小さい流体体積を取り扱うための磁気的に駆動されるマイクロポンプ。マイクロポンプは第一のチャンバ及び第二のチャンバを含む。可撓性膜は第一のチャンバと第二のチャンバの間に配列される。可撓性膜は、膜を変位させるためのアクチュエータに磁気的に連結される。 （もっと読む）

【課題】可動板を複数配列して構成した小型で安価なプレーナ型電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状に形成された一つのヨーク部材５の内側に、固定部１に夫々トーションバー２で回動可能に軸支され、間に少なくとも前記固定部１を介在させた状態で少なくとも一列に整列配置された複数の可動板３と、該各可動板３の周縁部に沿って敷設した駆動コイルと、前記複数の可動板３を間にして互いに反対磁極を対向させて前記固定部１の外側に設けられ、前記複数の可動板３の前記トーションバー２の軸線に平行な対辺部近傍の前記駆動コイル部分に静磁界を作用する一対の静磁界発生手段４と、を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】高周波信号の伝送ロスを低減でき、しかも容易に作製できる配線構造およびＭＥＭＳリレーを提供する。
【解決手段】配線構造は、基板よりなるベース２０と、ベース２０の一表面側に形成された伝送線路１０と、伝送線路１０の周囲に配置され且つ伝送線路１０から電気的に絶縁された接地線路１１と、伝送線路１０を挟み込むように伝送線路１０の幅方向の一端側および他端側にそれぞれ設けられ且つベース２０を厚み方向に貫通した第１孔部２４および第２孔部２５とを備える。接地線路１１は、第１孔部２４の内側に形成された第１導電部１１０と、第２孔部２５の内側に形成された第２導電部１１１と、ベース２０の他表面側に形成され第１導電部１１０および第２導電部１１１に接続された第３導電部１１２とを有する。各孔部２４，２５は、伝送線路１０の幅方向に沿った長さが、他表面側の方が一表面側よりも大きくなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】例えばアクチュエータが組み込まれたアクチュエータ組立体を製造する際に、当該アクチュエータをフレームから容易かつ確実に分離することができ、また、この分離したアクチュエータの位置決めを容易かつ確実に行なうことができるアクチュエータおよびアクチュエータ連結体を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ２は、フレーム１０に固定されており、板状の可動板２１と、可動板２１を支持する支持板２２と、可動板２１と支持板２２とを連結し、支持板２２に対し可動板２１を回動可能に支持する回動軸２３、２４とを備えるものである。このアクチュエータ２の支持板２２は、その外周部の一部に形成され、可動板２１側に向かって凹没する凹部２２６を有している。凹部２２６は、フレーム１０に対して、脆弱な破断部２７を介して連結されており、破断部２７を破断することによりフレーム１０から分離される。 （もっと読む）

【課題】磁性光硬化樹脂を用いて作成した回転構造体およびそれを使用した磁気駆動マイクロチュエータを提供する。
【解決手段】磁気駆動マイクロアクチュエータは、磁性光硬化樹脂を用いて光造形法によって実際に作製された回転子と、この回転子の周りに配置した電磁コイル対とから構成され、電磁コイル対で回転磁場を印加することにより回転子を回転させることを特徴としている。このアクチュエータによれば、微小流量を連続流で送液可能なマイクロスクリューポンプおよび狭所空間を移動する泳動マクロマシン等を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】可動部の軽量化を十分に図ることが可能な光走査装置用揺動ミラー、及び、該光走査装置用揺動ミラーを備える光走査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】固定部３１ａ、３１ｂ、可動部３２、及び、固定部３１ａ、３１ｂに対して可動部３２を揺動可能に支持する支持部３３ａ、３３ｂを有する基板３と、可動部３２の一方の面側に設けられるミラー部４と、可動部３２とミラー部４との間に介装される平面コイル５とを備えることを特徴とする光走査装置用揺動ミラー２、及び、該光走査装置用揺動ミラー２を備える光走査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】高周波信号の伝送ロスを低減することができ、しかも容易に作製することができる配線構造およびＭＥＭＳリレーを提供することにある。
【解決手段】配線構造は、ベース２０と、機能部３０と、カバー４０とを有するＭＥＭＳデバイスに設けられ、伝送線路１０を囲う接地線路１１を含む。接地線路１１は、ベース２０における伝送線路１０の幅方向の一端側の凹所２４及び他端側の凹所２５の内側に形成される第１の導電部１１０及び第２の導電部１１１と、カバー４０における伝送線路１０との対向面に形成される第３の導電部１１２と、機能部３０に設けられ第１の導電部１１０と第３の導電部１１２とを接続する第４の導電部１１３および第２の導電部１１１と第３の導電部１１２とを接続する第５の導電部１１４とで構成される。 （もっと読む）

本発明は、磁性粒子を含み相当の表面張力を有する液体用の疎水性弁に関するものである。このデバイスは、各々が機能化された表面を備える少なくとも２つの平坦な固体基板を有し、少なくとも第１の固体基板は少なくとも１つの疎水性領域により互いに分離された少なくとも２つの親水性領域を持つパターン化された表面を有する。上記２つの平坦な基板は互いに或る距離を隔てて、前記機能化された表面が互いに対面するようにサンドイッチ状に平行な態様で配置される。当該弁は更に磁気アクチュエータを有する。
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【課題】微小電気機械（ＭＥＭＳ）加速度計および加速度検出方法を提供する。
【解決手段】ハウジング４４と、ねじれ屈曲部４６、４８、５０、５２によりハウジング４４内に吊るされるプルーフマス４２と、ねじれ磁気再平衡要素として、プルーフマス４２上の平面コイル６０および磁石６６を有する。平面コイル６０は、ねじれ屈曲部を中心とするプルーフマス４２の回転軸の両側に延び、磁石６６は、Ｎ−Ｓ軸がプルーフマスの４２回転軸にほぼ垂直になるように方向付けられる。ＭＥＭＳ加速度計内のピックオフの容量の変化を検出し、平面コイルに電流を通じることでＭＥＭＳ加速度計を再平衡させる。 （もっと読む）

半導体基板（２１０）上に形成されたマイクロまたはナノ電気機械トランスデューサデバイス（２００）は、作動構造の作動に応答して運動可能に構成された可動構造（２０３）を有する。可動構造（２０３）は、第１熱応答特性を有する少なくとも１層の機械層を備えた機械構造（２０４）と、第１熱応答特性とは異なる第２熱応答特性を有する作動構造（２０２）の少なくとも１層と、少なくとも１層の熱補償層を備えた熱補償構造（２０６）とを含んでいる。熱補償構造（２０６）は、少なくとも１層の作動構造（２０２）とは異なり、可動構造（２０３）の運動が実質的に温度変化には依存しないように、機械層（２０４）と作動構造（２０２）とによって生み出される熱効果を補償するように構成されている。
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【課題】 可動部に別部材を搭載することなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部と、固定部の内側に可動自在に支持され駆動手段により駆動される第１可動部６と、第１可動部６の振動が伝達される振動位置に設置され、第１可動部６の駆動周波数と同一の共振周波数を有する振動体７と、振動体７の振動を検知する検知手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造を有し、かつ、確実にバルブの開閉が行えるマイクロバルブ機構を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路５を有し、少なくともマイクロ流路５上部の一部（バルブ領域Ａ）が弾性部材からなる流体素子チップ３と、流体素子チップ３上の弾性部材部に立設された圧力制御ポート２とを備え、圧力制御ポート２を介して圧力を給排することにより開閉を行うマイクロバルブ機構１とした。 （もっと読む）

【課題】例えば複数の機構デバイスを積層した回路を形成する場合に、より簡単に機構デバイスを実装することができる実装方法等を得る。
【解決手段】少なくとも２つの外部接続端子を有する機構デバイス１０７を、基板１０１の一定方向に配置して実装する機構デバイスの実装方法であって、機構デバイス１０７を実装する位置に合わせて各外部接続端子と配線とを電気的に接続するためのはんだ付けパット１０４、１０５を、平板の基板１０１の両面にそれぞれ設ける工程と、機構デバイス１０７の大きさに合わせて、基板に貫通穴又は開口部分によるデバイス搭載エリアを形成する工程と、貫通穴又は開口部分の側壁部分に機構デバイス１０７を載置する工程と、載置した機構デバイス１０７をはんだ１０８で固定する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造を有し、かつ、確実にバルブの開閉が行えるマイクロバルブ機構を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路５を有し、少なくともマイクロ流路５上部の一部（バルブ領域Ａ）が弾性部材からなる流体素子チップ３と、流体素子チップ３上の弾性部材部に立設された圧力制御ポート２とを備え、圧力制御ポート２を介して圧力を給排することにより開閉を行うマイクロバルブ機構１とした。 （もっと読む）

【課題】装置全体の温度が変化した場合であっても、可変形ミラーを所望の形状に変形することができる可変形ミラー装置を得る。
【解決手段】可変形ミラー１と、先端部が可変形ミラー１の裏面に向かって設けられ、駆動することで可変形ミラー１を変形させるアクチュエータ２と、可変形ミラー１の裏面に接合され、磁性体から構成された接合パッド４と、アクチュエータ２の先端部に設けられ、磁力によって接合パッドを引き付ける接触アタッチメント５とを備え、可変形ミラー１の線膨張係数と接合パッド４の線膨張係数とがほぼ同等である。 （もっと読む）

【課題】構造体の駆動波を構成する各周波数スペクトル成分の振幅・位相を各々独立に設定し、駆動信号がアンプやフィルタなどの電子回路を通過する際に生じる時間遅れまたは位相回転の結果生じる駆動信号波形の鈍り、ノイズ成分の増加の問題を回避する。
【解決手段】駆動する微小面構造体の機械共振周波数特性の逆機械共振特性で駆動波に対し重み付け処理をほどこしその周波数特性の時間軸上の波形で該微小構造体を駆動することにより、その機械共振特性を打ち消し過度の応答のない所望の駆動動作結果を得る。さらに時々刻々変化する微小構造体の実動作信号を二回時間微分して得られる残留共振応答による成分を駆動信号に負帰還し新たな駆動信号とし微小構造体を駆動することにより残留共振応答にリアルタイムに制動をかける。 （もっと読む）

【課題】大幅な低コスト化を可能とする光偏向ミラー、光偏向ミラーの製法、光偏向器を提供する。
【解決手段】光ビームを偏向するための光偏向ミラーであって、基板４の表面が光反射性を有し、裏面にポリマー材料を主成分とする樹脂皮膜５が形成されたミラー部１と、ミラー部１に設けられ、樹脂皮膜５の突出部からなるトーションバー２と、トーションバー２に連結された固定部３とを有し、ミラー部１は磁気感受性を有し、トーションバー２はミラー部１を傾動自在に支持する。基板４の表面で光を反射でき、基板４が磁気感受性を有するので、電磁石で基板を傾動させることができる。トーションバー２の材料がポリマーを主成分とする樹脂を主成分とする樹脂であるから柔軟性があり、小さな駆動源で傾動できる。基板４の表裏両面とも、フォトリソグラフィ技術によるパターニングと、ウエットエッチングにより製造でき、光偏向ミラーを廉価に製造できる。 （もっと読む）

【課題】感度を改良し、大きな信号対雑音比および低電力の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）加速度計および加速度検出方法を提供する。
【解決手段】ヒンジタイプの屈曲部４４により吊るされるプルーフマス４２と、プルーフマス４２上に位置する平面コイル４６、４８と、コイルの平面に対して約３０°から約６０°の間の範囲の磁束角度で、磁束場がコイルを通るように位置決めされる磁石５０，５２とを有する。例示的な一実施形態において、この角度は４５度である。磁石は、プルーフマス４２の第１側部側に位置する第１環状磁石５０と、プルーフマス４２の第２側部側に位置する第２環状磁石５２とを備える。ＭＥＭＳ加速度計のピックオフのキャパシタンスを検出し、平面コイル４６、４８に電流を伝達することによりＭＥＭＳ加速度計を再平衡させる。 （もっと読む）

【課題】可動部を固定部に対して一対のトーションバーで揺動可能に軸支するアクチュエータを、高調波成分を含む波形の駆動信号で駆動する場合に、高調波成分に起因する可動部の共振振動を抑制する。
【解決手段】波形データを格納する波形メモリ１と、可動部の振れ角情報に基づいて駆動信号の振幅を演算する振幅演算部２と、振幅演算部２からのデジタル駆動信号をアナログ駆動信号に変換するＤ／Ａ変換器３と、可動部が共振振動する共振周波数成分を前記アナログ駆動信号から除去するノッチフィルタ４と、ノッチフィルタ４のフィルタ出力に基づいて可動部に駆動信号を供給する駆動信号供給部５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】簡易な仕組みで、光偏向器の重心ずれを防ぎ、駆動時の他モードの出現、回転ずれなどを抑えることができる光偏向器を提供する。
【解決手段】可動板１１及び反射膜２１から構成されるミラー２と、可動板１１を支持するための支持枠１２と、可動板１１を回動可能に支持枠１２に連結する弾性支持部１３と、可動板１１に設けられた貫通孔にはめ込まれた磁石２２を備え、ミラー２の厚さ方向において、磁石２２とミラー２の中心が略同一平面上にあるように配置されている。 （もっと読む）