【課題】複雑な形状のワークをバレル研磨する場合に、そのワークの箇所により、過研磨の箇所と未了研磨の箇所いわゆる研磨ムラが生じやすく、一定品質の研磨ができない点である。
【解決手段】研磨媒体を収容する研磨媒体収容槽内において、ワークと研磨媒体とが擦れ合って生ずる摩擦によりワークの表面を研磨するバレル研磨方法において、ワークの自転運動、上下運動、振り子運動を、互いに連動することなく独立させて運動させ、ワークが研磨媒体収容槽内において特定軌道を描くことができないようにしたバレル研磨方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】円形状基板を保持回転機構により保持して回転させ、テープ移送機構により研磨テープを間欠的又は連続的に移送させ、圧接機構によりテープ研磨機構の迂回研磨部と円孔の内周端面とを圧接し、研磨部揺動機構により迂回研磨部を円孔の内周端面に対向する方向に間欠的又は連続的に揺動運動させて研磨することにより円孔の内周端面をＣ面又はＲ面に研磨することができる。
【解決手段】研磨テープＴを間欠的又は連続的に移送させるテープ移送機構Ｃと、迂回案内部Ｃ_３により側方に迂回案内された研磨テープの側方迂回部分Ｔ_３を円孔Ｑの内周端面Ｍを研磨可能な迂回研磨部Ｋとするテープ研磨機構Ｄと、迂回研磨部を円孔の内周端面に対向する方向に間欠的又は連続的に揺動運動させて迂回研磨部により円孔の内周端面をＣ面又はＲ面に研磨するための研磨部揺動機構Ｆとを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】自動的に回転する回転カッタの回転量を容易に調整できる研磨装置を提供する。
【解決手段】
回転カッタ４を一方向にのみ水平回転自在にして保持する保持台21から構成されるカッタ保持部２に対して、グラインダ支持部３が姿勢固定で支持するグラインダ５の研削砥石51に向けて回転カッタ４を水平方向から接近離反させるように前記保持台21をグラインダ支持部３に水平方向に接近離反させる接近離反機構６を構成し、回転カッタ４の刃41にラチェットピン72を掛合させるラチェットレバー７と電動モータ12とをベースに配置して、接近離反機構６は、電動モータ12のクランク121から延びる出力ロッド61と保持台21から延びる入力ロッド63とを、ベース１に設けた揺動軸621を中心に揺動自在かつ揺動軸621の軸着位置を調整自在とした中間レバー62により連結した研磨装置である。 （もっと読む）

１条又は多条のねじ切りされたホブ４６をリリーフ研削するための多軸のコンピュータ制御工作機械。この機械は、角度を付けて位置決めする（旋回する）ことができ、それによって、２種類の研削法に対応するために研削スピンドル組立体を交換すること又は機械構成を修正することが必要なく、或いは、スピンドルを再方向付けするために追加の機械軸を使用することが必要なく、ホブ及びミリング・カッタのリリーブド歯の幾何形状を研削するためにカップ形状の研削砥石５５及び鉛筆形状の研削砥石５２の両方を使用するという融通性をもたらす、角度を有する向きのスピンドル６５を有する。
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【課題】クランプ操作荷重を小さくする。
【解決手段】サンダ１を、挟持片が側面に当接するクランプ位置と挟持片が側面から離間するアンクランプ位置との間でプレート７上をスライド可能に設けられたクランプ体１５と、プレート７上でクランプ体１５に隣接して立設される支軸１７と、支軸１７へ回転可能に連結され、一端がクランプ体１５に連結される連結端、他端がクランプ体１５の上方に伸びる操作端となり、連結端と操作端との間の拡縮方向に弾性を有する操作部材２５と、プレート７上で支軸１７の反対側に設けられ連結端と操作端との間を圧縮した状態で操作端を係止可能な係止部２７と、で形成されたクランプ装置１１を備え、操作端を係止部２７に係止して、連結端と操作端との間を圧縮し、連結端に連結されたクランプ体１５をクランプ位置ＣＰに付勢して、挟持片で研磨シート９の端部を押圧固定可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】ベルト式ＣＭＰ装置による研磨において、基板の表面凹凸を緩和することを目的とする。
【解決手段】ベルト式ＣＭＰ装置による研磨において、研磨布１の溝方向と、研磨布１の溝方向に対して被研磨半導体基板８が相対的に移動する方向とに一定の角度の差を持たせることにより、半導体基板内の位置と研磨剤寄与率との関係が一定となり、半導体基板全面で研磨レートが一定となるので、半導体基板表面の凹凸を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】両面研磨装置において、研磨工具の研磨面を効率よく利用しながら多くのワークを一括して研磨することができ、しかも簡素で消耗品が生じにくい構造とする。
【解決手段】ワーク保持手段４０として、下定盤２０の周囲に設置した回転軸部４１と、回転軸部４１の上端部から下定盤２０の方向に水平に延びる長円形状のキャリヤ４２と、キャリヤ４２の自由端部に形成したワーク保持孔４３とで構成し、上下の定盤３０，２０の間においてキャリヤ４２を水平方向に旋回させる。キャリヤ４２のスリム化によってワークの処理数を多くすることができるとともに、ワークＷの振れ幅が大きくなって研磨工具２２，３２の研磨面を効率的に利用することができる。 （もっと読む）

【課題】被研磨面を短時間で全面均一にポリシングできるポリシング装置の提供。
【解決手段】被研磨面２が上向きとなるように被研磨体１を保持する保持部３と、保持部３に保持される被研磨体１の被研磨面２と対向状態に設けられるポリシング材４と、ポリシング材４を被研磨体１側に押さえるポリシングプレート５と、ポリシングプレート５を保持部３に対し接離動させる接離機構と、被研磨面２がポリシング材４に対して往復直線運動と偏心運動との複合運動をするように被研磨体１を移動させる複合運動機構９とを備え、ポリシング材４を複数並設状態に設け、被研磨面２の略全面を一時にポリシングできるようにポリシング材４の並設数及び並設間隔を設定し、この複数のポリシング材４同士の間から被研磨面２にポリシング液７を供給するポリシング液供給部を備える。 （もっと読む）

【課題】上下の回転研磨定盤の間に挟持したワークを、回転研磨定盤の外側にはみ出すまで水平方向に大きく揺動させても安定した研磨加工を可能にする。
【解決手段】本発明に係る両面研磨装置１は、回転駆動される平坦な研磨上面２ａを有する下定盤２と、下定盤２に対向して配置され、回転駆動される平坦な研磨下面３ａを有する上定盤３と、研磨上面２ａと研磨下面３ａとの間に挟持されて研磨される板状のワーク１０を保持するワーク保持孔８ａを有するワークキャリア８と、ワークキャリア８を下定盤２と上定盤３との間に保持しながら、揺動軸２５を揺動中心にして水平方向に揺動し、ワークキャリア８を水平方向に移動させるキャリア揺動部材１９と、下定盤２の外周側を取り巻くように設けられ、研磨上面２ａと同じ高さでワークキャリア８の揺動方向沿いに遠心方向に延びる延長上面６３ａを有する延長部材６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨プロフィールの平坦性の向上と、研磨装置の小型化とを両立することができる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】両面研磨装置１は、基板を囲み保持する基板キャリア２１と基板キャリアに保持された基板１０の上下面に対向し配設した一対の上ラップ定盤３１ａ、下ラップ定盤３１ｂと、基板キャリア、上下ラップ定盤を基板の上下面に沿った方向に直線揺動させるキャリア揺動機構２５、上下定盤揺動機構３６ａ，３６ｂと、基板と上下ラップ定盤とが対向当接する当接部に研磨剤を供給する研磨剤供給機構４１とを備え、研磨剤供給機構より上下側当接部に研磨剤を介在させた状態で上下定盤揺動機構により上ラップ定盤と下ラップ定盤とを互いに反対方向に直線揺動させるとともに、基板キャリアを上下ラップ定盤の直線揺動方向と略直交する方向に直線揺動させ、基板キャリアに保持された基板の上下面を研磨加工する。 （もっと読む）

本発明は、研磨工具が配置されかつ被加工物ホルダ５と相互作用する工具ホルダ３を備えており、これらの被加工物ホルダ５および工具ホルダ３が互いに対して第１の方向および第１の方向とは異なる第２の方向に運動可能である、研磨装置１に関する。研磨工程の少なくとも一部を再現可能および文書化可能にすることを目的とする。この目的のために、第１の方向９と第２の方向１０、１２とに対して垂直である第３の方向２０において、工具ホルダ３を可撓性にする。
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【課題】研磨中における研磨テープのテンション（張力）をほぼ一定として安定した研磨性能を実現することができ、かつ研磨速度を上げることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、研磨テープ４１と研磨対象物Ｗとを相対移動させることにより研磨対象物を研磨する。本研磨装置は、研磨対象物Ｗを保持する保持部２０と、研磨テープ４１を研磨対象物に接触させる研磨ヘッド４２と、研磨テープを研磨ヘッドに供給する供給リール４５ａと、研磨対象物に接触した研磨テープを回収する回収リール４５ｂと、研磨ヘッドを所定の点を中心として揺動運動させる揺動機構とを備える。研磨テープは、供給リールから点Ｃｎを通って研磨対象物まで延びる。 （もっと読む）

【課題】壁面の研磨作業を機械化することができ、その研磨状態も手作業と同等に仕上げることができる壁面研磨装置を提供すること。
【解決手段】外周面に研磨布１４が取り付けられ回転駆動されるローラ１１と、このローラ１１を研磨対象面に倣わせるローラ軸１３の揺動機構１５と、ローラ１１を研磨対象面に一定押付力で押し付ける押付機構１９とを備える。回転ローラ１１の外周に研磨布１４を取り付けて研磨対象面に倣わせるとともに、一定押し付け力で押し付けて研磨するようにし、ツールマークを極力目立たなくし、重なり部分の削りすぎもなく、手作業のように仕上げられるようになる。 （もっと読む）

【課題】狭い平端溝底面および小径円端面のバニシング加工を可能にした平面用バニシング工具およびバニシング加工方法を提供すること。
【解決手段】平面用バニシング工具１は、加工機に装着される筒状のシャンク３と、シャンク３内に挿入されて支持されシャンク３と一体に回転するマンドレル２と、シャンク３の先端側に配置したワークの方向にマンドレル２を付勢する付勢手段ＳＰと、付勢手段ＳＰによって発生する付勢力を調整する付勢力調整手段５と、を備えてワークの平面にマンドレル２の先端部２ｆを押圧して加工する。マンドレル２の先端部２ｆは、平面用バニシング工具１の回転中心Ｏａに対して偏心して設置されている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、操作性に優れたボールエンドミル刃先部研磨機を提供する。
【解決手段】ボールエンドミル刃先部研磨機１０は研磨装置１４の研磨装置本体２２には研磨砥石３０が設けられている。また、研磨装置１４のスライド体３８には第１ガイド体従動ローラーが設けられている。ボールエンドミル刃先部研磨機１０のエンドミル回動取付装置４８のエンドミル装着装置回動体には第１ガイド体が設けられ、この第１ガイド体の第１ガイド溝には前記第１ガイド体従動ローラーが収容されている。エンドミル装着装置回動体５４に取り付けられたエンドミル装着装置７０には第２ガイド体従動ローラーが設けられている。エンドミル装着装置回動体５４には第２ガイド体シャフト９８が接続され、第２ガイド体シャフト９８には第２ガイド体従動ローラーが収容される第２ガイド溝１０６が形成された第２ガイド体１０４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ねじ研削工程が簡単で研削加工能率や製造コストを低減できる盛上げタップの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の完全ねじ山５６およびそれに連続する食付ねじ山６０の基端側フランク面および先端側フランク面の少なくとも一方を、その完全ねじ山５６に対する第１送りリードＬ１とそれとは異なるその食付ねじ山６０に対する第２送りリードＬ２或いは第３送りリードＬ３とを用いて研削砥石２６をねじ部１０ｂに対して軸方向に相対的に送ることにより、そのねじ部１０ｂの軸方向全体にわたって連続的に研削することから、完全ねじ山５６および食付ねじ山６０の両側のフランク面の少なくとも一方が一挙に研削されるので、ねじ研削工程が簡素化され、研削加工能率が高められるとともに製造コストが安価となる。 （もっと読む）

【課題】研磨により生じる摩耗粉に起因する印刷の品質不良の発生を抑止することができ、また、ドクターブレードの先端の研磨を精度良く行うことができ、さらに、ドクターブレードの幅方向における研磨状態を均一とすることができるドクターブレード研磨装置およびドクターブレードの研磨方法を提供する。
【解決手段】ドクターブレード研磨装置には、ドクターブレード２の先端を研磨するための回転自在の円筒形の研磨部２０が設けられている。位置調整部により研磨部２０の表面に対するドクターブレード２の位置を調整するとともに押圧力調整部により研磨部２０の表面に対するドクターブレード２の押圧力を調整するようになっている。さらに、ドクターユニット１を研磨部２０の軸方向に沿って揺動させるためのドクターユニット揺動部５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】特に微細径ドリルに対して、熟練工に頼ることなく、特別な技術を要せずに手軽に正確なシンニング加工を施すことができる装置及びその方法を提供する。
【解決手段】シンニング加工をしようとするドリル３を保持可能なチャックユニット２０と、回転砥石１１を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニット１０と、前記回転砥石１１に対して、前記チャックユニット２０を、少なくともドリル３の軸方向（Ｙ）及び該軸方向と水平面内の直角の方向（Ｘ）に移動・位置決め可能とするステージユニット３０と、前記ドリル３のシンニング加工位置以外の所定の位置に、前記ドリル３を位置決め可能とする位置決めユニット４０とを備え、前記所定の位置を原点として、該原点からの前記ステージユニット３０の駆動・制御により前記シンニング加工を行うことを特徴とするドリル３のシンニング装置。 （もっと読む）

【課題】特に微細径ドリルにおいて、シンニング面の加工精度を向上させることによって、ドリル自体の耐久性を向上させる。
【解決手段】シンニング加工をしようとするドリルを保持可能なチャックユニット２０と、回転砥石１１を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニット１０と、前記ドリルのシンニング加工状態において、該ドリルのシンニング加工部が前記砥石の切削面に対して揺動するように、前記チャックユニット２０を所定の位置を中心とする曲面に沿って回動させる回動機構と、を備えてドリル３のシンニング装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 熟練を要することなく容易にドリルの切刃部の再研削を行うことができる研削装置の提供。
【解決手段】 ドリル１００を着脱可能に保持する工具取付材５０と、この工具取付材５０を任意の傾斜角度で保持する傾動材４０と、工具取付材５０に保持されたドリル１００の切刃部を研削する砥石７とを備える。傾動材４０は、砥石７に対して往復動可能とされる。傾動材４０は、垂直に立設された基板３７に対して第一ピン４４まわりに傾動可能な第一ベース４１と、第一ベース４１に垂直に設けられる第二ベース４２とからなる。工具取付材５０は、第二ベース４２に対して第二ピン４５まわりに傾動可能に保持されている。 （もっと読む）