【課題】小型化が図れ、大容量の電流のオン／オフを確実に行えるようにしたＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】シリコン基板１は支持部２を有し、支持部２には板状の磁性体３の一端が固定されている。磁性体３の他端の内側には絶縁層３ａを介して第１の接点４Ａが設けられ、第１の接点４Ａに対向させてシリコン基板１上に第２の接点４Ｂが設けられている。更に、磁性体３の内側には絶縁層３ａを介して第１の電極６Ａが設けられ、第１の電極６Ａに対向させてシリコン基板１上に第２の電極６Ｂが設けられている。マグネット１１がＡ位置からＢ位置へ移動すると、その磁力により磁性体３が吸引され、更に、第１，第２の電極６Ａ，６Ｂに印加された直流電源（＋Ｂ）によって静電吸引力が磁性体３に生じるため、第１，第２の接点４Ａ，４Ｂは確実にスイッチオンになる。 （もっと読む）

【課題】振動部と磁性体とを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部と磁性体とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能に支持された可動板２１と、可動板２１に設けられた磁石２１２と、磁石２１２の近傍で、通電により磁界を発生させるコイル２１２とを備えている。磁石２１２は、可動板２１に接合膜５ａを介して接合されており、接合膜５ａは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜５ａは、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜５ａの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜５ａの表面の領域に発現した接着性によって、可動板２１と磁石２１２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】可動板の撓みを抑制し、所望の回動特性を発揮することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、可動板２１を回動可能に支持する支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４とを有し、１対の連結部２３、２４を捩り変形させつつ可動板２１を回動させるよう構成されている。さらに、アクチュエータ１は、可動板２１の回動により発生する慣性力を相殺して可動板２１の撓みを抑制する撓み抑制手段５を有している。 （もっと読む）

【課題】質量除去もしくは質量付加のどちらか一方の調整工程により、２つの共振周波数が容易に調整可能となる範囲に調整することができ、歩留まりの向上を図ることが可能となる揺動体装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】２つの揺動体が第１と第２とによる共振周波数で駆動される揺動体装置の製造方法であって、
前記２つの揺動体の加工において、該２つの揺動体が一定のばらつき範囲で該２つの駆動共振周波数とは異なる第１と第２の共振周波数を有する揺動体として加工された際に、
前記２つの駆動共振周波数とは異なる第１と第２の共振周波数が、それぞれ調整可能な共振周波数範囲に入る第１と第２の共振周波数ｆ１とｆ２となるように、前記２つの揺動体を加工する第１の工程と、
前記ｆ１とｆ２を、前記ｇｆ１とｇｆ２に各々一致するように調整する第２の工程と、を含む構成とする。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の軸方向の応力が生じ難く、揺動運動による可動部の姿勢変化を抑制することができる揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、支持基板部102と、可動部101と、可動部を回転軸100回りで揺動可能に支持基板部に対して支持する弾性支持部104と、可動部を支持基板部に対し相対的にねじれ振動させる駆動手段とを有する。可動部101は、回転軸上にある一対の弾性支持部104を介して支持基板部102と結合される。支持基板部102は、弾性支持部104と支持基板部102との2つの結合点を通り且つ回転軸100に夫々垂直な2平面で挟まれた範囲内にある少なくとも1箇所で、固定部材105に位置決め固定される。 （もっと読む）

薄膜バルブ装置の本体のホールまたはチャンネルを、熱発生装置から発生する熱及び遠心力によって開閉する薄膜バルブ装置及び薄膜バルブ制御装置が提供される。該薄膜バルブ装置及び薄膜バルブ制御装置は、例えば、流体中の微量の物質を検出できる診断ラボオンチップと、蛋白質チップ及びＤＮＡチップのようなバイオチップが集積されている回転可能なバイオディスクなどに適用可能である。
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【課題】長寿命化及び応答速度の高速化を図り、しかも、被駆動体自体を変形させずに被駆動体の向きのみを変更することを可能にし、更には静定時間を短縮して駆動をより高速化する。
【解決手段】板状部材２の両端を脚部３を介して基板１に対して固定する。板状部材２は、基板１に対して固定された箇所間で撓み変形可能である。被駆動体であるミラー４が、接続部１１を介して、板状部材２の撓み変形可能な領域の所定部位に、局所的に機械的に接続される。板状部材２の中央部と対向する領域において、基板１上に固定電極５が設けられる。固定電極５とこれに対向する板状部材２の可動電極との間に電圧を印加して両者の間に静電力を発生させると、ミラー４自体は変形することなく、ミラー４の傾きが変化する。基体における板状部材２との対向領域が平坦化され、基板と板状部材２との間の間隔が狭められる。 （もっと読む）

【課題】揺動体の中立位置を調整して、それによる反射光ビームの照射位置の調整やそれと対象物間の距離の調整などを可能とした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、中立位置を挟んで揺動軸2の回りに揺動可能に支持された揺動体1と、駆動手段4、5、6と、位置調整手段4、7、8とを有する。駆動手段は、揺動体1を揺動軸2の回りに揺動させるための手段であり、位置調整手段は、揺動体1の中立位置を調整するための手段である。 （もっと読む）

【課題】
電磁駆動方式で２軸ミラーを駆動する従来のミラーデバイスは、可動ミラーの面内方向外側に磁場発生源である磁石を配置する構造であったため、デバイス全体が可動ミラーの面内方向に大きく、実装領域が狭い装置に実装することが難しかった。
【解決手段】
２軸の電磁駆動ミラーを用いたミラーデバイスにおいて、駆動に必要な磁石をミラー反射面の裏面に配置する。第一の基板に第一の梁を介して支持され、上記第一の梁を捻る方向に回転モーメントを与えることにより回転可能な可動枠と、上記可動枠に第二の梁を介して支持され、上記第二の梁を捻る方向に回転モーメントを与えることにより回転可能であり、上記可動ミラーの光反射面の裏面と対向する位置に磁場発生源を配置した。 （もっと読む）

【課題】構造簡単で小型化が容易であり、且つ消費電力が少なく、高精度の移動制御可能な蠕動型アクチュエータを提供すること。
【解決手段】一対の突出部６a, ６bを有する非磁性体よりなる保持枠体６と、保持枠体６に取り付けられ一対の離間した脚部１A,１Bの外側面が前記一対の突出部６a, ６bに当接せしめられた弾性ヨーク１と、弾性ヨーク１の脚部１A,１Bにそれぞれ巻装された励磁コイル２及び３と、一端が弾性ヨーク１の脚部１Aに固着され他端面が脚部１Bの内側面に対して所定の磁気ギャップを有するように対向配置されたアーマチュア４と、アーマチュア４に巻装された励磁コイル５と、弾性ヨーク１の両脚部を摺動可能に担持する磁性体よりなる案内レール７と、保持枠体６をレール７に向けて弾圧する弾機手段８とを備えている。アーマチュア４に吸引されて変形された脚部１Bの復元力により、ヨーク１は保持枠６と共に１ステップ歩進させられる。 （もっと読む）

ピクセルごとにメッシュ系変調器素子を有するピクセル化空間光変調器において、複素値を使用してコヒーレント波面を変調するために、実場所従属振幅及び場所従属位相を互いに独立して調整可能である。本発明は、規則的に構成されたピクセルアレイを有する複素値空間光変調器に関し、各ピクセルは制御可能な反射直線メッシュを具備する。各変調器素子において、ベースプレートに対する自立直線メッシュの相対運動により振幅と位相の変調は互いに独立して起こる。ベースプレートと直線メッシュとの離間距離（振幅変調のための通常調整）及びメッシュ平面自体における直線メッシュの横方向変位（位相変調）の双方がシステムコントローラにより変化されるように直線メッシュは懸垂され、且つ、支持される。従って、反射光は互いに独立して変調される。本発明は、複素値を使用して波面を変調する方法に更に関する。光変調器は光学技術に基づく分野で使用可能である。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の軸部材２３、２４とを有している。また、アクチュエータ１は、可動板２１の下面側に設けられた永久磁石５１とコイル５２とを有している。永久磁石５１は、回動中心軸Ｘと異なる方向に磁化されている。また、永久磁石５１は、コイル５２の内側に位置している。 （もっと読む）

【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を備えた減圧封止が可能な構造を構成し、揺動体のジッタを低減する一方、揺動体の制御性を保持することが可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、
前記筐体には、該筐体の内部から外部に気体を通す逆止弁が一つ以上設けられ、
前記逆止弁によって減圧封止した前記筐体の内部に前記揺動体を配設することによって、該揺動体のジッタを低減する一方、制御性が保持可能とされた構成とする。 （もっと読む）

【課題】磁気障壁通路又は反磁気障壁流路に沿って流す流体の流体制御を簡単な構成で高精度に行うことができる。
【解決手段】基板１２に配設された細線状の磁性体材料２２に対して外部磁場を印加することにより磁性体材料２２に沿った磁気障壁通路を形成し、該磁気障壁通路に沿って磁性流体Ａ，Ｂを流通させる。この流通において、磁性体材料２２の途中を断線させる断線工程と、断線した通路断線部３４を通路断片３６で結線させる結線工程と、により、磁気障壁通路に沿って流れる磁性流体Ａ，Ｂの流通を制御する。 （もっと読む）

【課題】可動板の直交二軸回りの回動の安定性を確保可能にする。
【解決手段】固定部６に外側トーションバー７で回動可能に軸支された枠状の外側可動板１と、外側可動板１に外側トーションバー７の軸線と直交する内側トーションバー８で回動可能に軸支された内側可動板２と、外側可動板１にその縁部に沿って外側トーションバー７の軸線に対して略対称に設けられ互いに同相の駆動電流が通電される一対の外側駆動コイル３と、内側可動板２にその縁部に沿って内側トーションバー８の軸線に対して略対称に設けられ互いに同相の駆動電流が通電される一対の内側駆動コイル４と、内側可動板２の上下面のどちらか一方側に離隔して設けられ、各駆動コイルに各可動板の内から外の一方向に交差する静磁界Ｂ_１〜Ｂ_４を発生する静磁界発生手段５と、を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整するに当たり、簡単な構成により、低コストで精度良く揺動体の質量を調整することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、該揺動体装置を用いた光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】固定部に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された揺動板を備え、該揺動板を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置であって、
前記揺動板は、該揺動板の質量を調整する溝部を形成する領域を有し、該領域への溝部の形成によって前記揺動体の共振周波数が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】共振振動数の温度変動が少なく、低電圧駆動が可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー振動子１０のミラー部材１に永久磁石４が固定される。ミラー振動子１０及び永久磁石４は上下カバー２１，２２により包囲され、外部から熱的に隔離される。上下カバー２１，２２の外側に駆動用の電磁石３０が配置される。電磁石３０の熱、その他の熱源の熱は、ミラー振動子１０及び永久磁石４に伝わりにくいため、ミラー振動子の共振周波数の温度変動が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】揺動体の重心バランスが良好に設定され、高い信頼性と性能の均一性を有した振動型アクチュエータなどの揺動体装置を高い生産性で製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】弾性支持部202aにより可動に支持された揺動体203aを備える揺動体装置の製造方法は、次の工程を有する。各々の揺動体装置の揺動体203a同士が連結するように揺動体装置の揺動体203aと弾性支持部202aを同一の基板101を加工して形成する工程。連結している各々の揺動体装置の揺動体203aにまたがって磁性体204aを形成又は設置する工程。連結している揺動体203aと各々の揺動体203aにまたがって形成又は設置された磁性体204aとを同時に切断・分離する工程。 （もっと読む）

【課題】エラストマーバルブの構造体製造方法を提供する。
【解決手段】微細製作モールドの頂部上で第一エラストマー層を形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第一エラストマー層２０の底部表面に沿って延びる第一凹部を形成する第一隆起突出部を有する、工程；第二エラストマー層２２を微細製作モールドの頂部上に形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第二エラストマー層２２の底部表面に沿って延びる、第二凹部を形成する第二隆起突出部を有する工程；該第二エラストマー層２２の底部表面を、該第一エラストマー層２２の頂部表面上へ結合し、その結果、制御チャネルが、該第一および第二エラストマー層２０の間の第二凹部中に形成される工程；および平坦基板の頂部上の該第一エラストマー層を位置決めし、その結果、フローチャネル３２が該第一エラストマー層２２と該平坦基板との間の該第一凹部中に形成される工程、を包む。 （もっと読む）