【課題】確実に、内部空間（可動板が設けられている空間）の気密性を確保することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること
【解決手段】アクチュエータ１は、内部空間Ｓを画成する壁部を有するパッケージ２と、内部空間Ｓに回動可能に収容された可動板３２と、可動板３２の一方の面側に設けられた永久磁石４１と、コイル（駆動用コイル４２、挙動検知用コイル５１）とを有し、前記コイルは、少なくとも一部がパッケージ２の壁部に埋設されており、永久磁石４１と対向するように、または永久磁石４１が内側に位置するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータチップの向きを適正に認識することができ、実装作業を容易にかつ確実に行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、固定部２に形成され少なくとも上下方向が認識できる認識部５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】反射部以外での光の反射を防止できる光偏向器を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結された支持部材３０を備え、弾性支持部２２の表面に光吸収膜２３が、支持部材３０の表面に光吸収膜３３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミラーと弾性支持部を連結するための接着剤が、弾性支持部へ付着してばね定数が変化することを防止する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、磁石４０を介して可動板１０取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２と、を有する軸部材２０と、を備え、取付部２１は、取付面に、溝内に接着剤２５が存在する溝２３と、接着剤２５が存在しない溝２４を有しており、溝２４は溝２３よりも弾性支持部２２に近い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 検出コイルの設置スペースを大きく確保することができ、Ｓ／Ｎ比を増大させて可動部の正確な位置検出を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー５を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部６と、可動部６に設置され可動部６を駆動するための渦巻き状に形成された駆動コイル７と、駆動コイル７のコイル配線の間に沿って設置され可動部６の動作を検出する検出コイル９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】可動部の揺動を検出するためのピエゾ抵抗素子によってトーションバーの幅が制約されることがなく、かつ、可動部の揺動に伴ってピエゾ抵抗素子の抵抗値を大きく変化させて、高い検出精度が得られるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、枠状の固定部２と、一対のトーションバー３ａ，３ｂと、可動部４とを備え、前記可動部４は、前記一対のトーションバー３ａ，３ｂを介して前記固定部２の開口部に揺動可能に支持される。前記固定部２のトーションバー３ａが接続される部分、及び、固定部２のトーションバー３ｂが接続される部分に、トーションバー３ａ，３ｂの軸を挟んで、ピエゾ抵抗素子１０ａ〜１０ｄを配置する。そして、ピエゾ抵抗素子１０ａ〜１０ｄの抵抗値変化によって出力電圧が変化するブリッジ回路を構成し、ブリッジ出力から前記可動部４の揺動を検出する。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】可動板の質量を増やすことなく、配線が比較的な動歪補正手段を備えた光偏向器を提供する。
【解決手段】可動板２０１の裏面に動歪補正手段として、動歪補正用圧電素子２２０、２３０、２３１を設ける。そして、駆動梁２０４の裏面の駆動用圧電素子２１０の上部電極、下部電極をトーション梁２０３を通し、動歪補正用圧電素子２２０の上部電極、下部電極には電極逆転部２４０、２５０を介して接続し、動歪補正用圧電素子２３０、２３１の上部電極、下部電極にはそのまま接続する。可動板２０１上の動歪は、トーション梁２０３と平行な方向では駆動梁２０４の反り変形と同じ方向に発生し、トーション梁に直交する方向では駆動梁２０４の反り変形と逆方向に発生する。該動歪は、駆動用圧電素子２１０と同位相及び逆位相で動歪補正用圧電素子２２０、２３０を駆動することで軽減される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】水平駆動ミラーを形成すると共に、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは２つ以上の支持要素を介してフレーム構造（３）に接続し、このフレーム構造に対して水平方向に動作するミラープレート（１）を含むマイクロメカニカルミラー構造であって、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは全ての支持要素（２）とミラープレート（１）との接続領域（４）を、ミラープレートの外側縁（５）からミラープレートの中心（６）の方へと内側にオフセットさせて配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバー(52)を介してミラー部がフレーム(53)に対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、
上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)を備え、この二つの層の屈折率を異ならせて交互に積層した積層構造から構成される応力制御反射層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】対をなす作用点どうしの距離を短くでき、作用点の駆動力を大きくすることができ、さらに１部材によって作製可能にすることのできるバネの構造を提供する。
【解決手段】作動部材６３は第１の支持軸６５によって中央近辺を回動自在に支持されている。作動部材６３の左右両側には、支持軸６５を挟んで両側にそれぞれ連動部材６４ａ、６４ｂが配置されている。連動部材６４ａ、６４ｂは、第２の支持軸６９によって回動自在に支持され、また作動部材６３に回動自在に連結されている。支持軸６９は作動部材６３と６４ａ、６４ｂの連結箇所よりも支持軸６５に近くなっており、支持軸６９よりも支持軸６５に近い箇所に作用点部分７０が定められている。 （もっと読む）

本発明は、マイクロシステム技術を用いて構成された容積型ポンプに関し、好ましくは、真空ポンプとして用いられる容積型ポンプに関する。
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【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】磁束を導いてＭＥＭＳデバイスを通過させるための磁極片の使用を提供すること。
【解決手段】磁性材料で充填された１つまたは複数の凹部（１２２、１３０）をそれぞれが有する、２つの対向する基板層（１２８、１２４）が、閉ループ動作をもたらすために、磁束の流れを導いてＭＥＭＳデバイス層（６０）内のコイル（４４）を通過させる。磁束は、１つの磁極片からコイルを通過して第２の磁極片へ流れる。また、リソグラフィ・エッチング技術を用いた製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】インピーダンスの不整合を抑制する伝送線路を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ構造体に用いられる伝送線路であって、伝送線路は、対向する第１の主表面Ｆ１及び第２の主表面Ｆ２を有し、且つ第１の主表面Ｆ１に第１の凹みＣａ１が形成された誘電体基板２１と、第１の主表面Ｆ１上及び第１の凹みＣａ１の内部に配置され、且つ高周波を伝送する信号配線１０とを備える。第１の凹みＣａ１の側面の少なくとも一部は、当該側面の法線が第１の主表面Ｆ１の法線に対して鋭角に交わる傾斜面ＷＡ１を成す。信号配線１０の一部１０ａは傾斜面ＷＡ１上に配置されている。傾斜面ＷＡ１上に配置された信号配線の一部１０ａは、第２の主表面Ｆ２上に配置された裏面電極１３に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 厚さ寸法の異なるトーションバーまたは可動部を簡単にしかも高い精度で形成することのできるプレーナ型アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンからなる第１のウェハ１０の裏面側からエッチングして、トーションバー３，５または可動部４，６の少なくとも一方に対応する部位をトーションバー３，５または可動部４，６に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、第１のウェハ１０の裏面側に、シリコンからなる第２のウェハ１３を貼り合わせる工程と、第１のウェハ１０の表面をエッチングして可動部４，６、トーションバー３，５および固定部２以外の部分を除去する工程と、第２のウェハ１３の裏面をエッチングして固定部２以外の部分を除去する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】捩れ連結部の捩れ抵抗が低く設定されつつミラー面の法線まわりの回転などのミラー形成部の不適切な動作が制御されたマイクロミラー素子を提供すること。
【解決手段】マイクロミラー素子１００において、フレーム１１３と、ミラー平面１１４を有するミラー形成部１１１と、フレーム１１３およびミラー形成部１１１を連結するように延びるとともに、ミラー形成部１１１をフレーム１１３に対して回転させるための回転軸心Ｘ１を規定し、さらにミラー平面１１４に対して平行する捩れ連結部１１２と、を備え、捩れ連結部１１２は２本のトーションバー１１２ａからなるとともに当該２本のトーションバー１１２ａは捩れ連結部１１２の幅を規定し、この幅は、ミラー形成部１１１に接続される部分では相対的に広く、フレーム１１３に至るまでは、ミラー形成部１１１から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることとした。 （もっと読む）

【課題】サイズを小さくしかつ切換速度を速くしたマイクロメカニカル素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子５は、２つの接触電極３a、３bを橋絡する可動電極である切替素子６と、この切替素子６を接触電極３a、３bに対して静電力により垂直方向に移動し、接触電極３a、３bに接触した状態と離れた状態の２つの安定した状態に保持するための切換電極２a、２bとを有し、切換電極２a、２bは接触電極３a、３bの間とその上方に配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、駆動コイルの最外周配線長を長くし、揺動可能に支持された可動部の駆動トルクを大きくする。
【解決手段】電磁駆動式の光学装置において、可動部と離反させて駆動コイル設置部を設置する。ミラーは可動部の上方に固定されており、駆動コイル設置部は、可動部の下方に設置され、接続部によって互いに固定されている。磁界中で駆動コイル設置部に配線された駆動コイルに電流が流れると、駆動コイル設置部にローレンツ力が作用し、接続部によって固定された可動部と駆動コイル設置部とは一体となって揺動する。駆動コイルが設置される駆動コイル設置部は、可動部と別に設置されているため、駆動コイル設置部の外周を可動部の外周より大きくし、駆動コイルの最外周配線長さを大きくすることができる。これによって、可動部の駆動トルクを大きくすることができる。 （もっと読む）