【課題】硬脆材プレートの研磨作業中に、ヒゲの発生した研磨布などで構成される研磨部材を取り替えることなく、格別なメインテナンス作業も不要とし、不織布本来の研磨仕上げ効果を得ることのできるノッチ研磨用装置を提供すること。
【解決手段】硬脆材プレート４に設けられたノッチ部５を研磨するための研磨部材３は、少なくともその両側面側が、ポリアミド系繊維の不織布にウレタン樹脂の溶剤を含浸させた研磨樹脂層から構成されている。 （もっと読む）

【課題】サブストレートを損傷させることなくウエーハ外周の面取り部を除去することが可能なサブストレート付きウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】外周に表面から裏面に至る円弧状の面取り部３を有するウエーハ２のが表面に貼り合わされたサブストレート付きウエーハの加工方法であって、回転可能な保持テーブル１８でサブストレート１４の裏面側を保持する保持ステップと、ウエーハとサブストレートの界面位置を検出する界面位置検出ステップと、サブストレート付きウエーハの面取り部の半径方向内側の所定位置に切削ブレードを位置づける切削ブレード位置付けステップと、前記界面位置検出ステップで検出した界面位置に基づいて、切削ブレードをサブストレートに切り込むことなくウエーハに十分切り込ませた状態で、保持テーブルを少なくとも１回転させて面取り部を切削除去する面取り部除去ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度の穴明け加工を達成する。
【解決手段】中心軸線ＣＬまわりに回転させられるドリル本体１０の先端側部分である刃部の外周面１３には、刃部の先端面１２に一対に形成された先端逃げ面１２ａ、１２ｂから基端側に向けて二条の主溝２０、３０が延設され、前記二条の主溝のうちの一の主溝のドリル回転方向Ｋ前方側を向く壁面２２と前記先端逃げ面１２ａとの交差稜線に形成された、前記ドリル本体１０の外周端まで延びる切刃２１と、前記一の主溝よりも溝長が短い他の主溝のドリル回転方向Ｋ前方側を向く壁面３２と前記先端逃げ面１２ｂとの交差稜線であって、前記切刃２１より基端側に後退していて、被削材に接触しない交差稜線に形成された非切削部３１と、前記一の主溝および他の主溝の外周縁に連結する前記刃部の外周面１３に、加工穴の内周壁面に摺接可能に形成されたランド２３、３３と、を含んでなるドリルを提供する。 （もっと読む）

【課題】滑らかな被研磨面を形成することができる研磨プロセスを低コストで実現することができる研磨装置および研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、基板Ｗをその軸心を中心として回転させる基板保持部３と、回転する基板Ｗの周縁部に第１の研磨具２３Ａの研磨層を接触させて周縁部を研磨する第１の研磨部１Ｂ，１Ｄと、回転する基板Ｗの周縁部に第２の研磨具２３Ｂの研磨層を接触させて周縁部を研磨する第２の研磨部１Ａ，１Ｃとを備える。第１の研磨具２３Ａの研磨層は、硬質の第１の砥粒を有し、第２の研磨具２３Ｂの研磨層は、第１の砥粒よりも軟質の第２の砥粒を有する。 （もっと読む）

【課題】撥水加工が施された表面摩擦係数の低いレンズであっても軸ずれが発生せず良好な形状加工を行うことができるレンズ加工用パッドを提供する。
【解決手段】レンズ加工用パッド１０は、基材１１と、この基材１１の両面にそれぞれ貼着されたレンズ側粘着層１２および治具側粘着層１３とからなり、使用前においてはレンズ側粘着層１２と治具側粘着層１３の表面に剥離シート１４、１５がそれぞれ貼着されている。基材１１は、クッション層１６とコア層１７とを備え、コア層１７がレンズ側粘着層１２とクッション層１６との間に介在されている。剥離シート１４は、粘着層１２に密着する面の表面粗さが算術平均粗さで０．１μｍ以下であり、この表面粗さが粘着層１２の表面に転写される。 （もっと読む）

【課題】ビレットの面取りを好適に行なうことができる面取り装置を提供すること。
【解決手段】
筐体と、筐体に支持されるアーム用軸を介して筐体に対し回転可能に支持されるアームと、アームに支持される切削部材用軸を介してアームに対し回転可能に支持される切削部材と、筐体に支持され、かつ、アームのアーム用軸と切削部材用軸との間の領域においてアームを押圧する弾性部材と、を有するビレット用面取り装置とする。なおこの場合において、アームの、前記アーム用軸を基準として前記切削部材用軸が存在する側とは反対の側の領域に、重りを有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】検査効率に影響を与えることなく、かつ、面だれを発生させることなく試料ウェハの切断面を研磨可能な試料ウェハの研磨方法の提供。
【解決手段】一対のダミー部材としてのダミーウェハＤの間に試料ウェハＷを積層する状態で設け、これらのダミー部材としてのダミーウェハＤで試料ウェハＷを挟持した被研磨体Ｈを研磨している。このため、複数枚の試料ウェハＷであっても強固に固定できる。また、試料ウェハＷを固定するためにワックスなどを塗布しないので、ウェハ鏡面加工面Ｗ２の付着物を除去する必要がなく、検査効率に影響を与えることがない。さらに、研磨の際に砥粒が被研磨体Ｈのダミー部材としてのダミーウェハＤ側に滞留しても、ダミー部材としてのダミーウェハＤが研磨されるだけであり、試料ウェハＷの面だれ発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】面だれを発生させることなくウェハの一面を斜めに研磨可能な試料ウェハの研磨方法の提供。
【解決手段】試料ウェハＷのウェハ鏡面加工面Ｗ２に、ダミーウェハＤを積層する状態で設けた被研磨体Ｈを作製している。そして、ウェハ鏡面加工面Ｗ２がダミーウェハＤを介して装置研磨面２３Ａと略対向し、かつ、ウェハ鏡面加工面Ｗ２と装置研磨面２３Ａとのなす角度が鋭角となるように、被研磨体Ｈを装置研磨面２３Ａおよび砥粒２４に接触させて、この接触部分のダミーウェハＤ側に砥粒２４を滞留させるように被研磨体Ｈと装置研磨面２３Ａとを相対移動させて、ウェハ鏡面加工面Ｗ２を斜めに研磨している。 （もっと読む）

【課題】研磨に要する装置の簡素化および低コスト化、並びにガラス基板の端縁に施される面取り面周辺の品位向上を図りつつ、当該端縁の面取り処理に要する時間を大幅に短縮して、生産性の向上を図る。
【解決手段】研磨具１が、ガラス基板７の表裏面７ａ、７ｂと端面７ｃとが交差する端縁７ｘ、７ｙに対して相対的に直線移動しながら回転軸８廻りに回転することにより、ガラス基板７の端縁７ｘ、７ｙに面取り処理を施すに際して、研磨具１の研磨面は、外周側の研磨面３ａの粗度が内周側の研磨面４ａの粗度よりも小さく、研磨具１がガラス基板７の端縁７ｘ、７ｙに対して相対的に直線移動する際には、外周側および内周側の両研磨面３ａ、４ａによってガラス基板７の端縁７ｘ、７ｙにそれぞれ面取り面が形成されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の固定時における位置ずれ等を生じることなく、短時間で高精度な心出しにより、高精度に効率よく心取り加工を行う。
【解決手段】レンズ保持軸１のレンズヤトイ４に真空吸着にて被加工レンズ５を仮固定し、移動テーブル９に搭載された偏心検出装置Ｌ１による被加工レンズ５に対する出射光１８ａおよび反射光１８ｂの観察によってレンズ保持軸１の軸心と被加工レンズ５の中心軸を一致させる心出しを行った後に、レンズ保持軸１とレンズ固定軸６の間に被加工レンズ５を挟持して回転させ、研削砥石２１を被加工レンズ５の外周部に押圧して心取り加工を行う。従来のようにヤニによって被加工レンズ５をレンズヤトイ４に固定する場合に比較して、位置ズレを生じることなく、短時間に正確に被加工レンズ５をレンズ保持軸１に対して同軸状態に固定して高精度な心取り加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】加工終了後のレンズの中肉寸法を所望の精度に仕上げることができる。
【解決手段】貼付剤として、粘弾性特性を有するとともに加熱すると流動性が増大する熱融解性貼付剤を用い、貼付皿３および貼付剤を、熱融解性貼付剤が流動性を示す温度まで加熱するとともに、加熱された熱融解性貼付剤をレンズ２のレンズ面に塗布し、熱融解性貼付剤が塗布されたレンズ２を、貼付皿３の貼付面に仮貼り付けし、貼付皿３に仮貼り付けされたレンズ２を、レンズ面の裏面側の中央部を回動支点として回動可能、かつレンズ径方向に移動可能に保持して、貼付皿３側に押圧し、レンズ２のレンズ面を貼付面に倣わせ、レンズ２を貼付面３に倣わせた後、貼付皿３を冷却して、熱融解性貼付剤を固化させることで、熱融解性貼付剤を均一な膜厚寸法とし、レンズ２の中肉寸法の精度を高めるようにした。 （もっと読む）

【課題】アライニング機能を有するウェハ周辺部研磨装置であって、研磨対象となるウェハが大口径ウェハであっても、装置を小型化できるとともに、製造コストの上昇を抑制することが可能な周辺部研磨装置を提供する。
【解決手段】ノッチ位置検出センサ７３の光学式センサ７３１がワークＷのノッチｄを検出すると、チャック手段２１の回転が減速される。ノッチ位置決めピン７４をワークＷの半径方向内側に移動し、ばね７４６の付勢力によって、スライダー７４３を、ワークＷの半径方向内側に移動する。ピン部７４１の先端がワークＷの円筒面ｂに当接し、ピン部７４１の先端がワークＷの円筒面ｂに押し付けられる。この状態で、さらにワークＷを回転すると、ピン部７４１の先端がワークＷのノッチｄに侵入して係合する。その結果、ノッチｄは、ノッチ用研磨ユニット６と対向する角度位置に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】ドリル本体が小径部と大径部を有する段付きドリルであっても、ドリル本体に対して一定の捻れ角の捻れ溝を加工することができ、段付き孔を効率的に穿孔できる穿孔ドリル及び穿孔ドリルの加工方法を提供する。
【解決手段】ドリル本体１１の先端部に小径部１２、基端部に大径部１３を有する段付きの穿孔ドリルにおいて、前記ドリル本体１１の大径部１３及び小径部１２に同一の捻れ角を有する螺旋状の捻れ溝１２ａ，１３ａを連続して形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象物の形状に制約されることなく、また、別途の心出し装置を必要とすることに起因する生産性の低下を生じることなく高精度な心出しを実現する。
【解決手段】心出し台２のエッジ部２ｃに載置された光学素子１を吸着カップ３のエッジ部３ｃで挟圧してベルクランプ方式で吸着カップ３および心出し台２の中心軸ｐ０に対して光学素子１の光軸ｐを一致させる心だしを行う心出し機構Ｍ１において、吸着カップ３に複数の振動子５を配置し、心出し中に吸着カップ３を介して光学素子１に微細な振動を与えることで、吸着カップ３のエッジ部３ｃおよび心出し台２のエッジ部２ｃの間に保持された光学素子１の自律的な滑動を促進し、光学素子１のＺ係数等の形状に影響されることなく、効率よく、高精度の心出しを実現する。 （もっと読む）

【課題】 クリングスアームとレンズとの干渉を避けつつ、見栄えの良いレンズの加工を容易に行えるようにする。
【解決手段】
眼鏡レンズ加工装置は、玉型データに基づいてレンズ前面及びレンズ後面のコバ位置を検知する手段と、レンズ後面のコバ角部を加工するコバ角部加工具と、仕上げ加工後のレンズ後面のコバと眼鏡フレームのクリングスアームとの干渉を避けるに必要なコバ角部の修正量データを入力する手段であって、クリングスアームのコバ位置での加工量及びコバ角部の加工範囲を含む修正量データを入力する修正量データ入力手段と、コバ位置検知データ及び修正量データに基づいてレンズ後面のコバ角部の加工軌跡を求めて修正加工データを得る加工データ演算手段と、修正加工データに従ってレンズ後面のコバ角部を前記コバ角部加工具により加工する加工制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの外周部に形成された面取り部だけを確実に除去することができるウエーハの面取り部除去方法および面取り部を除去するための研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハの外周部に表面から裏面に渡り面対称に形成された面取り部を除去するウエーハの面取り部除去方法であって、ウエーハを保持するチャックテーブルを回転するとともに研削砥石を回転しつつ研削砥石の外周面をウエーハの外周部に形成された面取り部に接触させて研削送りする際に、電動モータに供給する電力の負荷電流値を検出し、検出された負荷電流値に基づいて研削砥石がウエーハに接触して研削を開始した時点から最大負荷電流値に達するまでの第１の研削時間または第１の研削送り量を求め、最大負荷電流値に達した時点から第１の研削時間または第１の研削送り量と同じ第２の研削時間または第１の研削送り量まで研削送りを実施する。 （もっと読む）

【課題】段取り作業を簡略化しつつ高精度の研削加工を実現するとともに、多様な形状の被加工物の研削加工における生産効率の向上を実現する。
【解決手段】ワーク軸２に保持されたワーク１を、ワーク軸２に水平面内で交差するツール軸１３に保持された研削砥石１１に押圧して研削加工する研削装置Ｍにおいて、ワーク軸２およびツール軸１３の可動範囲における鉛直方向（矢印Ｚ方向）の変位を計測して記憶し、任意のワーク１に加工における段取りにおいて、この計測結果に基づいてツール軸１３の矢印Ｚ方向の位置をサーボモーター２４および送りねじ２３で補正することで、加工中におけるワーク軸２およびツール軸１３の水平面内における位置ずれを防止し、段取り作業の簡略化および高精度の研削加工を可能にした。 （もっと読む）

【課題】熟練技術を必要とすることなく、研磨装置のワーク軸と砥石軸の同軸度の調整作業を短時間で高精度に行う。
【解決手段】研磨装置Ｍ１において、ワークホルダを介してレンズが装着される上軸１に治具Ａ２を介して凹形テーパ面５を備えた治具Ｂ４を遊動状態に装着し、研磨皿が装着される下軸８に凸形テーパ面６を備えた治具Ｃ７を固定し、上軸１を降下させて治具Ｂ４の凹形テーパ面５を治具Ｃ７の凸形テーパ面６に嵌合させて密着させた後、治具Ｂ４をビス９で上軸１の治具Ａ２に固定することにより、熟練を要することなく、上軸１の軸方向１Ｚと下軸８の軸方向８Ｚの同軸度の調整を簡便かつ迅速に行うことを可能にした。 （もっと読む）

【課題】光学要素を仕上げるため、特に、マイクロレンズを経済的に製造する。
【解決手段】表面を研磨性液体スラリー１４にて被覆する手段と、気体又は液体の何れかの流体ジェット３１をスラリーに対して衝突させ、基板表面２０に高せん断加工領域を形成し、これにより該表面の形状を所定の形状及び（又は）滑らかになるように変化させる手段とを備えている。該表面２０は、該表面上を流動するスラリー層を滝状に流すか又はスラリーを加工領域に衝突させ又は基板２０をスラリー内に浸漬させることにより、被覆することができる。ジェット流体を分配するノズル２６は、仕上げるべき表面から所定の距離にて及びある角度を成して正確に配置される。ノズル先端２６を基板表面２０から第一の距離に配置することにより粗除去機能が提供され、ノズル２６を基板表面２０により近い位置に配置することにより、精密な除去機能が提供される。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハの外周を切削する際にウエーハの表面を汚染することのない面取り部除去工程を有するウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが表面に形成され、該外周余剰領域の外周に表面から裏面に至る円弧状の面取り部を有するウエーハの加工方法であって、ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、回転可能な第１チャックテーブルにウエーハを吸引保持し、ウエーハの前記面取り部の半径方向内側に切削ブレードを位置付けて該第１チャックテーブルを少なくとも一回転させて該面取り部を除去する面取り部除去工程と、第２チャックテーブル上にウエーハの該保護部材側を吸引保持し、ウエーハの裏面を研削砥石で研削する裏面研削工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）