【課題】回転定盤に対する研磨パッドの繰り返しの着脱を容易に且つ位置決め精度良く実現することが出来、且つ、各種仕様の研磨装置の回転定盤に対しても大幅な改造を必要とすることなく適用出来る、新規構造の研磨パッド用補助板の提供。
【解決手段】研磨装置１２の回転定盤１４に装着される研磨パッド用補助板１０を下側補助板２０と上側補助板２２で構成し、位置決め手段を上下補助板２２，２０間に設けた。これにより、補助板と回転定盤との間に位置決め手段を設けた従来構造のものに比して、研磨パッド１６の回転定盤１４への中心軸の位置決めを容易に且つ精度良く為し得ると共に、各種仕様の研磨装置の回転定盤１４にも広く適用可能な研磨パッド用補助板１０を実現せしめ得た。 （もっと読む）

【課題】容易にマウントフランジの端面修正を行うことのできるフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】フェイシングデュアルダイサーにおけるフランジの端面修正方法であって、第２スピンドル側６２から延出して第１フランジ６４の端面に対面するように研削部材９８を配設するステップと、研削部材９８が第１フランジ５６の端面に接近する方向へ第２切削手段８と第１切削手段６とを相対移動させて第１フランジ５６の端面６６を修正するステップと、第２ハウジング６０側から研削部材９８を取り外すとともに、第１ハウジング５４側から延出して第２フランジ７２の端面７４に対面するように研削部材９８を配設するステップと、第２スピンドル６２を回転させつつ、研削部材９８が第２フランジ７２の端面７４に接近する方向へ切削手段６，８とを相対移動させて第２フランジ７２の端面７４を修正するステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】回転軸に対する着脱を容易にした円盤状工具、円盤状工具を備えた電動工具を提供する。
【解決手段】回転軸６３への螺合用のネジ孔３０を中心に備えた円盤状工具であって、ネジ孔を中心とする円周上に、複数の貫通孔４０を円周方向に所定間隔をおいて形成すると共に、少なくとも一部の貫通孔の間隔Ｃを、回転軸への着脱操作用の工具７０に設けた一対の係合部７２、７２が係合可能な間隔とした。さらに貫通孔４０を、使用時に発生する粉塵を集塵する集塵孔と兼用した。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造コストを削減できる研磨パッド及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド４０は、第１のパッド部４０ａと、その周囲に配置される第２のパッド部４０ｂとを有し、第１のパッド部４０ａ及び第２のパッド部４０ｂはそれぞれ個別に交換することができる。ＣＭＰ装置に研磨パッド４０（第１のパッド部４０ａ及び第２のパッド部４０ｂ）を取り付けて半導体ウェハの研磨を実施し、総研磨時間が所定の時間に到達したら、第２のパッド部４０ｂを交換用の第２のパッド部４０ｃに交換する。 （もっと読む）

【課題】ランダムオービタル器具によるロボット式表面前処理を提供すること。
【解決手段】装置が、任意の軌道運動でバッキングパッドを移動させる表面前処理器具と、器具に連結された第１のボールジョイントと、第１のボールジョイントに連結された第２のボールジョイントと、器具を表面に押し付けるために、第２のボールジョイントに連結されたロボットエンドエフェクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】回転スピンドルがY軸方向に対して平行に、Z軸方向と直交する方向に、配設されているかを確認するための回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、切削ブレードを備えた切削手段と、切削送り手段と、割り出し送り手段と、切り込み送り手段とを具備し、切削手段はスピンドルハウジング６１に回転自在に支持された回転スピンドル６２と、切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、ブレードマウントを雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された回転スピンドル６２の取り付け状態確認治具であって、回転スピンドル６２に設けられた雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材１１０と、回動部材１１０に装着されたマイクロメーター１２０とからなり、マイクロメーター１２０の検出端子１２１が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている。 （もっと読む）

【目的】 研磨ベルトをロール交換する際の作業性を向上することができる研磨ベルト移動制御システムを提供する。
【解決手段】 研磨ベルト２０をロール交換するときには、研磨ベルト２０の巻き取りを開始してから使用済の研磨ベルト２０と未使用の研磨ベルト２０とを結合するベルト結合部材９１が巻取装置６０の位置に移動するまで、自動的に研磨ベルト２０の巻き取りを行わせ、ベルト結合部材９１が巻取装置６０の位置に移動した時点で研磨ベルト２０の巻き取りを停止する。これにより、従業員は、研磨ベルト２０の巻き取りが開始されてから結合部分（ベルト結合部材９１）が巻取装置６０の位置に移動するまでの間、その場に居合わせる必要がなくなり、結果として、研磨ベルト２０をロール交換する際の作業性を向上することができる。 （もっと読む）

【目的】 研磨揚送装置の研磨ベルト移動制御システムにおいて、研磨ベルトを最後まで有効に使用することができる研磨ベルト移動制御システムを提供する。
【解決手段】 研磨ベルトの残量が巻取装置による１回の巻取り動作で巻き取り可能な研磨ベルトの巻取り量よりも少ないと、未使用部分となる研磨ベルトの残量と汚れたパチンコ玉の総数とに基づいて、使用済の研磨ベルトの交換を促す報知を行うか否かを判定する（ステップＳ２２）。これにより、未使用部分が大部分残っているにも拘わらず交換報知に従って研磨ベルトを交換せざるを得ないような遊技場側の状況をなくすことができ、ロール状の研磨ベルトを最後まで有効に使用することができる。 （もっと読む）

【目的】 研磨揚送装置の研磨ベルト移動制御システムにおいて、研磨ベルトを最後まで有効に使用することができる研磨ベルト移動制御システムを提供する。
【解決手段】 １ロール終了状態検知手段により研磨ベルトの１ロール終了状態が検知されると、使用済の研磨ベルトの巻取り量（ステップＳ３６）と汚れたパチンコ玉の総数（ステップＳ３８）とに基づいて、使用済の研磨ベルトの交換を促す報知を行うか否かを判定する（ステップＳ３９）。これにより、未使用部分が大部分残っているにも拘わらず交換報知に従って研磨ベルトを交換せざるを得ないような遊技場側の状況をなくすことができ、ロール状の研磨ベルトを最後まで有効に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】研磨布に対する接着性、及び、耐薬品性に優れ、研磨中に剥離を生ずることなく、糊残りをほとんど生じさせずに研磨定盤から剥離することのできる研磨布固定用両面接着テープを提供する。また、該研磨布固定用両面接着テープを用いて製造される研磨布固定用パッドを提供する。
【解決手段】フェノキシ樹脂を含有する熱反応型接着剤層を基材の一方の面に有し、感圧粘着剤層を前記基材の他方の面に有する研磨布固定用両面接着テープであって、前記フェノキシ樹脂は、重量平均分子量が１万以上である研磨布固定用両面接着テープ。 （もっと読む）

【課題】 回転定盤に対する研磨パッドの固着力を充分に確保しつつ、回転定盤に対する研磨パッドの着脱を容易に行うことを可能と為し、特に回転定盤から研磨パッドを取り外すに際しての研磨パッドの損傷を防止することが出来て、研磨パッドの再利用の実現に有利とされ得る、研磨パッド用補助板を用いて研磨パッドの再生利用を実現する新規な研磨パッドの再生方法を提供すること。
【解決手段】研磨パッド用補助板１０を用い、前記研磨パッド２４が使用によって磨耗した場合に、該研磨パッド用補助板１０に装着したままの状態で該研磨パッド２４の表面に再生加工を施す。 （もっと読む）

【課題】表面加工作業工具ユニットにおいて、表面加工作業工具を対象物に押し付けるストロークに関わらず対象物に与える力を一定とし、表面加工作業工具を容易に交換可能とすることである。
【解決手段】表面加工作業工具ユニット１０は、ダンパ装置３０を内蔵する案内軸２０と、工具取付軸６０とを含んで構成される。ここで、工具取付軸６０は、軸方向に沿った先端部に表面加工作業工具７０が配置されるもので、案内軸２０に保持され、案内ピン５０を操作することで案内軸２０から容易に取り外して他のものと交換できる。ダンパ装置３０は、軸方向に移動可能な出力軸を有し、出力軸の軸方向のストロークに応じて出力軸から出力される軸方向抗力が予め定めた有効ストロークの範囲内でストロークの大きさに関わらず予め定めた一定範囲内の大きさとなる特性を有する。 （もっと読む）

【課題】一般的に製品加工の場合、その大小を問わず真っ先にフェイスミル工具により、正確な六面体を作成することから始まるが、この使用頻度が高いフェイスミル工具は加工効率を上げる為に、工具外周に大きさによって３〜１０個のチップ刃をつけているが、この刃先が機械、工具、チップ刃等の諸原因により新品工具を含めバラツキがあり切削効率を著しく悪くしている。
【解決手段】刃物を機械から取り外さず、装着のまま研磨機を機械のベット上にあるバイスで固定し、手動で機械（工具）を回転させながら同じ位置で刃物を研磨することにより各刃の振れ、刃のバラつきが解消され加工効率を大幅に高めた（現在工作機械に工具を装着したまま研磨する研磨機はなし）。 （もっと読む）

【課題】固定された状態の刃物の刃部に対して研磨具を往復移動させる研磨作業を行う際に、研磨具の往復移動の操作を安心して素早く行うことができ、これにより刃物の研磨を刃部の損傷を招くおそれが少なく安全かつ迅速に行うことができる刃物研磨機を提供する。
【解決手段】支持材３２の一端部側の片面に平板状の研磨材３４が着脱自在に取り付けられた研磨具と、刃部９１と把持部を備えた刃物の刃部９１を所要の傾斜角度θに保った状態で載せて固定する固定台部と、研磨具の研磨材３４を固定台部に固定した刃物の刃部９１の研磨対象部分９１ａに載せた状態で刃部９１の研磨対象部分９１ａの長手方向と交差する方向Ａ１，Ａ２に往復移動させる際に、研磨具の支持材の他端部３３ｂを前記往復移動が可能な状態で支持する支持部と、研磨具の往復移動するときの移動範囲Ｓ０を研磨具の移動を停止させて規制する制止部とを有する。 （もっと読む）

１条又は多条のねじ切りされたホブ４６をリリーフ研削するための多軸のコンピュータ制御工作機械。この機械は、角度を付けて位置決めする（旋回する）ことができ、それによって、２種類の研削法に対応するために研削スピンドル組立体を交換すること又は機械構成を修正することが必要なく、或いは、スピンドルを再方向付けするために追加の機械軸を使用することが必要なく、ホブ及びミリング・カッタのリリーブド歯の幾何形状を研削するためにカップ形状の研削砥石５５及び鉛筆形状の研削砥石５２の両方を使用するという融通性をもたらす、角度を有する向きのスピンドル６５を有する。
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【課題】ディスクグラインダには、鋼材研削用の円盤形砥石、コンクリート研削用のカップ形ダイヤモンドホイール等作業内容に合わせて様々な研削工具を取り付けることができる。作業時に発生する高熱の鉄粉等に対する耐熱性を確保するため集塵カバーは通常鋼材で製作されている。このため、従来集塵カバーの軽量化を図ることが困難であったので、本発明では集塵カバーの軽量化を図ることを目的とする。
【解決手段】集塵カバー１０を樹脂製としてその軽量化を図る。これに伴って、鋼材研削用の円盤形砥石については取り付け規制部２０が干渉して取り付け不能とし、高熱の鉄粉等が発生しない作業用のカップ形ダイヤモンドホイールＴ１のみを取り付け可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】コンディショニングにより薄くなった研磨パッドを、適切なタイミングで新たな研磨パッドと交換することが可能となるＣＭＰ装置を提供する。
【解決手段】回転可能な研磨テーブル１０と、研磨テーブル１０上に配置された研磨パッド２０と、研磨パッド２０の研磨面上にスラリーを供給するスラリー供給部３０と、研磨パッド２０の研磨面に基板５０の被研磨面を押し当てる研磨ヘッド４０と、研磨パッド２０の研磨面をコンディショニングするコンディショナー６０と、廃液を排出するための廃液ライン７０と、前記廃液に含まれる粒子を測定する粒子測定部８０と、粒子測定部８０の測定結果を利用して、研磨パッド２０の交換タイミングを通知する通知部９０と、を有するＣＭＰ装置。 （もっと読む）

【課題】ディスクグラインダの締付ナットは各メーカーごとに寸法が異なるのでそれぞれのメーカー専用の蟹目スパナを使用する必要があり、また研削作業で大きなトルクがかかった場合は締付ナットがきつく締まった状態になり取り外しには大きな力を必要とするが、ボディと蟹目スパナの角度は９０度ごとにしか設定できないので、力が入りにくい角度しか選択の余地がない場合は取り外し作業が大変困難である。
【解決手段】蟹目スパナ差込穴の直径を５．４ｍｍ乃至５．８ｍｍに設定し、差込穴のピッチを１９．２ｍｍ乃至１９．４ｍｍに設定し、差込穴の配置を中心と同一円上に４５度等間隔に４対８個とする。 （もっと読む）

【課題】 平板で成型したステンレス鋼天板で形成された流し台・調理台・コンロ台を、一般住宅及び賃貸住宅の厨房にキッチンセットとして配置したとき、経年使用の結果、ステンレス鋼天板に傷類や錆類の損傷が生じ、この損傷を原因として腐食化、特に、孔食に至ることがあるので、これらの損傷を完全に除去することを目的とする。
【解決手段】 半硬質の角型の研磨パッドを具備し、かつ、この裏面に、柔軟な素材から成る平面型の二次パッドを固着した振動サンダーに、先ず、粗粒度の研磨紙を装着し、ステンレス鋼天板に生じた損傷の深度に応じて、全面的にかつ均一的に、ステンレス鋼天板の全表層を研削・剥離して粗面化し、次に、中粒度から細粒度に至る研磨紙を装着し、粗研磨痕の損傷を解消し、最後に、極細粒度の研磨紙を装着し、均一で平滑な鏡面化皮膜を形成させ、耐食性と清潔性を有することを特徴とするステンレス鋼天板で形成された流し台・調理台・コンロ台とする、という構成からなる。 （もっと読む）

【課題】車のボディー等のような曲面を呈する被研磨面でも均一に研磨することができる、内部に研磨粉あるいは塵埃や粉塵等を集塵する集塵質を備えた手動研磨装置を提供する。
【解決手段】スポンジ状のラバーゴム等の柔軟性を有する素材から製せられ、内部に空洞状の集塵室４を設け、根元側の端面には掃除機等の集塵機と接続されるパイプ６を有してその上下方向において湾曲可能に形成される略台形状の本体部１と、本体部１の底面に保形性を有する合成樹脂製のシール材３を介して取替え可能に張着され、本体部１と一体的に湾曲される研磨シート２とよりなり、本体部１と研磨シート２の対応位置に研磨によって生じる研磨粉を吸入して集塵室４に集塵する複数の研磨粉吸入口を穿設し、かつ、本体部１の先端側の端面および両側面には長手方向に沿って複数の吸入調節口７を形成してなる。 （もっと読む）