【課題】形状の自由度が高く、薄型化・軽量化が容易で、配線形成コストが低く、且つ、寸法変動が小さい振動ミラー用台座およびこれを用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を走査して被投影面に映像を投影する振動ミラーと、該振動ミラーを支持する台座とを備える光走査装置において、台座を液晶ポリエステルから構成する。台座の成形方法としては、例えば射出成形を使用することができるが、他の方法でもよい。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

本発明は、複合プラスチック物品、およびそれらを作製する方法を提供する。物品は、流体導管と、オプションで、流体導管の中の流量を調節する空気圧導管とを有する流体またはマイクロ流体デバイスであり得る。物品は、反応基を含む、またはその上に反応基が導入されている層でコーティングされる、第１の基板を備える。例えば、基板は、その上にヒドロキシル基が導入される酸化物またはシロキサンでコーティングされたプラスチックであり得る。これらの物品は、それらの表面上に反応基、例えば、シラノール基を有するように処理されたポリシロキサンを含む、他の物品と共有結合される。ある物品は、他の断片に結合されていない、それらの表面上の特定の場所を有する。例えば、コーティングは、結合する前にこれらの場所から除去することができる。そのような場所は、マイクロ流体デバイスの弁の中の弁座等の種々のデバイスの機能的要素として有用であり得る。
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【課題】可動板と捻り梁との接合部における応力による可動板のたわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光反射性を有する反射鏡４２が設けられた可動板４１と、支持枠４４と、可動板４１を支持枠４４に対して回動可能に連結する弾性支持梁４３と、可動板４１の反射鏡４２と反対の面側に設けられた磁石３７とを備え、弾性支持梁４３は、可動板４１の回動軸Ｘに垂直な断面で見たときに、幅が反射鏡４２側から磁石３７側に向けて漸次増加する形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】被走査面上の走査位置による反射光の明るさの差異を低減させることのできる光学デバイス、光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を反射する光反射部材２１と、光反射部材２１を軸Ａ回りに揺動可能に支持する支持部材２６とを有し、光反射部材２１が揺動することにより、光反射部材２１によって反射された反射光を被走査面上に走査可能な走査部２と、被走査面上における反射光の所定方向の走査速度を変更するために、走査部２の被走査面に対する空間的位置を変更するアクチュエーター３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】堅牢性および信頼性を向上させた回転軸を形成する可動部品を備えるマイクロシステムまたはナノシステム用電気機械部品の製造方法を提供する。
【解決手段】バーを有する少なくとも１つの固定部と、前記バーの少なくとも一部の周りを回転する少なくとも１つの可動部を備えたマイクロ電気機械システムの製法であって、少なくとも１本のバーとなる少なくとも１つの所定の材料からなる層を支持体上に形成する工程ａ）と、少なくとも１枚の第１グラフェンシートと、該第１グラフェンシートから離間してこれに対して可動とされた少なくとも１枚の第２グラフェンシートとを含む複数枚のグラフェンシートを前記バーの周りに形成する工程ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第１電磁石と、第２電磁石とを備えている。このミラー部は２軸駆動型であって、第１磁性体および第２磁性体を備えている。第１電磁石と第２電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

本発明は、ある軸（１１）を中心に回転できる可動プレート（１）であって、この回転軸（１１）に対して当該プレートの両側部に整列配置された２つのアーム（７，９）により静止フレーム（３）に連結され、外周部に導電性のループ（１３）を備える可動プレート（１）と、静止フレーム及び可動プレートにより形成された組立体の下側に、フレームの面において、可動プレートに関し、回転軸に対して斜めである横向きの磁場（５７）を形成するような態様で配列された、それぞれ異なる磁気方向を有する複数の磁石（５１，５３，５５）からなる磁石集合体と、を備える電磁駆動型マイクロシャッターに関する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの一方向への揺動と他方向への揺動とが異なる種類の駆動方式により行われる異種駆動方式の構成を有する、高精度な駆動制御が可能な２次元光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部２と一対の第１駆動部３Ａ、３Ｂとを有する可動部４と、第２駆動部５と、基台６と、設置部７と、を備える。第１駆動部３Ａ、３Ｂが圧電駆動方式により駆動され、可動枠４２に軸線ＡＸ１を節とする定在的な波形の変形が生じる。第２駆動部５が電磁駆動方式により駆動され、外枠４３がＺ軸方向に運動し、可動部４は、軸線ＡＸ２回りに揺動する。この結果、ミラー部２が軸線ＡＸ１回りに揺動されつつ、可動部４が軸線ＡＸ２回りに揺動されることで、光スキャナ１は、ミラー部２の反射面２１に入射した光束を反射して、２次元走査する。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動マイクロツールの動きを正確に制御することができる磁気駆動マイクロツールの駆動機構およびマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】電磁石から成る磁力発生体２１を有している。磁力発生体２１は、電磁石に交流電流を流して周期的に極性を反転し、磁性を有する磁気駆動マイクロツール１２に磁力を作用させるよう構成されている。電磁石は、芯の少なくとも一方の端部に、コイルの端部から突出して、芯の長さ方向に沿って筒状または柱状に形成された突出部２１ａを有していてもよい。また、磁力発生体２１と磁気駆動マイクロツール１２との間に配置された、透磁率の大きい材質から成る薄膜２２を有していてもよい。 （もっと読む）

【課題】動作不良の発生が抑制され且つ製造時において製造プロセスで使用する薬品による損傷を低減できるマイクロリレーを提供する。
【解決手段】マイクロリレーは、厚み方向の一表面側に２対の固定接点１４，１４が設けられたベース基板１と、シリコンにより形成され且つベース基板１の前記一表面側に配置された蓋体１７と、シリコンにより形成された可動基台３０ａおよびＦｅ系の磁性体により形成された磁性体部３０ｂからなるアーマチュア３０を有するアーマチュアブロック３とを備える。磁性体部３０ｂと蓋体１７とには、最表面に白金族元素であるＲｈ、Ｒｕ、Ｉｒのうちのいずれか１種類の金属が露出し磁性体部３０ｂと蓋体１７との接触を防止する第１の保護膜５１と第２の保護膜５２とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】相互嵌合電極を備えた電気機械アクチュエータを提供する。
【解決手段】静電気的に作動する電気スイッチのようなアクチュエータが提供される。このスイッチは、そのスイッチの可動要素の一部分を形成する第１組の導電プレートＰＭを含み、この第１組の導電プレートＰＭは、基板の一部を形成する１組の導電プレートＰＦと相互に嵌合される。第１組の導電プレートＰＭ、ＰＦとは原則として基板１０の表面に対して垂直である。第１組の導電プレートＰＭ、ＰＦは高さ方向において部分的に重なり合い、第１組の導電プレートＰＭ、ＰＦの間に制御電圧を印加すると、可動要素の導電プレートＰＭを基板１０に近接するように動かす垂直力が生じる。可動要素の導電プレートＰＭは、これらの導電プレートＰＭの端部を結合する導電性の端部クロス部材２２、２４によって相互に連結され、それによって、定置の導電プレートＰＦを側面から囲繞する形になる。 （もっと読む）

【課題】簡単に作成される封入装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも微小空洞の一部を構成することのできる封入膜１２を備え、支持体１０上に形成される前記微小空洞内に素子を封入するための装置に関し、この装置は、封入膜を支持体に機械的に装着する少なくとも１つの腕を備え、この腕は、封入膜が封入される素子の上に覆い被さり、その周縁が、封入される素子の周りに広がる開口を構成する開放位置と、この開口を塞ぐため、封入膜の周縁が支持体上に配置される閉塞位置との間で膜を移動させるために曲がることができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生を防止することができる光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置を提供する。
【解決手段】可動板１１と、一端が可動板１１と連結され、回転軸Ｘの周りに可動板１１を回動可能に支持する弾性支持部１２と、弾性支持部１２の他端と連結された支持部材１３とを備え、弾性支持部１２、支持部材１３は、上面、下面、及び側面を有し、側面は、上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、弾性支持部１２、支持部材１３の上面、下面、及び側面に、光吸収膜３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で可動板の撓みを抑制することができるとともに、迷光の発生を抑制することができ、被投影面に所望の画像を高品質に描画することのできる光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナ１は、一方の面側に光反射性を有する光反射部２１１を備える可動板２１と、可動板２１を支持する支持部２２と、支持部２２に対して可動板２１を回動可能とするように、支持部２２と可動板２１とを連結する一対の連結部２３、２４とを有し、可動板２１には、可動板２１の回動による光反射部２１１の撓みを抑制する貫通孔２５、２６が形成されおり、貫通孔２５、２６は、可動板２１の光反射部２１１と反対側の面から光反射部２１１側の面に向けて横断面積が漸減するテーパ状をなしている。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）