【課題】外部への熱の影響が抑制されて安全性が高いとともに高効率の触媒反応が可能なマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】マイクロリアクター１を、筐体２と、この筐体内の真空密閉キャビティ３内に配設されたマイクロリアクター本体４と、マイクロリアクター本体の少なくとも１つの面に位置する発熱体７とを備えるものとし、発熱体７は、筐体２を貫通するリードピン１１を介して外部電源と接続可能であるとともに、このリードピン１１と発熱体７を温度ヒューズ１２を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】 特に、シリコン基板に作用する応力を緩和できる物理量センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコン基板２，３と、シリコン基板３に形成されたダイアフラムと、ピエゾ素子Ｂ〜Ｅと、シリコン基板３と接合されるインターポーザ１５と、を有する。インターポーザ１５は、支持基板１７と、支持基板１７の上面から下面にかけて形成される導通部１８と、を有する。インターポーザ１５とシリコン基板３間の接続領域４７には、第１有機絶縁膜４８と接続経路５０が設けられる。接続経路５０は平面方向に延びる延出部４３と、延出部４３と配線層１０間を高さ方向に繋ぐ第１接続端部５２と、延出部４３と導通部１８間を高さ方向に繋ぐ第２接続端部４６とを有する。延出部４３の導通部側接続位置αと、第１接続端部５２の素子側接続位置βとが、平面方向にずらされている。 （もっと読む）

【課題】異種材料を貼り合わせて構成された振動ミラーを用いた光走査装置において環境温度が変化しても性能劣化のない安価な装置を提供する。
【解決手段】線膨張係数の異なる材料で構成されたミラー５と振動子１とを接合して構成された振動ミラー１０を用いた光走査装置である。光源５２からの光を振動ミラー１０に反射する反射ミラー５７が互いに線膨張係数の異なる材料のミラー５８と保持板５９を積層して構成される。そして、環境温度が変化したときの振動ミラー１０と反射ミラー５７の反りが光の進行方向に対して逆方向で同一曲率になるよう構成することで、ビーム結像位置を一定位置に保つことができる性能劣化のない装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】実装面へのダイの固定手段とダイの可動部との位置あわせを容易にする。
【解決手段】環状の接合面の内側に可動部が露出しているダイを実装面に固定する方法であって、前記ダイの対向する外側の二辺のそれぞれより長い内側の二辺が前記ダイの前記二辺の間の距離より短い距離だけ離れて平行に対向するように両面テープを前記実装面に貼付し、前記ダイの前記二辺が前記両面テープの前記内側の二辺と平行になるとともに前記両面テープの前記内側の二辺の両端部が前記ダイから露出する位置において前記両面テープに前記ダイの前記接合面を貼付する、ことを含む。 （もっと読む）

【課題】複数色の光変調を行って画像を形成するに当たり、各色に対応する光変調素子の相対的な光学位置調整を容易にし、また、発熱等によって生じる色毎の画素ずれを抑制することを目的とする。
【解決手段】支持部材３０と、支持部材３０上に配置され、異なる波長帯域の複数の線状の光を変調する光変調装置１２と、光変調装置１２を駆動する駆動部１６と、光変調装置１２上に設けられる光透過部材１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】温度が上昇する際における共振器の周波数の著しい低下を克服する共振器及び共振器を形成するための方法を提供する。
【解決手段】共振器は、バルク２１と柱状部２４とを含む共振素子２０を備えたバルクモード共振器である。柱状部２４は、バルクの材料の温度係数の符号と反対の符号の温度係数を有するヤング率の材料から形成されている。また、柱状部２４は、バルク波の振動方向に対して垂直方向に長く、共振素子２０の膨張／圧縮方向に共振素子２０と交差してバルク２１の連続部分を有する様に分散されている。 （もっと読む）

【課題】温度によるＭＥＭＳの特性変化を低減することを目的の１つとする。
【解決手段】支持部と、前記支持部に架設された可撓部と、前記可撓部の変形または変位を検出するための検出手段と、前記支持部と前記可撓部とに連続して形成され、熱膨張係数および弾性率の温度変化に対する変化の割合がシリコンより低く密度がシリコンより大きいチタン合金からなる金属層と、を備えるＭＥＭＳ。 （もっと読む）

【課題】マイクロチャンネルを覆うマスクを必要とせずにレーザ光による接合の可能なマイクロチップの接合方法を提供する。
【解決手段】表面側にマイクロチャンネル１１Ａが形成された樹脂基板１１のマイクロチャンネル１１Ａが形成された側の面と、樹脂基板１２の平坦な面とを接触させて被接合面１１２とし、レーザ光ＬＡを、樹脂基板１２を介して被接合面１１２に、接合幅ＳＨ以上の長さのライン状に、長手方向に略均一な光強度で集光させ、ライン状の集光部ＬＰにより、被接合面１１２を集光部ＬＰの長手方向に交わる向きに走査して、レーザ光ＬＡの光エネルギによる光融着により被接合面１１２において樹脂基板１１、１２の表面同志を接合し、ライン状に集光するレーザ光ＬＡのエネルギが、マイクロチャンネル１１Ａ内部においては熱ストレスを生じない程度に分散するように、レーザ光ＬＡのライン状の集光態様を設定する。 （もっと読む）

【課題】高い可変比を有するＭＥＭＳ可変容量キャパシタを備えた電気部品を提供する。
【解決手段】基板１１の主面に形成され、基板１１と反対側の第１の面１２ａが絶縁膜１３で覆われた第１電極１２と、第１電極１２の第１の面１２ａと離間して対向する第１の面１４ａを有し、アクチュエータ部により駆動される第２電極１４と、第２電極１４の第１の面１４ａに形成され、熱履歴により第２電極１４の第１の面１４ａが粗面化するのを防止するための第１保護膜１５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板から熱隔離された、マイクロマシン化された素子を提供する。
【解決手段】シリコン構造は基板とシリコン構造がその中に形成されるシリコン層の間に配置された絶縁層に形成されたギャップによって、少なくとも部分的に熱的に基板から隔離される。実施例では基板はシリコンで作られ、シリコン層は単一結晶シリコンで作られる。実施例ではギャップが、ギャップの下の基板の表面が実質的にエッチングされずに維持されるように形成される。他の実施例では、ギャップの下の基板の表面に影響を与えること無しにギャップが形成される。特にギャップは絶縁層の一部分をギャップの下の基板の表面に影響を与えないエッチングで除去することによって形成され得る。実施例でエッチングは、絶縁層の材料と基板の材料との間で高度に選択的である。エッチングの選択性は約20：1あるいはそれより大で有り得る。 （もっと読む）

【課題】耐熱性の優れた封止材を有する微小構造体装置、およびその微小構造体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表面に微小構造体４が設けられた第１基板２と、微小構造体４に対向する表面を備えた第２基板３と、第１基板２および第２基板３の対向する表面同士を接合するとともに、微小構造体４を取り囲んで封止する封止材５とを備え、封止材５は、第１基板２および第２基板３の対向する表面にそれぞれ設けられた環状の金属層１０と、各金属層の間で各金属層に沿って環状に設けられるとともに、金属層１０，１１同士を接続するＣｕ_６Ｓｎ_５を主成分とするＣｕＳｎ化合物層１２とを有する。 （もっと読む）

干渉型変調器が、可動反射体の反対側の、可動柔軟層の一側上に、熱膨張平衡層を備え、温度が変化した場合に、可動反射体と光学積層体との間の距離が、大きく変化せず、これにより、安定したカラーを生じる。さらに、干渉型変調デバイスが、可動柔軟層と可動反射体との間に補強層、及び少なくとも一つの空間を備え、この空間は、可動反射体と補強層とが互いに接触する表面上に存在し、可動反射体が、曲げに対してさらに堅固なものとなり、これにより、可動反射体の感温性を低減させる。
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【課題】第一の部材と第二の部材のギャップ量の変動が抑制された、所望の熱信頼性が確保されたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、電極基板１３０と、スペーサ１５０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダ１７０とを有している。スペーサ１５０は、マイクロミラーチップ１１０に面接触する上側平面１５０ａと、電極基板１３０に面接触する下側平面１５０ｂとを有し、両者は互いに平行である。スペーサ１５０は、ハンダ１７２を収容する一つの位置決め用貫通穴１５２と、ハンダ１７４を収容する複数の貫通穴１５４，１５６，１５８とを有している。位置決め用貫通穴１５２はハンダ１７２のＸＹ方向の移動を拘束する。貫通穴１５４，１５６，１５８はハンダ１７４のＸＹ方向の移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの本来の効果を有しながら、小径ビームスポットを達成し高画質化を可能とする光走査装置及び該光走査装置を用いるカラー画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを放射する光源手段と、該光源手段からのレーザビームを偏向走査する振動ミラーと、偏向走査されるレーザビームを被走査面に向かって集光する走査結像光学系と、前記レーザビームの走査領域内で該レーザビームを受光する受光素子ＰＤ１，ＰＤ２と、を備える光走査装置において、受光素子ＰＤ１，ＰＤ２ごとの出力パルスのタイムインターバルＡ_１，Ｂ_１が受光素子同士で一致するように、及び／又は、受光素子ＰＤ１，ＰＤ２それぞれにおけるパルス幅ＰＡ_１１、ＰＢ_１１が一定となるように、前記振動ミラーの取付姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化を計った上で、温度特性の補正を高精度かつ効率的に行うことができること。
【解決手段】Ｘ方向に延びるように形成され、Ｘ方向に直交するＹ方向に振動する振動片３６と、振動片３６からＹ方向に分岐してそれぞれ同じ長さだけ延出する延出部３７と、振動片３６を片持ち状に支持する振動子アイランド３４とを有する振動子３２と、振動片３６に対して所定距離を空けた状態で振動片３６を間に挟むように配置され、駆動電圧が印加された時に静電引力を発生させて振動片３６を振動させる駆動電極３３ａと、一対の延出部３７に対してギャップｇを空けた状態でそれぞれ対向配置され、補正電圧が印加されたときに静電引力を発生させて各延出部３７を引き寄せ、振動片３６に対してＸ方向の圧縮応力を作用させる補正電極３８ａ、３８ｂと、を備えた発振子３０を提供する。 （もっと読む）

マイクロ流体装置［１０］は、少なくとも１つの反応体通路［２６］およびその中に画成された１つ以上の熱制御通路を備え、この１つ以上の熱制御通路は、各々が壁［１８，２０］により境が形成された２つの容積［１２，１４］内に位置し、配置され、それらの壁は略平面で互いに平行であり、反応体通路は、略平面の壁の間に位置し、その略平面の壁と略平面の壁の間に延在する壁［２８］により画成され、反応体通路は多数の連続チャンバ［３４］を備え、そのような各チャンバは、反応体通路を少なくとも２つの副通路［３６］に分割する分割部、および分割された副通路を合流させる合流部［３８］を備え、副通路の少なくとも一方の通路の方向を少なくとも９０度変化させる。
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本発明は、移動素子を有するマイクロメカニカル装置に関し、該装置は該移動素子に規定量の熱を投入する制御可能加熱装置を備え、該装置はさらに、瞬時温度に応じて、及び／又は投入される瞬時の熱量に応じて、加熱装置を制御するよう設計された制御部（５）を有する。例えば、該装置は電磁放射線を投射するよう設計でき、この場合の該移動素子は、放射源（１）から発せられる放射線を投射面（３）に向けて偏向させるビーム偏向部（２）の形態をなす。さらに、本発明は電磁放射線の投射に対応する方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】 反応媒体を安定して反応させることができる反応装置を提供すること。
【解決手段】
高温部１ａと低温部１ｂとを有する基体２と、前記高温部１ａと前記低温部１ｂとを連通するとともに、前記低温部１ｂから前記高温部１ａへ反応媒体が流動する第１流路２ａと、前記高温部１ａと前記低温部１ｂとの間に設けられ、冷媒が流動する第２流路３ａと、を備えたものである。
また、好ましくは、前記反応媒体は、前記低温部１ｂで、複数の異なる媒体が合流することで構成されることを特徴とするものである。 （もっと読む）

マイクロ流体装置（１０）は、ミリメートル〜ミリメートル未満の範囲における１つ以上の寸法を有する、１つまたはそれ以上の流体通路またはチャネルまたはチャンバ（２６、２８）を備え、ここで、前記装置（１０）は、ガラスフリットと充填剤（２０、２４、２２、３２）を含む固結混合物をさらに含み、前記充填剤は、ガラスフリットの熱伝導率よりも大きい熱伝導率を有する。
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【課題】信頼性に優れた電子部品、その製造方法、電子部品を用いた加速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に形成される絶縁層２８と、絶縁層２８上に形成され、外部端子と電気的に接続されるパッド２４と、を含む電子部品であって、パッド２４の底面に対応する基板１０および絶縁層２８の領域の少なくとも一つに形成される空洞２６が設けられている電子部品である。 （もっと読む）