【課題】超音波振動子にて発生する超音波振動のエネルギーの損失の発生が十分に抑制された回転切削装置を提供すること。
【解決手段】回転軸３１；回転軸３１の周囲に同軸に配設された環状の切削ブレード３２と、切削ブレード３２の一方の表面に同軸に固定された、環状の超音波振動子３３を表面に備えた環状の支持板３４とを含む切削具３５；および切削具３５を超音波振動子３３の外周縁よりも外周側の環状領域にて支持板を介して挟持している一対のフランジ３６ａ、３６ｂを含み、前記のフランジによる切削具の挟持が環状多孔質部材３７ａ、３７ｂを介してなされていることを特徴とする回転切削装置。 （もっと読む）

【課題】
研磨中にウエーハ表面が酸化されて電気伝導率及び機械的強度が変化し、それが研磨レートの変化につながることを防止する、電解研磨を付加した化学的機械研磨方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
スラリを供給しながら、表面に導電性膜が形成されたウェーハ表面を陽極とし、研磨定盤上面に取り付けられた研磨パッドを陰極として研磨ヘッドで保持した前記ウェーハを前記研磨パッドに押付け、前記ウェーハと前記研磨パッドとの間に電圧を印加して、電解作用により前記ウェーハ表面の導電性材料を電解溶出して除去しながら前記ウェーハを研磨して表面を平坦化する化学的機械研磨装置において、前記ウエーハ表面に形成された金属膜の酸化を防止するためのガスを噴射する複数のノズルを備えており、前記複数のノズルは、前記ガスを前記ウェーハの外周から中心に向けて噴射するように、前記ウェーハ周囲に等間隔で配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルの振動を抑制することができる切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルとチャックテーブルを支持する支持基台とを有するチャックテーブル機構と、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段とを具備する切削装置であって、チャックテーブルには振動減衰手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】研磨対象物の表面に気体を噴射ノズルから噴射させて表面研磨を行う際に、研磨速度を一定に保ち研磨の安定性を保つことが可能な研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨時間中の研磨液１３の温度を一定に保つための温度調節手段として、温度調節手段は、研磨液槽１１の壁面に気体２４を吹き付ける気体吹付手段２２を設置する。気体吹付手段２２により吹き付ける気体２４の温度を制御することにより、研磨液１３の温度を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】容易にスペーサを分離することができ、表面に傷を付けることなく次の工程に移ることができる生産性の優れた情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】積層体４を水槽７１に浸漬し、該積層体４の最上部のガラス基板１を分離手段７５で積層体４から分離し、分離したガラス基板１の表面に密着しているスペーサ３にあたる水流が変化するように流水をあてることにより、分離したガラス基板１の表面からスペーサ３を除去する。 （もっと読む）

【課題】洗浄工数を増加させることなく、弾性シートのポア内に付着している異物を確実に洗浄除去する。
【解決手段】研磨ヘッド６の下面部に設けたリテーナリング５及び弾性シート４を洗浄する洗浄装置であって、弾性シート４をエアーブロー等で湾曲させて保持し、該弾性シート４の保護シート部４Ｂ等に洗浄液又はエアを供給する洗浄ノズル１７と、ヘッド洗浄部６内の密閉空間部の圧力を低下させる吸水ポンプ２２等の減圧機構とを備える。前記弾性シート４を湾曲させた状態でヘッド洗浄部６内を減圧させて洗浄する。この場合、保護シート部４Ｂのポア２７の開口部を拡大させることにより、ポア２７内の異物２９を排除しやすい状態で洗浄するので、該異物２９を確実に洗浄除去できる。 （もっと読む）

【課題】洗浄工数を増加させることなく、弾性シートのポア内に付着している異物を確実に洗浄除去する。
【解決手段】研磨ヘッド６の下面部に設けたリテーナリング５及び弾性シート４を洗浄する洗浄装置１は、洗浄時に弾性シート４はエアーブロー等で下方に湾曲させて保持し、ヘッド洗浄部６内の空気を排出しながら減圧させる排水ポンプ２２等の減圧機構を備える。弾性シート４は湾曲状態、即ち、保護シート部４Ｂのポア２７の開口部を拡大させた状態でヘッド洗浄部６内を減圧させて洗浄する。更に、研磨ヘッド３下面部をヘッド洗浄部６内の洗浄液に水没させて、超音波振動子１９の駆動によりポア２７内に固着残存しているパーティクル２９を超音波洗浄する。 （もっと読む）

【課題】容易にスペーサを分離することができ、表面に傷を付けることなく次の工程に移ることができる生産性の優れた情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】積層体４となったガラス基板１の端面を研磨した後、積層体を水槽７１に浸漬し、ガラス基板の表面を吸着パッド７５で吸着して積層体から分離すると同時に、ガラス基板と積層体との間に水圧を加えることにより、ガラス基板と積層体との間にあるスペーサ３を除去する。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成によることなく、本体部下面の傾斜角、すなわちロウバーの短手方向の傾斜角を、微小な角度範囲で調整することが可能な治具を提供し、それにより、磁気ヘッドに形成されるロウバーにおけるライト素子の磁極高さの精密な制御を実現し、ライトコア幅の安定化を可能にする治具を提供する。
【解決手段】治具１は、被研磨物１４を研磨する研磨装置に取り付けられ、該被研磨物１４を本体部２の下面２ｅで保持して、被研磨物１４の被研磨面１４ａを研磨装置の研磨定盤に押圧する治具１であって、本体部２の一側面に、側面を加熱するヒータ５０を備える。 （もっと読む）

【課題】 サンダーにおいて、片手による操作、および両手による操作を合理的に行う上で有効な把持部の構築技術を提供する。
【解決手段】 モータと、本体部１０３と、研磨部１０５と、把持部１０７と、を有するサンダーにおいて、把持部１０７は、本体部１０３の長軸上に設けられた第１の把持領域１０７Ａと、第１の把持領域１０７Ａに連接されて本体部１０３の長軸方向と交差する方向でかつ互いに反対方向へと延在する第２および第３の把持領域１０７Ｂ，１０７Ｃとを有する。各把持領域１０７Ａ，１０７Ｂ，１０７Ｃを連接する方向に見て第２および第３の把持領域１０７Ｂ，１７Ｃの横幅が第１の把持領域１０７Ａの横幅よりも短く設定されており、第１の把持領域１０７Ａが、作業者の片手による把持を許容し、第２および第３の把持領域１０７Ｂ，１０７Ｃが、作業者の両手による把持を許容するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】熱間圧延を施しさらに焼鈍を施したステンレス鋼帯の上面を研削する際に、下面に疵が発生するのを軽減できる研削方法を提供する。
【解決手段】表面粗度Raが0.1μｍ未満であるビリーロール２をステンレス鋼帯１の下面に当接し、ベルト駆動ロール３によって駆動される研削ベルト４を前記ステンレス鋼帯の上面に当接して上面の研削を行なう。 （もっと読む）

【課題】シリンダブロックのシリンダボアに対する仕上げ加工に際し、ダミーヘッド等の加工用治具を用いることで生じる加工工程の複雑化や高コスト化を招くことなく、仕上げ加工後にシリンダボアに対して組付け変形と逆方向の変形を付与することができ、シリンダヘッドの組付け時におけるシリンダボアの真円度の悪化を抑制することができるシリンダブロックの加工方法等を提供すること。
【解決手段】ウォータジャケット６の内側面を形成するシリンダ部外周面１５のうち、シリンダヘッドを締結するためのボルト位相の部分を押圧することにより、シリンダ部５における、前記押圧した部分のシリンダボア４側からの圧力（ホーニング加工による砥石４３からの面圧）に対する剛性を、他の部分に対して高めた状態で、シリンダボア４に対する仕上げ加工を行う。 （もっと読む）

【課題】研磨面にサブサーフェスダメージを残すことなく、極めて平滑に研磨し、被研磨面をチッピングフリーにすることができると共に、曲面形状に対しても高精度の研磨が可能な研磨方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨対象（ダイヤモンドバイト２０）を角度，煽り調整可能なバイト保持機構により保持する。このダイヤモンドバイト２０の逃げ面２０ａおよび掬い面２０ｂを、研磨面が撓み可能な板状の研磨定盤１０により研磨する。研磨定盤１０は厚み１ｍｍ以下、直径２０ｍｍ〜４０ｍｍの円形状の石英板により構成される。被研磨面（逃げ面２０ａおよび掬い面２０ｂ）には、紫外光源ランプ１１より紫外光Ｌが照射される。研磨定盤１０の回転速度、位置，旋回角度はスピンドル自動旋回機構により調整する。 （もっと読む）

【課題】研磨装置の運転開始からの経過時間や停止の有無にかかわらず、安定した形状のウエーハを製造可能な研磨装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、下定盤１２と、前記下定盤を駆動するためのモーター１８ａ及び減速機１９ａと、少なくとも前記下定盤の加工作用面より下の部分を覆うボックス１７とを具備し、前記下定盤にウエーハＷを圧接し、前記下定盤を回転させて前記ウエーハを研磨する研磨装置１１において、前記ボックス内が、隔壁３１ａ，３１ｂで複数の領域に分離されており、前記下定盤を駆動するモーター１８ａが、前記下定盤が含まれる前記領域とは異なる領域に配置されている研磨装置。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を図ることができ、また研磨対象物の処理及び搬送を効率的に行ってスループットを向上することができるポリッシング装置を提供する。
【解決手段】研磨面を有する研磨テーブル３００Ａ〜３００Ｄと該研磨テーブルの研磨面に研磨対象物を押圧するトップリング３０１Ａ〜３０１Ｄとを有する研磨ユニット３０Ａ〜３０Ｄを備えたポリッシング装置であて、研磨ユニット３０Ａ〜３０Ｄには、該研磨ユニットのトップリング３０１Ａ〜３０１Ｄを研磨面上の研磨位置と研磨対象物の受け渡し位置との間で移動させる移動機構を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡便で低コストに使用済スラリーから砥粒を分離し、使用済スラリーをリサイクルすること。
【解決手段】シリコンインゴットを切削するのに使用された使用済スラリーにアルカリ成分を添加し、シリコンインゴット切削屑を溶解させた後、この使用済スラリーから砥粒を分離する使用済スラリーのリサイクル方法である。使用済スラリーから砥粒を分離するには、砥粒が沈降した使用済スラリーをデカンテーションすることが好ましい。また、切削に使用する前の砥粒をアルカリ性水溶液で予め洗浄することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ロボット機械のための加工用エンドレスベルトの保管および送出のための装置における簡潔、効果的、かつ安価な解決策を提供すること。
【解決手段】垂直軸（１４）を中心として回転し、加工用ベルトを配置する手段をそれぞれが備える放射状のアーム（１２）を有する支持部（１６）と、それぞれのアームをロボットアーム（４０）へとベルトを取り付けることができるステーションへと順次にもたらすため、回転する支持部を段階的に回転させる手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】従前の研磨装置をそのまま、あるいは僅かな改造でスループットを短縮できる湿式研磨方法およびこの研磨方法を提供する。
【解決手段】
被加工物（Ｓ）を上下に対向配置された上定盤と下定盤との間に挟持して研磨液を供給しながら研磨する研磨部(10)と、前記研磨部(10)の前段および後段の少なくとも一方に配置され、上面に形成された凹陥部内に被加工物（Ｓ）を載置する載置トレイ(45)(75)を有する被加工物展開ステージ(41)(71)とを備えた湿式研磨装置を用い、
前記載置トレイ(45)(75)の凹陥部内にエッチャント（Ｗ）を貯留し、前記研磨部(10)で被加工物（Ｓ）を研磨する間に、前記被加工物展開ステージ(41)(71)において他の被加工物（Ｓ）をエッチャント（Ｗ）に浸した状態で待機させてエッチングする。 （もっと読む）

【課題】両面研磨装置における上下の定盤に加圧ローラを用いて研磨パッドを機械的に貼着することができる、構成が簡単で操作も容易な新たな技術手段を得る。
【解決手段】研磨装置に対して個別に着脱自在である複数の加圧ローラ２０Ｃのローラ本体２１を、上下の定盤１，２のパッド貼着面１ａ，２ａの幅より短く形成し、該パッド貼着面１ａ，２ａに対する研磨パッド５の貼着時に、このローラ本体２１を上下の定盤１，２間に介在させて上下の定盤１，２を互いに逆向きに回転させることにより、このローラ本体２１を従動回転させて定盤１，２の半径方向に移動させ、それによって上記研磨パッド５をパッド貼着面１ａ，２ａに圧着させる。 （もっと読む）

【課題】液体ホーニング加工の際に用いられる遮蔽部材が、噴射ガンから噴射されたスラリーの衝突によって摩耗し、穴があくのを防止する。
【解決手段】有底円筒状をなした筒状部の開口端側に拡径したつば部９が一体的に形成されている耐摩耗性材料からなるカップ型遮蔽材７の筒状部１０を、該筒状部の外径よりわずかに大きい内径を有する透孔８が形成されている耐摩耗性材料からなる遮蔽板６の前記透孔に嵌め込み、該カップ遮蔽材の開口端１２が噴射ガンの方向を指向し、かつスラリーの衝突により局部的に激しい摩耗が生じるおそれのある箇所にこのカップ型遮蔽材が位置する様に配置する。 （もっと読む）