【課題】 特にノッチ部およびその周辺部の研磨に好適で、かつ、製品寿命の長い研磨パッドを提供する。
【解決手段】 研磨パッド１は、空隙率が最も高い中央層２と、空隙率が最も低い外側層３と、空隙率が、前記中央層の空隙率よりも低く、前記外側層の空隙率よりも高い中間層４とを有する。中央層２は、厚み方向中央側に位置し、外側層３は、厚み方向外側に位置し、中間層４は、中央層２と外側層３との間に位置する。 （もっと読む）

【課題】ボール傷の発生を防止し、音響特性と寿命の向上を図った車輪用軸受を提供する。
【解決手段】複列アンギュラ玉軸受で構成された車輪用軸受において、内輪１３の内側転走面１３ａの溝底部近傍に溝底径ｄ１よりも３０〜９０μｍのカチコミ代２δだけ大径に形成されたカウンタ部１８が形成され、このカウンタ部１８が、内側転走面１３ａから軸方向に延びる円筒部１８ａと、この円筒部１８ａから内輪１３の小端面１３ｂに向って縮径するテーパ面１８ｂとで構成されると共に、カウンタ部１８と内側転走面１３ａとの繋ぎ部ＡがＲ２．０〜１０．０の曲率半径からなる円弧面に丸められ、内側転走面１３ａと一体に総型の研削砥石によって同時研削されて滑らかに連続して形成されているので、搬送中に振動が加わった時、繋ぎ部Ａとボール１４が繰り返し接触してもボール１４に深い傷が発生するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】上記従来に比して、一層球体間の研磨ばらつきを抑制することができる球体研磨装置を提供する。
【解決手段】球体研磨装置は、複数の研磨溝のうちの１の溝から排出口Ｏ１〜Ｏ７を介して排出された球体が、投入口Ｉ１〜Ｉ７を介して複数の研磨溝の他の溝に投入されるように排出口Ｏ１〜Ｏ７と投入口Ｉ１〜Ｉ７を連絡する複数の連絡通路３を更に備え、複数の連絡通路３は、球体が、複数の研磨溝の全てを順に通過するようにそれぞれ配されていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、半仕上げ部品（１０）を精密鍛造によって生産し、この部品（１０）を研磨ストリップによって研磨することを含む、鍛造によって部品（１０）を製造するための方法であって、得られる部品（１０）の適合させるべき形状的特性が、理論モデルにおいて予め決定される、方法に関する。方法は、以下のステップを含むことを特徴とする：鍛造作業後に半仕上げ部品（１０）の形状的特性を測定し、前記特性を理論モデルと比較するステップ、部品（１０）の表面上で非適合領域を決定するステップ、前記領域を適合させるために各々の非適合領域から除去されるべき材料の量を決定するステップ、および研磨ストリップを用い、各々の非適合領域から材料の前記量を除去するように前記ストリップを制御して部品（１０）を研磨するステップ。方法は、特にタービンエンジンのファンブレードを研磨するために使用され得る。

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【課題】研磨テープの圧力を被研磨面に好適に分散できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】研磨装置１は、スリット３３が形成された研磨テープ３の、スリット３３を含む所定の範囲ＡＲ（２つの案内ローラ１３間の範囲）に、ウェハＷの主面Ｗａに交差する方向において張力を付与する。そして、研磨装置１は、範囲ＡＲに張力を付与した状態で、研磨テープ３とウェハＷの端面Ｗｂとを摺動させて端面Ｗｂを研磨する。 （もっと読む）

【課題】光学素材の外径の大きさに影響されることなく、高精度に加工する。
【解決手段】光学素材１を保持するワーク軸２に対してツール軸１３を傾斜させて配置し、ツール軸１３の回転中心軸Ａの回りに複数の砥石軸１２を介して複数の円筒形砥石１１を同一円周上に等間隔に配列し、個々の砥石軸１２の回転による円筒形砥石１１の自転と、ツール軸１３の回転による複数の円筒形砥石１１の公転とを組合せ、個々の円筒形砥石１１の外陵線部１１ａの包絡線である砥石外側軌跡２３によって光学素材１に凹形状１ａを形成する。光学素材１の外径が大きくても、小径の複数の円筒形砥石１１を、振動等を生じることなく高速回転させて高精度に研削加工できる。 （もっと読む）

【課題】フェルールを保持する研磨治具の研磨作業後の清掃を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】フェルール３１の先端面３１ａを研磨するときにフェルール３１を保持する保持部材１１を研磨治具１０に備える。フェルール３１が挿入される貫通穴１２１を有する保持部材本体１２と、保持部材本体１２の上面に設けられ、貫通穴１２１にフェルール３１が挿入されたときフェルール３１のフランジ部３３を支持する突起部１６，１７とで保持部材１１を構成した。 （もっと読む）

【課題】 複列の軌道溝を有する旋回軸受において、生産性を損なわずコスト的に可能な範囲内で、軸受寿命の長期化が図れる軌道溝間距離の相互差を提示する。
【解決手段】 旋回軸受は、内輪１および外輪２の複列の軌道溝１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ間に複数のボール３が介在する。内輪１における複列の軌道溝１ａ，１ｂ間の距離ｅ_ｉまたは外輪２における複列の軌道溝２ａ，２ｂ間の距離ｅ_ｏがボール３の直径Ｄｗの１ないし１．７倍であり、かつボールの直径Ｄｗが３０ｍｍから８０ｍｍであって、前記軌道溝間距離ｅ_ｏと軌道溝間距離ｅ_ｏとの差Δｅを５μｍないし５０μｍとする。複列の軌道溝１ａ，１ｂ，（２ａ，２ｂ）を、アランダム系の砥石を用いて同時に加工する。 （もっと読む）

【課題】ワークの従属回転性を向上させるとともに、ワークの振動現象をなくして、研磨精度を向上させる。
【解決手段】ワーク保持装置Ｈの側にベアリング１４を介して保持される保持軸６と、レンズ１が熱可塑性接着剤２を介して固定される貼付台座３とを、接続軸５を介して遊動状態に接続するとともに、貼付台座３と保持軸６の間に摩擦係数の小さな滑り部材４を配置した構成の貼付皿Ｓ１を用い、ベアリング１４の起動トルクの変動や振動等に影響されることなく、滑り部材４と保持軸６の相対的な滑り変位により、レンズ１の工具９に対する円滑な従属回転を実現し、レンズ１を高精度に研磨する。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】インデックス型ロータリーテーブル２にサーボモータ３ｍによりセンター軸を回転させる主軸台３ｒの４台と心押台３ｆの４台よりなるクランプ機構３を同一円周上に等間隔にかつ、縦方向に４基設け、この４基のクランプ機構の位置でインデックス型ロータリーテーブル２上のワークピースｗ位置を、ローディング／粗研削砥石を用いるコーナー部粗研削加工／アンローディングステージ（ｓ_１）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面研削加工ステージ（ｓ_２）と、仕上げ研削砥石を用いるコーナー部仕上げ研削加工ステージ（ｓ_３）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面仕上げ研削加工ステージ（ｓ_４）の四つの研削加工ステージに区分けしたインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】インデックス型ロータリーテーブル２にサーボモータ３ｍによりセンター軸を回転させる主軸台３ｒの４台と心押台３ｆの４台よりなるクランプ機構３を同一円周上に等間隔にかつ、縦方向に４基設け、この４基のクランプ機構の位置でインデックス型ロータリーテーブル２上のワークピースｗ位置を、ローディング／仕上げ研削砥石を用いるコーナー部仕上げ研削加工／アンローディングステージ（ｓ_１）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面研削加工ステージ（ｓ_２）と、粗研削砥石を用いるコーナー部粗研削加工ステージ（ｓ_３）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面仕上げ研削加工ステージ（ｓ_４）の四つの研削加工ステージに区分けしたインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】加工形状の配置制限を緩和でき、かつ加工形状の形状精度および位置精度を向上させることができる加工装置を提供する。
【解決手段】直進駆動軸（Ｘ軸ステージ１２とＹ軸ステージ１３）により、被加工物１６上の加工形状の形成予定領域の中心を、回転駆動軸１１による加工工具（バイト２０）の回転に合わせて円弧状に移動させつつ、直線駆動軸（Ｚ軸ステージ１４）により加工工具を加工形状に沿うように移動させる。 （もっと読む）

【課題】光学素子や半導体などの研磨に用いられる研磨ポリシャにおいて、高精度研磨を安価に実施する。
【解決手段】凸部８を有するスタンパ５をフォトリソグラフィで作製するスタンパ作製工程（図（ａ））と、スタンパ５を用いて凸部８を転写することにより、未硬化状態の樹脂９に研磨材保持凹部に対応する対応凹部７を形成する凹凸転写工程（図（ｂ）〜（ｃ））と、樹脂９を硬化させて研磨ポリシャ１を製造するポリシャ製造工程（図（ｄ））とを含む。フォトリソグラフィによってスタンパ５の凸部８を微細加工することにより、研磨ポリシャ１の研磨面にナノスケールの微小な研磨材保持凹部を設けることができる。そのため、ナノスケールの研磨材による高精度研磨を安価に実施することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】改善されたイメージ品質を有するエピタキシャル被覆されたシリコンウェハ並びにエピタキシャル被覆されたシリコンウェハの適切な製造方法の提供
【解決手段】丸められたエッジを備えたシリコンウェハのグループを準備する工程、前記シリコンウェハのエッジをポリシングする工程、前記シリコンウェハを洗浄する工程、欠陥及びエッジラフネスに関してシリコンウェハのグループのエッジ領域を調査し、前記シリコンウェハのグループから、１０〜８０μｍの空間波長領域に関して１ｎｍ ＲＭＳよりも低い表面粗さを有するシリコンウェハを選択する工程、選択されたシリコンウェハを枚葉型エピタキシー反応器中で前処理し、その際、第１の工程で水素雰囲気中で１〜１００ｓｌｍの流量で処理を行い、更に第２の工程でエッチング媒体を０．５〜５ｓｌｍの流量で前記水素雰囲気に添加し、ガス分配装置を用いて反応室中で分配する工程、前記シリコンウェハをエピタキシャル被覆する工程を有するエピタキシャル被覆されたシリコンウェハの製造方法 （もっと読む）

【課題】例えば半球面に近い深い凹球面を、高平滑かつ高精度な凹球面に高能率に加工することができる凹球面研削加工装置と方法を提供する。
【解決手段】表面が導電性砥石１３からなり所定の直径と真円度を有する球形工具１２と、球形工具の中心より下方部分を遊動可能に保持する工具保持具１４と、球形工具の中心より上方部分と接触する半球状の上凹穴を有するワークを保持するワーク保持具１８と、ワーク保持具又は工具保持具を移動し球形工具とワークの相対位置を調整する相対位置調整装置２０と、球形工具の表面を電解ドレッシングするＥＬＩＤ装置２２と、球形工具をその表面に沿ってランダムに駆動するランダム駆動装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で効率よくブラシの摺動面を加工することができる発電機ブラシ用研削装置を提供する。
【解決手段】ブラシ固定部１１が、基準ブラシの基準面と交換用ブラシの摺動面とが同じ方向に向いて横に並ぶよう固定可能である。接触部３３が、ブラシ固定部１１に固定された基準ブラシの基準面に接した状態で、基準面に沿って移動するよう、基準ブラシに対して相対的に移動可能に設けられたローラ３３ａを有している。研削部３４が、ローラ３３ａと同一軸で回転する研削材３４ａを有している。研削材３４ａは、ブラシ固定部１１に固定された交換用ブラシの摺動面に接した状態で、交換用ブラシの摺動面を基準ブラシの基準面の形状に合わせて研削するよう、ローラ３３ａとともに交換用ブラシに対して相対的に移動可能になっている。 （もっと読む）

【課題】 研磨ヘッドの位置及び姿勢が同時に変化しても、研磨荷重を常に目標値に保つことができる研磨装置を実現する。
【解決手段】 研磨ヘッド１に取り付けられた加速度検出部１０は、研磨工具９が被研磨面１７を押し付ける方向（Ｚ方向）の加速度を検出する。検出される加速度は、重力加速度と研磨ヘッド１の移動に伴う加速度のＺ方向成分の和である。加速度検出部１０の検出値に基づいて、研磨ヘッド１の位置及び姿勢の変化による研磨荷重への影響を算出し、研磨工具９を押し付ける荷重を制御することで、研磨荷重を目標値に保つ。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上させた上で、ガラス基板の研磨後の端面と表面および／または裏面との境界部に適正な面取り部を確実に形成すると共に、ガラス基板の端面の面性状と、当該端面の表面側および／または裏面側の境界部の面性状との関係を適切化して、ガラス基板の欠損や破損を効果的に抑止し、且つ、ガラスパーティクル等の問題をも回避する。
【解決手段】ガラス基板１の研磨処理後の端面３と表面２ａおよび裏面２ｂとのそれぞれの境界部ｚの少なくとも一方に、上記の研磨処理とは異なる特定研磨処理を施すことにより面取り部４を形成すると共に、面取り部４の特定研磨面の十点平均粗さＲｚ₂が、端面３の研磨面の十点平均粗さＲｚ₁よりも小さく、且つ、面取り部４の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍ₂が、端面３の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍ₁よりも大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】 補助レンズの周縁加工及び各パーツの取り付け穴に関する加工条件の設定を熟練者でなくても容易に行え、適切に加工可能にする。
【解決手段】 眼鏡レンズの加工終了後に補助レンズを加工する段階に移行する補助レンズ加工モードを選択するモード選択手段と、玉型データ及び玉型間距離データを入力するデータ入力手段と、眼鏡レンズ側の穴データを設定する手段と、補助レンズ加工モードが選択されているときに、眼鏡レンズの玉型データに基づいて補助レンズ側の玉型データを設定し、眼鏡レンズの穴データに基づいて補助レンズ側の穴データを設定する加工条件設定手段と、玉型データに基づいて補助レンズの周縁を加工し、穴データに基づいて補助レンズに穴を加工する加工手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ高精度で研磨皿その他の加工皿を作製することができ、高い再現性で加工皿を迅速に作製等することができる加工皿の作製装置及び修正方法を提供すること。
【解決手段】カーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置３０が、第１ホルダ３７と第２ホルダ３８とを相対的に３次元的に変位させることによって、加工皿１０の形状を砥石部材２０によって修正するので、砥石部材２０を利用して簡易かつ高精度で加工皿１０を作製することができ、加工皿１０の作製が迅速で再現性の高いものとなる。 （もっと読む）