【課題】 駆動コイルへの通電量を増やすことなく、可動部の大きな振幅を得ることができるとともに、可動部の揺動動作の微調整を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４と、可動部４に設置され可動部４を駆動するための渦巻き状に形成された第１駆動コイル５と、固定部２に設置された揺動用コイル６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体圧力センサ及びその製造方法に係り、Ｓｉ基板の開口部のダイヤフラム側壁すべてをその基板面に対して垂直な面とすることにある。
【解決手段】半導体圧力センサは、単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板を裏面側からエッチングすることによって形成されたダイヤフラム及び４面のダイヤフラム側壁と、前記単結晶シリコン基板の表面側に形成されたリード導体及び歪ゲージ抵抗からなるブリッジ回路と、を備え、前記ダイヤフラムは、面方位が（１１０）面であり、かつ、平面形状が平行四辺形であり、前記ダイヤフラム側壁は、４面とも面方位が（１１１）面であり、かつ、２面ずつ互いに平行に向かい合っており、圧力印加に伴う前記ダイヤフラムの撓み量に応じて前記ブリッジ回路の出力値が変動することを利用して、前記ダイヤフラムに印加される被検出対象の圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光学デバイス、光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６とを有し、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な走査部２と、被走査面上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部２の被走査面に対する空間的位置を変更するアクチュエーター３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第１電磁石と、第２電磁石とを備えている。このミラー部は２軸駆動型であって、第１磁性体および第２磁性体を備えている。第１電磁石と第２電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

フィルタ装置は基板(302)と基板の第1表面に設けられた複数の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ(GCA)装置とを有する。複数のGCA装置は1つ以上のGCAバラクタ(700)を有する。複数の水平GCA装置の各々は、少なくとも1つのドライブくし形構造(602a、602b、702a、702b)と、少なくとも1つの入力/出力(I/O)くし形構造(616a、616b、716a、716b)と、ドライブくし形構造及びI/Oくし形構造に互いに入り込んだ少なくとも1つのトラスくし形構造(604、704)とを有する。トラスくし形構造は、トラスくし形構造及びドライブくし形構造の間に印加されるバイアス電圧に基づいて、少なくとも第1の嵌合位置及び第2の嵌合位置の間の移動軸方向に沿って動くように形成されている。
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【課題】 本発明は付加的なバックチャンバーを有するシリコンコンデンサマイクロホンの製造方法に関する。
【解決手段】 本発明の方法は、基板に接着剤を塗布した後、チャンバー筒をマウンターでマウントするステップと、前記チャンバー筒を接着している接着剤を硬化（ｃｕｒｅ）させるステップと、前記チャンバー筒の上に接着剤を塗布した後にマウンターでＭＥＭＳチップをマウントするステップと、前記ＭＥＭＳチップを接着している接着剤を硬化（ｃｕｒｅ）させるステップと、部品が実装された前記基板とケースを接合するステップと、を含めて前記ＭＥＭＳチップによるバックチャンバーに前記チャンバー筒によって形成されるバックチャンバーが増加されて付加的なバックチャンバーを有することである。よって、本発明によって形成されるシリコンコンデンサマイクロホンはＭＥＭＳチップその自体の足りない足りないバックチャンバー空間を増やして感度を向上させて、ＴＨＤ（Ｔｏｔａｌ Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ）などのノイズを改善することができるという効果がある。 （もっと読む）

本発明は、一方向（Ｙ１）に沿った向きの変位を測定するための面内ＭＥＭＳ又はＮＥＭＳ検出デバイスであって、基板に対して懸架された振動質量（２０２）であって、前記基板の面に垂直な軸（Ｚ）周りに旋回可能な振動質量（２０２）と、振動質量（２０２）及び基板に機械的に接続された少なくとも一つのピエゾ抵抗歪みゲージとを備え、ピエゾ歪みゲージ（８）が振動質量の厚さよりも小さな厚さを有し、ピエゾ抵抗歪みゲージ（８）の軸（Ｙ）が、振動質量（２０２）の旋回軸（Ｚ）及び重心（Ｇ）を含む面に直交していて、該面が、測定される方向（Ｙ１）に直交している、面内ＭＥＭＳ又はＮＥＭＳ検出デバイスに関する。
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【課題】高い性能を確保しながら、小型化を実現することが可能なアクチュエータの製造方法、アクチュエータ、及び該アクチュエータを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】電極層と、該電極層に通電することにより変形する金属板と、が積層されたアクチュエータの製造方法であって、金属板の表面に絶縁膜を成膜する工程と、絶縁膜の表面に電極層を形成する工程と、電極層が形成された面と同じ側の面に、金属板のエッチング部分に開口を有する第１のレジスト膜を成膜する工程と、金属板の絶縁膜が成膜された面と反対側の面に、第１のレジスト膜の開口部分が表裏で略同じ形状になるように第２のレジスト膜を成膜する工程と、第１のレジスト膜および第２のレジスト膜をエッチングマスクとして、エッチング法を用いて金属板を除去することにより、該金属板の形状を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサーなどの物理量センサー、および、物理量センサーを比較的容易に製造できる物理量センサーの製造方法、および、物理量センサーを備えた電子機器を提供する。
【解決手段】静電容量型加速度センサー１００は、固定部としての固定枠部１１０と、可動錘部１２０と、固定電極を有する固定電極部（固定腕部）１５０（１５０ａ，１５０ｂ）と、可動電極を有する少なくとも一つの可動電極部（可動腕部）１４０（１４０ａ，１４０ｂ）と、を有し、固定電極部１５０（１５０ａ，１５０ｂ）は、第１積層構造体ＡＩＳの側面に形成された、固定電極としての第１側面導体膜ＣＱ１（ＣＱ１ａ，ＣＱ１ｂ）および第１接続電極部Ｌ４（Ｌ４ａ，Ｌ４ｂ）と、を有し、可動電極部１４０（１４０ａ，１４０ｂ）は、第２積層構造体層構造体ＢＩＳの側面に形成された、可動電極としての第２側面導体膜ＣＱ２（ＣＱ２ａ，ＣＱ２ｂ）および第２接続電極部Ｌ５（Ｌ５ａ，Ｌ５ｂ）を有する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低くしつつ、傷から保護されるセンサデバイスを提供すること、およびこのようなセンサデバイスを製造する方法を提供すること。
【解決手段】成形体と成形体上に被着されているピエゾ抵抗センサ層とを有しており、ピエゾ抵抗センサ層は少なくとも１つの金属並びに炭素または炭化水素を含んでおり、ピエゾ抵抗センサ層上で薄膜パッシベーション層およびコンタクト層が省かれる、センサデバイス。 （もっと読む）

【課題】ミラーの一方向への揺動と他方向への揺動とが異なる種類の駆動方式により行われる異種駆動方式の構成を有する、高精度な駆動制御が可能な２次元光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部２と一対の第１駆動部３Ａ、３Ｂとを有する可動部４と、第２駆動部５と、基台６と、設置部７と、を備える。第１駆動部３Ａ、３Ｂが圧電駆動方式により駆動され、可動枠４２に軸線ＡＸ１を節とする定在的な波形の変形が生じる。第２駆動部５が電磁駆動方式により駆動され、外枠４３がＺ軸方向に運動し、可動部４は、軸線ＡＸ２回りに揺動する。この結果、ミラー部２が軸線ＡＸ１回りに揺動されつつ、可動部４が軸線ＡＸ２回りに揺動されることで、光スキャナ１は、ミラー部２の反射面２１に入射した光束を反射して、２次元走査する。 （もっと読む）

【課題】センサ内部の配線パターンの設計や製造工程を変更せずに、配線パターンを容易に変更可能にするセンサデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】センサデバイスは、複数のピエゾ素子２３１，２３２と、複数の接続パッド２６１〜２６５と、ピエゾ素子２３１，２３２と電気的に接続された上層配線２４０、２４１と、上層配線２４０及び２４１に接続された下層配線２５１及び２５２と、下層配線２５１及び２５２に対して垂直方向に交差する上層配線２４２〜２４４と、上層配線２４２〜２４４の下層の下層配線２５３〜２５７があり、下層配線２５３〜２５７の他端部の上層には、絶縁層を介して接続パッド２６１〜２６５が形成される。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械装置の特性向上および製造工程の簡略化を図る。
【解決手段】微小電気機械装置を、半導体層(1)と、前記半導体層中のチャネル領域の両側に形成されたソース、ドレイン領域(13)と、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜(19)と、前記ゲート絶縁膜上に形成された空洞(15a)と、前記空洞上に形成されたゲート電極(17)と、を有し、前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜と接触するよう可動に構成され、前記ゲート電極上に加わる力を、前記ゲート電極と前記ゲート絶縁膜との接触面積により検出するように構成する。このように、上記接触面積によりゲート電極上に加わる力を検出することができる。また、一時的なＦＥＴ構造を利用することにより、装置および製造工程の簡略化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生を防止することができる光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置を提供する。
【解決手段】可動板１１と、一端が可動板１１と連結され、回転軸Ｘの周りに可動板１１を回動可能に支持する弾性支持部１２と、弾性支持部１２の他端と連結された支持部材１３とを備え、弾性支持部１２、支持部材１３は、上面、下面、及び側面を有し、側面は、上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、弾性支持部１２、支持部材１３の上面、下面、及び側面に、光吸収膜３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】射出光の波長を可変させた場合でも、高透過率および高分解能を実現可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２、およびこの可動部５２２を基板対向方向に移動可能に保持する連結保持部５２３を有する変位部５２１を備えた第二基板５２と、第一基板５１に固定される固定ミラー５６と、可動面５２２Ａに固定される可動ミラー５７と、固定ミラー５６および前記可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、静電引力により可動部５２２を基板対向方向に変位させる第一静電アクチュエーター５４と、第一静電アクチュエーター５４の内側で、固定ミラー５６および可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、可動部５２２に変位方向と逆方向に応力を付与する第二静電アクチュエーター５５と、を具備した。 （もっと読む）

本開示は、投影ディスプレイ用の高速スイッチングミラーアレイを製作する方法を示す。ミラーは、下地のスプリング支持体に接続された中間にビア(via)を有していないため、既存の技術のように、脚またはビアからの光散乱を有していないことに起因して、改善したコントラスト比が得られる。支持コンタクトが存在しないため、ミラーはより小型に製作でき、より高密度のディスプレイを製作するために使用できるより小型な画素を製作できる。さらに、支持するスプリング支持体からの復元力が存在しないため、ミラーは、定位置のままで、付着に起因して一方向または他の方向に向く。このことは、ミラーを定位置に保持するための電圧を使用する必要がないことを意味する。このことは、ディスプレイを動作させるのに必要な電力が少ないことを意味する。
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