管に沿って設置された第１のスイッチと、流体配送モジュールから下流に設置された第２のストリーム配管と、第２のストリーム配管に沿って設置された第２のスイッチとを備え、流体配送モジュールが、予め定められた比率に従って第１のストリーム配管および第２のストリーム配管を通って流れる２つのストリームへと大容量流体源からの流体を分ける。
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【課題】切削液を切削ブレードに供給しながらウェーハを切削する切削装置において、切削ブレードの冷却機能及び切削ブレードとウェーハとの接触部における潤滑剤としての機能という切削液が有する機能を低下させることなく、切削液に関するコストを低減する。
【解決手段】ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、切削ブレードに切削液を供給する切削液供給手段とを少なくとも備えた切削装置において、切削液供給手段は、液体とガスとを混合して霧状の切削液を噴出するミキシングノズルを有し、ミキシングノズルから霧状の切削液を切削ブレード及び切削ブレードとウェーハとの接触部に対して噴出する。 （もっと読む）

【課題】チューブを回転させなくても、チューブの寿命を延長させることができるチューブポンプを提供する。
【解決手段】このチューブポンプは、可撓性のチューブ３１０と、チューブ３１０を加圧しつつ、チューブ３１０の延伸方向に沿って移動する複数のローラ３４０，３５０，３６０とを備える。ローラ３４０，３５０，３６０は、チューブ３１０の周方向で見たときに、互いに異なる角度からチューブ３１０を加圧する。このため、チューブ３１０のうち加圧時に折り曲げ負荷が加わる部分は、ローラ３４０，３５０，３６０それぞれで異なる。従って、チューブ３１０を回転させなくても、チューブ３１０の寿命を延長させることができる。 （もっと読む）