【課題】単結晶材料の使用状態においても、所望の平滑精度を確保する。
【解決手段】結晶の構造相転移を有する単結晶材料を研磨する結晶材料の研磨方法であって、単結晶材料を用いて作製した素子の使用温度領域が単結晶材料の相転移温度より高く、素子を作製する温度領域が単結晶材料の相転移温度より低い場合に、使用温度領域において単結晶材料が発現する結晶構造と同一の結晶構造を発現した状態で、単結晶材料の表面の研磨を行う。単結晶材料を固定する治具と単結晶材料を研磨する研磨盤を固定する治具の少なくとも一方の温度を調整し、単結晶材料を使用温度領域に設定する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑えながら、停電等の発生時により確実かつ正常に切断用ワイヤの走行を停止させる。
【解決手段】ワイヤソーは、切断用ワイヤを駆動するための駆動モータ２５、これを制御するサーボアンプ４２等を含む。サーボアンプ４２は、電源４０から供給される交流電力を直流電力に変換するコンバータ部４４と、直流電力を平滑化するとともに蓄積する平滑部４６と、直流電力を交流電力に変換して駆動モータ２５に供給するインバータ部４８と、停電時等に平滑部４６に蓄積された電力を用いて駆動モータ２５を減速動作に移行すべくインバータ部４８を制御する制御部５０を含む。平滑部４６は、電気二重層キャパシタ４６ａ及び電解コンデンサ４６ｂからなり、停電時には、この電気二重層キャパシタ４６ａ等に蓄積された電力が駆動モータ２５に供給される。 （もっと読む）

【課題】
切粉の目詰まりによる研磨ベルトの研削効率低下を抑制し、従来に比べて研磨ベルトの寿命を飛躍的に伸ばすことが可能な被清掃物品の表面クリーニング機構を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、扁平ノズルが流体の噴射に応じて被清掃物品の表面に対して清掃幅方向に首振り移動をする。特に、被清掃物品が研磨ベルトであるときには、噴射する扁平ノズルの噴射軸を延長した線が研磨ベルトの表面に当たる位置に立てた法線に対しローラに係合した研磨ベルトをローラ側の平面からみて所定の角度にされて扁平ノズルが流体の噴射に応じて研磨ベルトの幅方向に首振り移動をする。そして、扁平ノズルの両側にはストッパが設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの周縁部における研磨量の過不足を防止し、より平坦度の高い研磨を行うことができ、また半導体ウエハの周縁部の研磨量を意図的に増減することができるポリッシング装置及び方法を提供する。
【解決手段】ポリッシング対象物を保持するトップリング１を回転させる際の軸中心となるトップリングシャフト８の周囲に別個に設けられ、ポリッシング対象物を研磨する際、トップリングシャフト８とは一緒に回転しないよう構成された部材２１を備え、トップリング１の周囲に上下動自在に配置されたガイドリング３に押圧力を与えるための流体圧を調節する第２のレギュレータＲ２からガイドリング押え２０を介してガイドリング３へ行われる押圧力の伝達が、トップリングシャフト８の周囲に別個に設けられた部材２１を介して行われる。 （もっと読む）

【課題】基板上のレジスト膜を現像した後に基板外周と端部に残存するレジスト残りを研磨する装置の提供である。
【解決手段】少なくとも、円柱部材の外周上に円柱の軸を中心とする複数のＵ字形状の凹溝7が平行に形成され、該凹溝7内壁は壁に沿うように砥石4により被覆されるとともに、該凹溝内空間は、円柱部材の中心軸上に形成された開口部を有する空洞9と砥石4と円柱部材に形成された微細な排出用孔8を介して連通する、砥石ヘッドと、基板を載置して該基板を上下水平方向に移動自在な基板ステージ10と、純水あるいはエアーを凹溝内部方向に吐出するノズル５と、を備え、基板ステージ10上に載置した基板1の外周部を砥石ヘッドの凹溝7に収容したままの状態で、砥石ヘッド20が軸回転できるようにしたことを特徴とする基板端面付着レジスト研磨装置。 （もっと読む）

【課題】
多種少量生産の万能ベルトサンダーを、検査工程を含めて作業者が行動しやすくするとともに、軽量で分解組立たてが簡単な工作機械とすることで、安価に供給することである。そして忘れがちな手工具については、使い勝手なベルトサンダー手押しパッドを供給することである。
【解決手段】
長辺を水平にした台形の、その長辺の両端にプーリを設けて、片方を駆動プーリ、他方をアイドルプーリとし、前記長辺の真上に略水平の台形短辺を配置し、その短辺の両端にはローラを設け、前記駆動プーリの対角に位置するローラを分銅テンショナローラ、他方をアイドルローラとし、前記プーリとローラの４個を台形４辺の沿って無端サンディングベルトで巻き掛け、駆動プーリによって長辺にある前記無端サンディングベルトを引き寄せる方向に周回動させることなど、あわせて５つの改良を提案した。 （もっと読む）

【課題】安全性を確保すると共に操作性の優れた電動工具の提供。
【解決手段】モータ４を内蔵するメインハウジング２１と、メインハウジング２１に回動可能に設けられた第一レバー３３及び第二レバー３４と、メインハウジング２１と第一レバー３３及び第二レバー３４との間に介在し、第一レバー３３及び第二レバー３４が回動不能な状態でＯＦＦ状態になりモータ４への通電を遮断し、第一レバー３３及び第二レバー３４が回動した状態でＯＮ状態になりモータ４への通電を許容するスイッチ３２と、を備え、第一レバー３３及び第二レバー３４には第一レバー３３及び第二レバー３４を回動不能にするオフロックボタン３５が設けられ、オフロックボタン３５は、前側若しくは後側に移動されることにより、第一レバー３３及び第二レバー３４の回動を許容する電動工具を提供する。 （もっと読む）

【課題】
ＳｉＣ、ＧａＮ又はＷＣ等の超硬合金を始めとする難加工材料の表面に、大気圧プラズマで生成した高密度ラジカルを照射して、ラッピングやポリシング等の機械研磨で容易に除去が可能になるように表面の機械的性質を改質し、スクラッチフリー、ダメージフリーの高品位表面を高能率に創成することが可能な難加工材料の精密加工方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
大気圧プラズマによって生成した反応性の高い酸化種を難加工材料の表面に作用させて改質し、難加工材料に表面改質層を形成する表面改質プロセスと、難加工材料に対してスクラッチや加工変質層を導入せず、且つ難加工材料よりも表面改質層に対する除去レートが高い研磨機構によって表面改質層を選択的に除去する研磨プロセスと、を含み、表面改質プロセスと研磨プロセスを交互に繰り返し、あるいは同時に進行させて加工する。 （もっと読む）

【課題】上定盤の一部が下定盤の外側にはみ出して上定盤がその自重により傾いてしまう構成でも、上定盤の研磨パッドを基板の全面に均一に当接させることが可能な基板研磨装置を提供すること。
【解決手段】載置される基板６００を吸着保持可能な基板保持面３ｃを有して回転可能な下定盤３と、下定盤３の基板保持面３ｃと並行な平面内で揺動可能であると共に下面に研磨パッド４を有して回転可能な上定盤２を備え、下定盤３上の基板６００に上定盤２の研磨パッド４を押し付けて該基板６００の上面を研磨する基板研磨装置１において、下定盤３の基板保持面３ｃの外縁部には基板６００の外縁部６００ｂを該基板６００の中央部６００ａよりも高くなるように支持する凸部６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】モータの出力軸の軸方向の寸法を抑え、操作性の優れた携帯研磨機を提供する。
【解決手段】携帯研磨機は、出力軸６の軸線１６方向視において出力軸６を中心に円周方向に配列した略環状の複数のコイルが設けられた円板状のコイルディスク１０を有する回転子と、コイルディスク１０を出力軸６の軸線１６方向に磁束が通過するように配置される磁石２１を有する固定子とから構成される扁平モータと、扁平モータの出力軸６の一方の端部に接続される研磨部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
樹脂切粉の目詰まりによる研磨ベルトの研削効率低下を抑制し、研磨ベルトの寿命（ライフタイム）を飛躍的に伸ばすことが可能な樹脂成型品のベルト研磨装置およびベルト研磨方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、８０リットル／分〜２５０リットル／分の範囲の圧縮空気を間欠的に研磨ベルトの表面に吹付け、圧縮空気が停止状態から噴射吹付け状態に切り替わることによりこのとき研磨ベルトに衝撃波が加わりかつ圧縮空気の噴射圧力にピークが生じる。このことで瞬間吹付け流量が増加して細い孔からのエアーにより研磨ベルトの小さいエリアが急冷却されて研磨後にヤスリ目に被着あるいは融着された切粉樹脂が剥れ易くなる。これにより、樹脂切粉がヤスリ目から剥れ落ちる。 （もっと読む）

【課題】装置のコンパクト化を図る。
【解決手段】手持ち式電動グラインダ１０は、モータ３１を内部に収納するケーシング１２と、モータ３１からの回転駆動力を受けて回転駆動する回転工具２１とを備え、モータ３１が有するモータ軸３２と回転工具２１が設置される駆動軸２７とが直交配置されるとともに、ケーシング１２におけるモータ収納部分の外周箇所が操作者から把持を受ける把持部として構成される装置である。このような手持ち式電動グラインダ１０において、把持部すべての外径が５４ｍｍ以下で構成されている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーで切断後のワークをウエハ間の隙間を維持した状態で洗浄工程に供し効率良くウエハの洗浄を行う。
【解決手段】切断後のワーク３４のウエハ４０間にワイヤ列を残した状態で、ワーク３４の側面に沿って保持液ノズル７０を進入させ、この保持液ノズル７０から保持液３６を噴射してワーク３４の側面に保持液３６を各ウエハ４０間の隙間に介在させるように付着させてウエハ４０間の隙間を保持液３６により維持し、取り外されたワーク３４をウエハ４０側面と接触するブラシ部材４５が設けられた下チャンバ７６内に収納することにより、ウエハ４０間の隙間にブラシ部材４５を接触させてブラシ部材４５を隙間に進入させ、この後、支持板３０と貼付け台２９とを剥離させ、続いて、洗浄液タンク５４が接続された上チャンバ８２を閉じて真空室を形成し減圧状態とした後、洗浄液８３を真空室内に注ぎ込むことによりウエハを洗浄する。 （もっと読む）

【課題】固定された状態の刃物の刃部に対して研磨具を往復移動させる研磨作業を行う際に、研磨具の往復移動の操作を安心して素早く行うことができ、これにより刃物の研磨を刃部の損傷を招くおそれが少なく安全かつ迅速に行うことができる刃物研磨機を提供する。
【解決手段】支持材３２の一端部側の片面に平板状の研磨材３４が着脱自在に取り付けられた研磨具と、刃部９１と把持部を備えた刃物の刃部９１を所要の傾斜角度θに保った状態で載せて固定する固定台部と、研磨具の研磨材３４を固定台部に固定した刃物の刃部９１の研磨対象部分９１ａに載せた状態で刃部９１の研磨対象部分９１ａの長手方向と交差する方向Ａ１，Ａ２に往復移動させる際に、研磨具の支持材の他端部３３ｂを前記往復移動が可能な状態で支持する支持部と、研磨具の往復移動するときの移動範囲Ｓ０を研磨具の移動を停止させて規制する制止部とを有する。 （もっと読む）

【課題】キャリアの取り外しを必須とすることのない両面研磨装置用の洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを嵌め込むホール２を有するキャリア３と、対向する上下一対の回転定盤４、５とを具え、回転定盤４、５の対向面に、研磨布６を夫々有する両面研磨装置１において、研磨布６に対し流体を吹き付けて、研磨布６を洗浄するにあたり、離間させた上下の回転定盤４、５間に、二股の先端部分９に流体を研磨布６に対し吹付けるノズル１０を有するアーム１１を挿入し、キャリア３を、上の回転定盤５側へと移動させて、ノズル１０をキャリア３のホール内に配置し、上下の回転定盤４、５を回転させ、ノズル１０をホール２内にてホール径方向に往復移動させつつ、ノズル１０から研磨布６に向かって流体を吹き付けて、両研磨布６を洗浄する方法である。 （もっと読む）

【課題】従前の搬送工程においてキャリアへのワークの適切な供給を実現する方途について提案する。
【解決手段】研磨に供するワークを保持する少なくとも１つのキャリアを、上定盤と下定盤との間に配置し、該キャリアのホールに前記ワークを挿入し、該上定盤と下定盤との間にキャリアおよびワークを挟み、上定盤と下定盤との間に研磨液を供給しつつ上定盤および下定盤の少なくともいずれか一方を回転させて、該キャリアに保持されたワークを研磨する方法において、前記キャリアのホールにワークを挿入するに当たり、該ワークの端部を把持してワークを下定盤の上方まで運び、該下定盤上のキャリアのホールに対してワークを位置決めし、該ワ−クの把持を開放してワークを前記ホールに向けて、ガイドによる案内を介して緩やかに落下させる。 （もっと読む）

【課題】研磨布を均一に研削し得る研削装置を提供する。また、かかる研削装置を使用した研削方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを保持するキャリア３と、キャリア３を挟んで対向する上下一対の回転定盤４、５とを具え、回転定盤４、５の対向面に、ワークＷを研磨するための、研磨布６を夫々有する両面研磨装置１において、上下の回転定盤４、５の研磨布６を研削するにあたり、上下の回転定盤４、５を離間させて、離間した上下の回転定盤間に、先端部分１０に回転定盤よりも小径の研削プレート１１を有するアーム１２を挿入し、研磨布６に対し、研削プレート１１を押し付けて、研削プレート１１を回転させることにより、研磨布６を研削することを特徴とする研磨布６の研削方法である。また、かかる研削方法を可能とする研削装置９である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、冷却する構造が簡略化されたウエハ研磨装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
研磨パッド２が貼着された回転可能な研磨テーブル１と、被研磨体８を保持し、前記研磨テーブル１に被研磨体８を前記研磨パッド２に接触させると共に回転可能な被研磨体保持機構４と、前記被研磨体保持機構４の回転により前記研磨パッド２の露出面に対して気流Ｆを発生する羽根板を含む気流発生機構１０と、前記研磨パッド２に研磨剤２１を供給する研磨剤供給機構２０とを備えることを特徴とする研磨装置。 （もっと読む）

【課題】安全で高い加工品質を得ることができ、工具交換作業が容易な電動工具装置用操作補助具、および操作補助具付電動工具装置を得る。
【解決手段】電動工具装置用操作補助具３１は、駆動源１５からの駆動力を工具１３に伝達することでワークＷに対する加工を実施する電動工具１１に設置されるとともに、ワークＷに摺接して用いられることで、ワークＷに対する工具１３の相対位置を規定するものである。かかる電動工具装置用操作補助具３１は、工具１３がワークＷに近接する際の限度を規定する近接限度規定機構３３ｃ，３７ａを備えている。この近接限度規定機構３３ｃ，３７ａは、ワークＷに対する工具１３の近接限度を任意に変更自在とする機構である。 （もっと読む）

【課題】電動モータにより回転する回転刃具を備えた切断機本体において、従来電動モータの回転数制御を行うコントローラがモータハウジングの先端部に配置されていたので、モータハウジングの機長が長くなり、切断機本体のコンパクト化を図ることが困難であり、切断部位の視認性が損なわれる問題があった。本発明では、電動モータの小型化を図って切断機本体を一層コンパクト化しやすくなるようにする。
【解決手段】コントローラ７２は、電動モータ７０のモータハウジング７１の後面側の側部に設けたコントローラケース部７３に収容する。これにより電動モータ７０の機軸Ｊ方向のコンパクト化を図るとともに、使用者から見えにくくすることでその見栄えを向上させる。 （もっと読む）