【課題】簡易な仕組みで、光偏向器の重心ずれを防ぎ、駆動時の他モードの出現、回転ずれなどを抑えることができる光偏向器を提供する。
【解決手段】可動板１１及び反射膜２１から構成されるミラー２と、可動板１１を支持するための支持枠１２と、可動板１１を回動可能に支持枠１２に連結する弾性支持部１３と、可動板１１に設けられた貫通孔にはめ込まれた磁石２２を備え、ミラー２の厚さ方向において、磁石２２とミラー２の中心が略同一平面上にあるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低コスト化を図りつつ、可動板を直交する第２の軸の周りに回動させるアクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状部材１４と、枠状部材１４をＸ軸周りに回動させる軸部材１５ａ，１５ｂと、可動板１１と、可動板１１をＹ軸周りに回動させる軸部材１３ａ，１３ｂと、枠状部材１４に設けられた永久磁石２０ａ，２０ｂと、可動板１１に設けられた永久磁石２０ｃと、電圧の印加により永久磁石２０ａ，２０ｂ，２０ｃに作用する磁力を発生するコイル３０とを備え、永久磁石２０ａ，２０ｂ，２０ｃは両極がＸ軸を挟んで配置され、Ｘ軸に対してθ（３０度＜θ＜６０度）の角度を有し、かつ磁極の方向が同じになるように配置される。電圧印加手段４０は周波数の異なる第１の電圧と第２の電圧を重畳した電圧をコイル３０に印加し、可動板１１は第１の電圧の周波数でＸ軸周りに、第２の電圧の周波数でＹ軸周りに回動する。 （もっと読む）

走査線投影システム（１００）は、高速の走査軸および低速の走査軸を有するスキャニングミラー（１１６）を含む。低速走査軸上の移動は、低速走査スキャニングミラー制御システム（１３０）によって制御される。制御システムは、ミラーの角度変位を記述する位置情報を受信する。制御システムの外側ループは、周波数領域で動作し、スキャニングミラー駆動信号のための高調波駆動係数を決定する。制御システムの内側ループは、時間領域において動作し、高調波駆動係数によって占められた周波数帯域の範囲内の周波数でスキャニングミラーの共振振動モードを補償する。 （もっと読む）

【課題】 正確に可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、可動部４の表面に設置され光の入射角度に応じて異なる色を反射する構造発色体８と、構造発色体８に光を照射する発光器９と、発光器９から照射され構造発色体８により反射された光を受光する受光器１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】構造体を異方性エッチングする際の補正エッチングマスクを配置するスペースをより小さくできて、シリコンウェハ上により多くの構造体を配置できる構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板を提供する。
【解決手段】構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板において、単結晶シリコン基板１００上に、凸部コーナーを持つ目標形状に対応する基本エッチングマスク１０３と、補正エッチングマスク１０７を形成する。補正エッチングマスク１０７の第１の部分は＜１１０＞方向に伸び、両方の端部が基本エッチングマスクに連結され、１つの端部が基本エッチングマスク１０３の凸部コーナーに連結される。第２の部分は、第１の部分の＜１１０＞方向に伸びる辺で第１の部分に接合し、第２の部分は１つの凸部コーナーを有し、開口部は、第１の部分と第２の部分が接合する境界を跨いで伸びる。 （もっと読む）

【課題】光反射部の変形を低減することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】板状の可動板２１１と、可動板２１１を回動可能に支持する一対の軸部材２１２、２１３と、一対の軸部材２１２、２１３を捩り変形させ、可動板２１１を回動させる駆動手段６とを備え、可動板２１１は、光を反射する光反射部２１１ａと、光反射部２１１ａと一対の軸部材２１２，２１３との間に配置される接続部２１１ｂ、２１１ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】結晶軸方位とエッチングマスクとの間にアライメント誤差があっても、加工寸法誤差の少ない構造体を形成可能なシリコンの加工方法、エッチングマスク付きシリコン基板等を提供する。
【解決手段】シリコンの加工方法で、主面が（１００）等価面１０３或いは（１１０）等価面である単結晶シリコン基板１００上に、マスクパターンを形成し、結晶異方性エッチングを施して、（１１１）等価面で構成され幅Ｗ１と長さＬ１を有する構造体を形成する。マスクパターンに、構造体の幅Ｗ１を決定する決定個所を持たせる。マスクパターンの幅Ｗ１の決定個所の幅は、幅Ｗ２を有する。マスクパターンの長さ方向にわたって、決定個所以外のマスクパターンの幅は、幅Ｗ２より大きい幅を有する。 （もっと読む）

【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）

【課題】反射面の変形を低減するとともに、捩れ以外の振動を抑制することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】板状の可動部２１１と、可動部２１１上に形成され、光を反射する反射膜２１１ａと、可動部２１１を支持部材に対してＸ軸周りに揺動可能に支持する軸部材２１１、２１３と、可動部２１１に配置されるリブ２１１ｄ、２１１ｅ、２１１ｆ、２１１ｇと、から成る振動系２１と、可動部２１１を支持部材２２に対して揺動運動させる駆動手段６と、を備え、リブ２１１ｄ、２１１ｅ、２１１ｆ、２１１ｇが、軸部材２１１、２１３に対し可動部２１１の一方の面の慣性モーメントと他方の面の慣性モーメントが等しくなるように、一方及び他方の面のそれぞれに配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ素子特性変動を抑制する半導体装置の構造及び製造方法を提供する。
【解決手段】
表面に、スイッチ素子構造体１０ａ及びスイッチ素子構造体１０ａを取り囲む段差部３０ｂが形成された半導体チップ２０ｂと、段差部３０ｂに接着剤７０ａによって接合され、かつスイッチ素子構造体１０ａを覆って形成された封止キャップ６０ｂと、を有する半導体装置９０であって、段差部３０ｂは底面及び側面を有し、段差部３０ｂと封止キャップ６０ｂとは、段差部３０ｂの底面及び側面と封止キャップ６０ｂとで接合されており、接着剤７０ａは、シリコーン系の樹脂であることを特徴とする半導体装置。 （もっと読む）

【課題】 小さな駆動力で可動ミラーが大きく揺動する光学装置を提供する。
【解決手段】 支持部１９，２１，２３，２５は、可動ミラー３６の裏面に当接し、可動ミラー３６の第１端部３２が基板１４に接近する向きに揺動する際の支点１８と、可動ミラーの第２端部４０が基板１４に接近する向きに揺動する際の支点２４を提供する。アクチュエータ３０，４２は、可動ミラー３６の第1端部３２と第２端部４０のうちの任意の一方を選択し、選択した側の可動ミラーの端部３２，４０を基板１４に近づける。連結部５２，５４，５６，５８は、(1) 可動ミラー３６が第１端部側支点１８を中心にして第２端部側支点２４から離反する向きに揺動し、(2) 可動ミラーが第２端部側支点２４を中心にして第１端部側支点１８から離反する向きに揺動する相対運動を許容する態様で可動ミラー３６を基板１４に連結している。 （もっと読む）

【課題】径方向空隙型の微小電気機械に適した４極以上の多極化へ対応可能で、かつ高速回転下での渦電流遮断性を備えたロータ磁石において、残留磁化Ｍｒが０．４２Ｔ〜０．７Ｔであり、さらにＭｒを高めること。
【解決手段】ロータ磁石５をＲ-ＴＭ-Ｂの結晶化により、磁気的に等方性であり、かつ残留磁化Ｍｒが０．９５Ｔ以上の着磁性に優れたナノ複合多結晶集合組織の厚膜積層体とし、必要に応じて、磁界中冷却による面内多極磁化を施す。特に、パルスレーザディポジッション(ＰＬＤ)を用いたナノ構造のマニュピュレーション技術によって、人工的に制御されたαＦｅとＲ-ＴＭ-Ｂとを１０^３層以上、交互に積み上げたナノ複合組織を有する厚膜を作製する。 （もっと読む）

【課題】微小な可動部を有する微小構造体を簡易に精度よく検査できる微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ検査装置１は、テスタ２と、プローバ３と、ステージ４と、プローブカード５と、磁石７と、パフォーマンスボード８と、テストヘッド９と、を備える。プローブカード５は、プローブ針６を備える。磁石７は、プローブカード５とテストヘッド９の間に、ウェハＷに対向するように設けられる。磁石７によって磁場が付与された中で、微小構造体の可動部に電流を印加することにより、磁束の方向と電流の方向に対して垂直にローレンツ力が作用する。微小構造体の可動部は強制的に動かされ、変位を与えられ続ける。その後、電流を遮断しローレンツ力を失わせ、微小構造体の可動部を変位させた状態から解放して自由振動させる。これが可動部のステップ入力になり、自由振動特性を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】チップによって規制されることなく、一対の静磁界発生手段を接近させて静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにしたプレーナ型電磁アクチュエータ。
【解決手段】枠部１と、枠部１に対してトーションバー２，２により回動可能に軸支された可動板３と、可動板３に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイル４とを備えたチップ５と、このチップ５のトーションバー２，２と平行な駆動コイル部分に静磁界を与える一対の静磁界発生手段６，６とをベース基板７上に搭載するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、ベース基板７にザグリ部９を設けて、チップ５をザグリ部９内に収納させ、チップ５の上面とベース基板７の上面とがほぼ面一となるようにし、互いに対向する一対の静磁界発生手段６，６を、可動板３を挟んでベース基板７の上面とチップ５の上面とに跨って載置する構成とした。 （もっと読む）

【課題】可動子の大変位が可能なムービングマグネット型の電磁駆動型アクチュエータの提供。
【解決手段】固定部２と、可動子１と、可動子１を固定部２に連結して支持する１又は複数の可撓性の支持部３と、可動子１に形成された永久磁石４と、永久磁石４の周囲に磁界を発生させるコイル５とを備え、コイル５が発生させた磁界により可動子１を変位させる電磁駆動型アクチュエータ。可動子１及び支持部３は、シリコン窒化膜により一体形成されており、永久磁石４は、ＲＥ₂ Ｆｅ₁₄ＢとＭとを交互に堆積させた多層膜構造を有する膜状の永久磁石である。但し、ＲＥは希土類金属元素の何れか１つ、ＭはＴａ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｚｒ及びＭｏの内の少なくとも１つ。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ又はＭＯＥＭＳ応用装置はＭＥＭＳまたはＭＯＥＭＳ素子の電気機械光学効果を機能の基とし構成される。電磁気力で駆動する微小構造体はその質量、形状、構造に起因する固有の機械共振特性を有し僅かのエネルギーで機械共振現象が誘起されその構造体の運動は駆動信号により制御されるべき運動から外れその位置を正確に定めることができなくなる。
【解決手段】電磁気力で駆動する微小面構造体の機械共振周波数特性の逆機械共振特性で駆動波に対し重み付け処理をほどこし該微小構造体を駆動することによりその機械共振特性を打ち消す。さらに時々刻々変化する微小構造体の実動作信号を二回時間微分して得られる残留共振応答成分を駆動信号に負帰還し微小構造体を駆動することにより残留共振応答にリアルタイムに制動をかける。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】可動子の揺動運動が安定し、ジッタの発生が効果的に抑制される光偏向器などとして構成され得る揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持された少なくとも1つの可動子105、109を含み、可動子の揺動時の渦気流を規制する渦気流規制部材111を備える。渦気流規制部材111は、可動子の揺動運動により回転軸から最遠の位置にある可動子109の端部が描く軌跡曲面の少なくとも一部に近接して伸びる近接面を有する。近接面は凹凸形状201、202を持つ。揺動体装置は光偏向器として構成される場合、1つの可動子109に光偏向素子108が設けられ、少なくとも1つの可動子105にトルクを印加して可動子を揺動させる駆動手段104、110が備えられる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術により構築が簡単な改良型トルク・モータを提供する。
【解決手段】ベースと、ベースから離れて延び、互いに離れて仮想多角形の隅部に配置され、電極内でそれぞれ終端する４つの極片と、極片の１つを囲むコイルと、ベース上に旋回可能に取り付けられ、その間に可変リラクタンス空隙を画定するように、電極の取り付けられた１つに向かって及びこれから離れて移動するように配置された部分を有する電機子と、ベース及び電機子の１つに取り付けられ、前記電機子の旋回軸に平行な方向に分極された永久磁石とを有し、少なくとも一部がＭＥＭＳ技術によって形成されたトルク・モータ。 （もっと読む）