【課題】バックプレートが当該バックプレートの内面側に製作した電子回路を含むインターフェロメトリックモジュレータベースディスプレイ。
【解決手段】インターフェロメトリックモジュレータのアレイ１０２が透明基板１０４を通して光を反射するよう構成されたＭＥＭＳベースのディスプレイデバイス１００が記載されている。上記透明基板１０４は、バックプレート１０８に対し封じられ、該バックプレートは、そのバックプレーン１０８上に製作された電子回路１１４を含むことができる。上記電子回路１１４は、上記インターフェロメトリックモジュレータのアレイ１０２と電気的に通信しており、上記インターフェロメトリックモジュレータのアレイの状態を制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】構造的制限を設けることなく、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の検出感度の差を小さくし、且つ、ドリフトが小さく、３軸間の信号出力の変動を低減する半導体加速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明によると、半導体基板に、枠部と、錘部と、前記枠部と前記錘部との間に配置される可撓部と、前記可撓部に第１の方向に配置される複数のピエゾ抵抗素子と、前記第１の方向と直交する第２の方向に配置される複数のピエゾ抵抗素子と、前記複数のピエゾ抵抗素子をそれぞれ含む複数のブリッジ回路とを有し、前記ブリッジ回路に電圧を印加する高電位端及び低電位端のうちの何れか一方と、前記ブリッジ回路との間に第１の抵抗体を有する少なくとも１つの前記ブリッジ回路を備えることを特徴とする半導体加速度センサが提供される。 （もっと読む）

【課題】周囲温度変化や経時変化によりピエゾ抵抗素子の抵抗値に変動が生じた場合であっても、ミラー部の揺動を停止することなく、ピエゾ抵抗素子による検出結果の校正を行うことができる光走査装置及び画像表示装置を提供すること。
【解決手段】所定電位間に直列接続された一対のピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ３（Ｒ２，Ｒ４）を有する検出部を有し、光走査素子４のミラー部１０の揺動軸Ｌｙ回りの揺動を開始した後、一対のピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ３（Ｒ２，Ｒ４）間の接続点Ｎ１（Ｎ２）の電圧変動率に基づき、光走査素子４が共振により反射面１０ａと直交する方向への揺動が加わっている状態であると判定すると、当該状態において接続点Ｎ１（Ｎ２）の電圧変動率が所定範囲内になったときの接続点の電圧に基づき、接続点Ｎ１（Ｎ２）の電圧のオフセット値を判定する。 （もっと読む）

【課題】光束を走査する期間において、駆動信号波形の直線性を向上させつつも、駆動信号波形生成のための演算負荷を小さくする。
【解決手段】両側から梁部で支持されたミラー部を有し、梁部の捻れ変位によりミラー部を揺動可能とした非共振型の光走査素子と、駆動信号によりミラー部を揺動させる制御部と、を備え、制御部は、駆動信号の波形を鋸波状波形Ｄとし、当該鋸波状波形Ｄのうち、光束を走査する期間の波形を直線波形Ｄａとする一方、光束を走査しない期間の波形Ｄｂの微分波形が、一つの周波数の１周期の波形、又は、２つの周波数の半周期の波形を互いに結合した波形、となり、かつ、当該光束を走査しない期間の波形の両端部のそれぞれが、光束を走査する期間の波形の傾きと同じ傾きとなるように光束を走査しない期間の波形を形成し、光束を走査しない期間の波形の両端部のそれぞれを光束を走査する期間の波形の両端部のそれぞれに連続させた。 （もっと読む）

【課題】光検出素子のミラー部の角度を検出する検出部の特性変化があった場合でも、光検出素子のミラー部の角度を精度よく検出することができる光走査装置及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０を両側から支持する一対の梁部の捻れ変位によりミラー部１０が揺動軸Ｌｙ回りに揺動してミラー部１０により光束を走査する光走査素子と、光走査素子へ駆動信号を出力してミラー部１０を揺動軸回りに揺動させる制御部と、ミラー部１０の揺動軸Ｌｙ回りの角度を検出する検出部と、ミラー部１０の揺動軸Ｌｙ回りの角度が、光束を走査する角度範囲外の所定角度以上となることを規制する規制部材１７ａ，１７ｂとを備え、制御部は、規制部材１７ａ，１７ｂに到達するようにミラー部１０を揺動軸Ｌｙ回りに回動させ、検出部により規制部材１７ａ，１７ｂにミラー部が到達したと判定したときの検出部による検出結果に基づき、駆動信号の波形を調整する。 （もっと読む）

【課題】上下方向の視野角を広げたＭＥＭＳシャッター及びこのようなＭＥＭＳシャッターを含む表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置は、光源と、光源から入射する光が通過可能な第１スリットが形成された第１基板と、第１スリットが対応する位置に形成された第２スリットを含む第２基板と、第２スリットを含み、第１基板と第２基板に平行な水平面であらかじめ決められた位置を周期的に往復運動するＭＥＭＳシャッターと、第１スリットと第２スリットとの重畳によって形成される非対称的形状の光開口部とを含み、複数の光開口部を幾何学的な対称パターンに２次元平面上に配置する。 （もっと読む）

【課題】液体と気体のどちらにも使用することができ、小型化に適し、電子回路基板などに表面実装することが可能であり、信頼性が高い流量センサーを提供する。
【解決手段】表面実装型のパッケージ１２に流量検出手段を内蔵した流量センサー１０であって、パッケージ１２内に形成され、流体をパッケージ１２の下面に設けた流入口３０から流量検出手段を通してパッケージ１２の下面に設けた流出口３２に導く流体流路７０と、パッケージ１２の外面に設けられ流量検出手段の電気出力が導かれる外部端子４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】変位測定範囲を増加させた可動ゲート型加速度センサを提供することにある。
【解決手段】複数のソース電極１７ａ，１７ｂとドレイン電極１８ａ，１８ｂの組みを設け、ソース電極１７ａ，１７ｂそれぞれにソース配線部１９ａ，１９ｂを接続し、ドレイン電極１８ａ，１８ｂそれぞれにドレイン配線部２０ａ，２０ｂを接続し、それぞれの組のチャネル形成領域２１の上方に矩形状の可動ゲート１５が共通に配置される可動ゲート型加速度センサとした。 （もっと読む）

【課題】 短時間で確実にデポ膜を除去することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 錘部と、錘部を開口部を挟んで囲むように配置された外枠支持部と、錘部と支持部とを連結する梁部とを備える半導体装置の製造方法であって、支持基板をエッチングして錘部と支持部とを形成する基板加工工程と、基板加工工程のエッチングで生じたデポ膜に接する錘部及び支持部各々の開口部側の側壁を変質させる変質工程と、変質工程後、側壁の変質箇所をデポ膜と共に錘部及び支持部各々から除去するデポ膜除去工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】1/fノイズを低減したMEMS又はNEMSセンサを提供する。
【解決手段】所定方向の力を検出するMEMS又はNEMS装置であって、支持部(4)と、測定される力の影響下で、この力の方向に移動可能な振動質量体であって、少なくとも1つの旋回軸リンクにより上記支持部に対して連結された少なくとも1つの振動質量体(2)と、この振動質量体の運動を検出する手段(10)と、上記旋回軸リンクの軸線(Z)と前記振動質量体に対する力の働きの重心(G)との間の距離を変化させることができる手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 小型で性能が高い受動素子を備えた半導体装置を実現する。
【解決手段】 インダクタ１３などの受動素子が形成された絶縁基板１１を、第１の回路１２と電気的に接続された第２の回路２２が形成された半導体基板２１と積層して一体的に形成した半導体装置１０を構成する。これにより、受動素子の配線と基板間の寄生容量を低減し、配線の相互干渉を低減することができるため、受動素子の性能を向上させることができる。相互干渉を低減することができるため隣接する配線の間隔を狭くすることが可能で、アンテナの構成要素としてのインダクタ１３の専有面積を小さくすることができるので、半導体装置１０を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。
【解決手段】封止ガラス１は中央に光学透過窓１１を有し、その周辺に遮光カバー１２ａが形成された遮光部１２を有する。光偏向器２をセラミック実装基板３のキャビティ３ａ内に配置し、セラミック実装基板３のキャビティ３ａを封止ガラス１によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ４ａ、４ｂはパッケージ内部にあって、光偏向器２のマイクロミラー２１から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓１１の極近傍に設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を実装する部材と信号入出力手段を設けている部材とが別部材となったパッケージ構造を有する半導体装置の構造を簡略にする。
【解決手段】マイクロフォン４１のパッケージを、カバー４４と基板４５によって構成する。カバー４４に設けた凹部４６内にはマイクチップ４２と回路素子４３を納めて凹部４６の天面に接着固定する。凹部４６の外側においてカバー４４の下面には複数個のボンディング用パッド４８を設ける。回路素子４３にボンディングワイヤ５１ａの一端を接続し、その他端をボンディング用パッド４８に接続する。基板４５は信号入出力手段として信号入出力端子５８を有しており、基板４５の上面には信号入出力端子５８と導通した接続電極５４がボンディング用パッド４８と対向して設けられている。基板４５とカバー４４は、接続電極５４とボンディング用パッド４８を導電性接着剤やハンダなどの導電性部材６０により接合される。 （もっと読む）

【課題】基準圧室としての空洞を基板の内部に設けることにより、低コスト化かつ小型化を実現可能な圧力センサを提供すること。
【解決手段】この圧力センサ１は、シリコン基板２を備えている。シリコン基板２の内部には、シリコン基板２の主面に平行な方向に平たい扁平空間４が形成されており、この扁平空間４とシリコン基板２の表面２１との間には貫通孔６が形成されている。貫通孔６にアルミニウム充填体８が充填されて埋め込まれることにより、扁平空間４は、基準圧室として密閉されている。そして、扁平空間４に対してシリコン基板２の表面２１側には、シリコン基板２におけるその表面２１と扁平空間４との間の部分（ダイヤフラム５）の歪み変形により電気抵抗が変化するピエゾ抵抗Ｒ１〜Ｒ４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルに電気信号を印加することによって可動体に発生する振動を機械的な制動機構を用いずに短時間に抑制することにある。
【解決手段】 反射ミラー１４を有する可動体１４が磁束の方向と直交する方向に配置されたトーションバー１３ａ，１３ｂに支持され、可動体の面部に施された駆動コイル２１に入力される電気信号レベルに応じて可動体が所定の振角で揺動するＭＥＭＳミラーにおいて、駆動コイル２１に電気信号を印加したとき、可動体やトーションバーの機械的要素に起因して当該可動体に発生する共振周波数の振動を検出し反転して駆動コイル２１と併設される振動抑制コイル３３に加えて抑制する振動抑制制御部３０を備えたＭＥＭＳミラー制御装置である。 （もっと読む）

【課題】パッケージへ伝達された熱や応力に対して安定した動作が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体加速度センサ装置１は、内部にキャビティ２１ｃを有するパッケージ２１と、所定の素子を有する半導体チップ１０と、上面の所定領域３２ａに半導体チップが固着されたスペーサ３２と、スペーサ３２の下面における所定領域３２ａ下以外の領域とキャビティ内のパッケージの底面２１ａとを接着する接着部３３とを備え、半導体チップに形成された第１電極パッド１６と、パッケージに形成され、少なくとも一部がキャビティ内部で露出された配線パターン２３と、パッケージの底面に形成され、配線パターンと電気的に接続された第２電極パッド２２と、第１電極パッドと、露出された配線パターンとを接続する金属ワイヤ２６とをさらに有する。 （もっと読む）

【課題】特性の良い機能素子を有する電子装置を製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】電子装置の製造方法によれば、基板１０の上方に機能素子２０を形成する工程と、機能素子２０を覆う層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃを形成する工程と、機能素子２０の上方であって、層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃの上方に第１被覆層４０を形成する工程と、第１被覆層４０に貫通孔４２を形成する工程と、層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃの上方および第１被覆層４０の上方に樹脂層５０を形成する工程と、貫通孔４２の上方の樹脂層５０に、貫通孔４２と連通する開口部５２を形成する工程と、貫通孔４２を通して機能素子２０の上方の層間絶縁層３０ａ，３０ｂ，３０ｃを除去し、空洞部３２を形成する工程と、貫通孔４２の上方に第２被覆層６０を形成して、貫通孔４２を塞ぐ工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】光スキャナを一度製造した後に光スキャナの構造または剛性を変更するなどの手間をかけずに所望の共振周波数を得ることが可能な光スキャナを提供する。
【解決手段】駆動信号生成部４０から駆動部４に駆動信号が供給される（Ｓ１）。駆動部４に駆動信号が供給されると、電流供給部５０から磁界発生部５に電流が供給される（Ｓ２）。電流が供給されると、共振周波数決定部７４により共振周波数が決定される（Ｓ３）。共振周波数が決定されると、判断部７６により決定された共振周波数が所望の共振周波数と等しいか否かが判断される（Ｓ４）。決定された共振周波数が所望の共振周波数でないと判断されると（Ｓ４：Ｎｏ）、磁界発生部５に供給される電流の絶対値が所定の微小幅分、増大される（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ装置が備える性能を十分に発揮しうる装置構成を採用しつつ、徒らに製造工程数が増加することを防止し、製造時間の短縮を図ることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上に設けられる有機絶縁膜３と、有機絶縁膜３上に、有機絶縁膜３よりも薄く形成される無機絶縁膜４と、無機絶縁膜４上に形成され、その内部にＭＥＭＳ素子５を中空に封止する中空封止構造体６と、有機絶縁膜３と無機絶縁膜４とを貫通して形成される貫通孔７と、貫通孔７に充填されて基板２に形成される電極とＭＥＭＳ素子５とを電気的に接続する導電性部材８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）